例文 (2件) |
delamination detectionの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
A plurality of optical fiber sensors 2a are arranged at one-dimensionally or two-dimensionally between layers a to c of the laminating material A in order to get information revealing progress stages of delamination based on a detection stage of each optical fiber sensor 2a.例文帳に追加
積層材料Aの層a〜c間に複数の光ファイバセンサ2aを一次元状あるいは二次元状に配置し、各光ファイバセンサ2aの検出状態に基づいて剥離の進行状態を示す情報を取得する。 - 特許庁
To provide a laminated polishing pad having a transparent window for optically detecting a polishing endpoint in a CMP, free from delamination between the laminated pads brought about by the polishing process and also free from the deterioration in an optical detection performance caused by reduction of the transparency of the window.例文帳に追加
CMP中の研磨の終点を光学的に検出するため、光通過窓を有する積層研磨パッドにおいて、研磨に伴う積層パッド間の離層がなく、窓の透明度の低下による光学検出性能の劣化の無い積層研磨パッドを提供する。 - 特許庁
例文 (2件) |
Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|