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h-o variationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
This invention enables prevention of the variation of the TFT characteristics by using a base film formed by changing the flow rates of H2 and N2O to continuously vary the composition ratio of N, O and H in the film.例文帳に追加
本発明は、H_2、N_2O流量を変化させることにより膜中のN、O、H組成比を連続的に変化させた膜を下地膜として使用することによってTFTの特性変動を防ぐことを可能にする。 - 特許庁
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