例文 (1件) |
ion pair dissociationの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
RF powers from at least RF power sources of three respective frequencies are coupled to plasma in a reactor; the ion energy distribution shape is set by selecting a ratio between the power levels of a first pair of the at least three RF power sources; and the ion dissociation and the ion density are set by selecting a ratio between the power levels of a second pair of the at least three RF power sources.例文帳に追加
3つの各周波数の少なくとも3つのRF電源からのRF電力をリアクタ内のプラズマに結合し、少なくとも3つのRF電源の第1対の電源レベル間の比を設定することによりイオンエネルギー分布形状を設定し、少なくとも3つのRF電源の第2対の電源レベル間の比を選択することによりイオン解離及びイオン密度を設定する。 - 特許庁
例文 (1件) |
Copyright © Japan Patent office. All Rights Reserved. |
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|
ログイン |
Weblio会員(無料)になると
|