例文 (2件) |
ion irradiationsの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
By these ion beam irradiations, the thin film having c-axis oriented along the orthogonal projection of the ion beam onto the surface of the substrate is formed.例文帳に追加
このようなイオンビーム照射により、基板表面へのイオンビームの正射影に沿ってc軸が配向したに薄膜が形成される。 - 特許庁
Further, the device is provided with a plurality of ion beam supply units 50 each to supply ion beams 54 of a ribbon shape to each treatment chamber 10, and to irradiate ion beams 54 on a whole surface of each substrate 2 in collaboration with the transfer of the substrates 2, and a plurality of ion beam irradiations are carried out on the whole surface of each substrate 2 by the plurality of the ion beam supply units 50.例文帳に追加
更に、各処理室10にリボン状のイオンビーム54をそれぞれ供給して、基板2の搬送と協働して、各基板2の全面にイオンビーム54をそれぞれ照射する複数のイオンビーム供給装置50を備えていて、各基板2の全面に対して複数のイオンビーム供給装置50による複数のイオンビーム照射をそれぞれ行うよう構成されている。 - 特許庁
例文 (2件) |
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