146yとは 意味・読み方・使い方

A substrate positioning mechanism in a pass unit (PASS_R) for carry-out positions the substrate G using the Y-direction pressing pad 146Y only in the width direction (Y direction) orthogonal to the conveying direction (X direction).例文帳に追加

搬出用パスユニット（ＰＡＳＳ_Ｒ）内の基板位置決め機構は、搬送方向（Ｘ方向）と直交する幅方向（Ｙ方向）でのみＹ方向押圧パッド１４６Ｙを用いて基板Ｇを位置決めする。 - 特許庁

A substrate positioning mechanism in a pass unit (PASS_L) for carry-in positions the substrate G using an X-direction pressing pad 146X in a conveying direction (X direction) or positions the substrate G using a Y-direction pressing pad 146Y in the width direction (Y direction) orthogonal to the conveying direction (X direction).例文帳に追加

搬入用パスユニット（ＰＡＳＳ_Ｌ）内の基板位置決め機構は、搬送方向（Ｘ方向）ではＸ方向押圧パッド１４６Ｘを用いて基板Ｇを位置決めするとともに、搬送方向（Ｘ方向）と直交する幅方向（Ｙ方向）ではＹ方向押圧パッド１４６Ｙを用いて基板Ｇを位置決めする。 - 特許庁