Process Recipeとは 意味・読み方・使い方

It is possible to input contents specified in the process recipe from a recipe input 6 including a keyboard or the like by starting a recipe editor program.例文帳に追加

レシピエディタプログラムを起動して、キーボードなどを含むレシピ入力部６からプロセスレシピ内で規定される内容を入力することができる。 - 特許庁

METHOD AND DEVICE FOR CORRECTING AND CHANGING RECIPE OF PROCESS CONTROL SYSTEM DURING RECIPE EXECUTION AND MACHINE ACCESSIBLE MEDIUM例文帳に追加

プロセス制御システムのレシピをレシピ実行中に修正変更する方法、装置、及び機械アクセス可能な媒体 - 特許庁

The substrate processing apparatus performs processing of 25 wafers by executing process recipe control in accordance with a process recipe 25 times repeatedly.例文帳に追加

基板処理装置では、プロセスレシピに従ったプロセスレシピ制御が２５回繰り返し実行されることにより、２５枚のウエハに対する処理が行われる。 - 特許庁

A recipe adjusting section 875 changes a process to be executed in the same PM 400 by changing recipe.例文帳に追加

レシピ調整部８７５は、レシピを変更することにより同一ＰＭ４００において実行されるプロセスを変更する。 - 特許庁

When the new production line B installed anew is controlled, a second process recipe extraction unit 7 extracts the optimal one of the first process recipes 1 thus stored, and outputs the optimal first process recipe 1 as a second process recipe 9 for the new production line B.例文帳に追加

また、新たに設置された新規生産ラインＢを制御する際には、第２プロセスレシピ抽出部７で、蓄積された第１プロセスレシピ１から最適なものを抽出し、新規生産ラインＢ用の第２プロセスレシピ９として出力する。 - 特許庁

During the 25 times of the process recipe control, the period of time from the stop of the supply of a chemical solution to the wafer to the start of the next process recipe control is measured by a timer.例文帳に追加

２５回のプロセスレシピ制御中に、タイマにより、ウエハへの薬液の供給の停止から次回のプロセスレシピ制御の開始までの時間が計測される。 - 特許庁

SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS, FILM-FORMING METHOD, AND METHOD OF PREPARING PROCESS RECIPE例文帳に追加

半導体製造装置、膜の形成方法、及びプロセスレシピの作成方法 - 特許庁

To rapidly respond to a change of a recipe in execution of a batch process in a manufacturing environment according to a product recipe, wherein the product recipe specifies a plurality of actions and a plurality of parameters.例文帳に追加

製造環境において、複数の動作および複数のパラメーターを指定する製品レシピによってバッチ処理を実行する際に、レシピの変更に迅速に対応する。 - 特許庁