Pre-Depositionとは 意味・読み方・使い方

To provide a pretreatment method of a component of a deposition device for efficiently forming a pre-coat layer where the particle amount is reduced for the component of the deposition device.例文帳に追加

成膜装置用部品に対してパーティクル量を低減したプレコート層を効率よく形成することができる成膜装置用部品の前処理方法を提供する。 - 特許庁

To considerably reduce a time and a cost required for a dummy etching after exchanging a deposition-preventive shield in a pre-etching chamber.例文帳に追加

前処理エッチングチャンバー内の防着シールドの交換後のダミーエッチングに要する時間とコストを大きく低減させる。 - 特許庁

By pre-heating of the organic material, the time required before starting film deposition on the substrate is shortened.例文帳に追加

有機材料を予備加熱することによって、基板への蒸着が開始できるまでに要する時間を短縮することができる。 - 特許庁

Deposition-preventive shields 261-264 for preventing deposition of a material emitted from a substrate 9 are disposed in an exchangeable manner in the pre-etching chamber 2 which is connected to a sputter chamber 4 for performing the deposition by the sputtering so as to ensure the continuous vacuum and performs the pre-etching of the surface of the substrate 9 therein.例文帳に追加

スパッタリングによる成膜処理が行われるスパッタチャンバー４に真空が連続するよう接続され、スパッタリングに先立ち基板９の表面をエッチングする前処理が内部で行われる前処理エッチングチャンバー２内には、基板９から放出された材料の付着を防止する防着シールド２６１〜２６４が交換可能に設けられている。 - 特許庁

The predetermined electron density is obtained by adjusting the partial pressure of oxygen on the basis of the relationship between the pre-grasped electron density of the zinc oxide film and the partial pressure of oxygen in the film deposition chamber.例文帳に追加

このとき、予め把握した酸化亜鉛膜の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して所定の電子密度を得る。 - 特許庁

Further, at the pre-heating zone B, before the substrate reaches the film forming zone A, the substrate is heated to the temp. range from 0.8 times to 1.3 times of the temp. of the substrate at the time of vapor deposition.例文帳に追加

また、成膜領域Ａに到達する以前の基板５を、予備加熱領域Ｂにおいて蒸着時の基板温度の 0.8倍以上 1.3倍以下の温度に加熱する。 - 特許庁

A thermal process for cleaning equipment surfaces having deposition of undesired silicon nitride in a semiconductor processing chamber by using a thermally activated source of pre-diluted fluorine is provided.例文帳に追加

半導体処理チャンバーにおいて、望まれていない窒化ケイ素が推積した装置表面を、熱的に活性化した、予備希釈したフッ素源を用いてクリーニングするサーマルプロセス。 - 特許庁

To provide a method for dissolving or disrupting pre-formed or pre-deposited amyloid fibrils and/or inhibiting amyloid formation, deposition, accumulation, or persistence in Alzheimer's disease, prion diseases and/or other amyloidoses in a mammalian subject.例文帳に追加

哺乳類被検体中のアルツハイマー病、プリオン病、及び／又は他のアミロイド症における前形成した又は前沈着したアミロイド線維を溶解し又は破壊し、並びに／又はアミロイド形成、沈着、蓄積、又は残留を阻害する方法が開示される。 - 特許庁