RF heaterとは 意味・読み方・使い方

The electrostatic chuck has one or more heater electrodes 160 and an RF biasable electrode 162.例文帳に追加

静電チャックは、１つ又はそれ以上のヒーター電極１６０と、ＲＦバイアス可能な電極１６２を有する。 - 特許庁

The electric circuits have a heater circuit 3, an electrostatic adsorption electrode circuit, a RF electrode circuit 2, a high voltage electrode circuit, or the like.例文帳に追加

前記電気回路は、ヒータ回路３、静電吸着用電極回路、ＲＦ電極回路２、高電圧用電極回路等がある。 - 特許庁

The electric circuit is preferably any of an electrostatic attraction electrode circuit, a resistance heater circuit, an RF electrode circuit and a high voltage electrode circuit.例文帳に追加

前記電気回路は、静電吸着用電極回路、抵抗発熱体回路、ＲＦ電極回路、高電圧用電極回路のいずれかであることが好ましい。 - 特許庁

To provide an RF type water heater appropriately sensing an improper installation state which may cause an oxygen shortage state even when input of a burner is not constant.例文帳に追加

バーナのインプットが一定でない状態であっても、酸素欠乏状態となる虞がある不適切な設置状態にあることを適切に検知することができるＲＦ型給湯器を提供する。 - 特許庁

A heater with relatively small critical dimensions (CD) which has a sloped linear side wall is provided through a process of adjusting one or more physical parameters (for example, pressure, high frequency (RF) power 1010 and/or temperature) during etching and/or deposition.例文帳に追加

エッチングおよび／または堆積の間、一つ以上の物理的パラメータ（例えば圧力、高周波（ＲＦ）電力１０１０および／または温度）を調整するプロセスにより、傾斜した直線側壁を有する比較的小さい限界寸法（ＣＤ）のヒーターを実現できる。 - 特許庁

The control block 30 calculates a direction and quantity of astigmatism as difference of a value of the FE signal when amplitude of the RF signal becomes the maximum and a value of the FE signal when amplitude of the TE signal becomes the maximum, and a current is supplied only to a heater arranged at a direction of phase advance.例文帳に追加

制御ブロック３０はＲＦ信号の振幅が最大になる時のＦＥ信号の値及びＴＥ信号の振幅が最大になる時のＦＥ信号の値の差として非点収差の方向及び量を算出し、位相が進んでいる方角に設置されている発熱ヒータにのみ電流を供給する。 - 特許庁