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RFHとは 意味・読み方・使い方
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「RFH」を含む例文一覧
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An apparatus and a method are provided for processing substrates and/or wafers in real-time using at least one direct current (DC)/radio frequency (RF) hybrid (DC/RFH) processing system, a related DC/RF hybrid (DC/RFH) procedure, and DC/RFH process parameters and/or DC/RFH models.例文帳に追加
本発明は、少なくとも1つの直流(DC)/高周波(RF)ハイブリッド(DC/RFH)処理システム並びに関連する直流(DC)/高周波(RF)ハイブリッド(DC/RFH)手順及びDC/RFH処理パラメータ及び/又はDC/RFHモデルを用いることによってリアルタイムで基板及び/又はウエハを処理する装置並びに方法を供することができる。 - 特許庁
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