TMAHとは 意味・読み方・使い方

After that, the metal interconnection is cleaned, and the TMAH solution left on the surface of the metal wiring is removed.例文帳に追加

その後、金属配線を洗浄して金属配線表面に残留したＴＭＡＨ溶液を取り除く。 - 特許庁

A reaction accelerating liquid (a mixture liquid of IPA, water, and a base (TMAH)) is delivered from an acceleration agent supply nozzle 32.例文帳に追加

促進液供給ノズルからは反応促進液（ＩＰＡと水と塩基（ＴＭＡＨ）の混合液）が吐出される。 - 特許庁

The method for detecting the TMAH included in the liquid includes a heating and decomposing process of heating thereby decomposing the TMAH, and a gas-phase detecting process of detecting trimethylamine as a byproduct of the heating and decomposition in a gas phase.例文帳に追加

液体中に含まれるＴＭＡＨの検出方法において、ＴＭＡＨを加熱して分解する加熱分解工程、および、該加熱分解の生成物であるトリメチルアミンを気相中で検出する気相検出工程を有する。 - 特許庁

Subsequently, side faces of the contact hole are subjected to wet-etching by a TMAH aqueous solution while allowing the SiO_2 film 12 to remain intact (Fig. 1d).例文帳に追加

次に、ＳｉＯ_2 膜１２を残したまま、ＴＭＡＨ水溶液によりコンタクトホール側面をウェットエッチングをする（図１ｄ）。 - 特許庁

A tetramethylammonium hydroxide(TMAH) solution is applied to the rough surface of the metal wiring, and it is placed still for a prescribed time.例文帳に追加

テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＭＡＨ）溶液を金属配線の粗れた表面に適用し、所定時間静置する。 - 特許庁

The apparatus for detecting the TMAH included in the liquid has a heating and decomposing means for heating thereby decomposing the TMAH, and a gas-phase detecting means for detecting trimetylamine as a byproduct of the heating and decomposition in a gas phase.例文帳に追加

液体中に含まれるＴＭＡＨの検出装置において、ＴＭＡＨを加熱して分解する加熱分解手段、および、該加熱分解の生成物であるトリメチルアミンを気相中で検出する気相検出手段を有することを特徴とする。 - 特許庁

To provide a method which solves problems such as prolonged startup time, instability of treatment, and low treatment efficiency generated when performing biological treatment of tetramethylammonium hydroxide (TMAH)-containing waste water, and performs the biological treatment of TMAH stably and efficiently.例文帳に追加

水酸化テトラメチルアンモニウム（ＴＭＡＨ）含有廃水を生物処理する際に生じる、スタートアップの長期間化、処理の不安定性、低処理効率等の課題を解決し、安定かつ効率的にＴＭＡＨを生物処理する方法を提供すること。 - 特許庁

Next, only the p-type region 4b of the side portion of the trench groove 3 is selectively etched by using a TMAH (tetramethylammonium hydroxide) solution (Fig. 1d).例文帳に追加

次に、ＴＭＡＨ水溶液によってトレンチ溝３の側部のｐ型領域４ｂのみを選択的にエッチングする（図１ｄ）。 - 特許庁