WTbとは 意味・読み方・使い方

Further, the table WTB is driven based upon the position information on the table WTB obtained using the encoder system and correction information on a measurement error due to a tilt of the table included in the position information.例文帳に追加

さらに、エンコーダシステムを用いて得られるテーブルＷＴＢの位置情報と、位置情報に含まれるテーブルの傾斜に起因する計測誤差の補正情報と、に基づいて、テーブルＷＴＢを駆動する。 - 特許庁

In an exposure device which employs immersion exposure, an immersion region ALq formed of a liquid supplied to between a wafer table WTB and a projection optical system PL may possibly pass over heads 60A to 60D mounted on the wafer table WTB as the wafer table WTB holding a wafer W moves.例文帳に追加

液浸露光方式の露光装置では、ウエハＷを保持するウエハテーブルＷＴＢが移動することによって、ウエハテーブルＷＴＢと投影光学系ＰＬとの間に供給される液体によって形成される液浸領域ＡＬｑが、ウエハテーブルＷＴＢに搭載されたヘッド６０Ａ〜６０Ｄ上を通過することがある。 - 特許庁

A plurality of sensor heads 74_1-74_5 and 76_1-76_5 of a surface position measuring system measure the positional information of a wafer table WTB in the Z-axis direction by applying light to measuring areas 39Y_1 and 39Y_2 of the wafer table WTB from the upper side.例文帳に追加

面位置計測システムの複数のセンサヘッド７４_1〜７４_5、７６_1〜７６_5は、ウエハテーブルＷＴＢの計測対象領域３９Ｙ_1，３９Ｙ_2に対して上方から光を照射してウエハテーブルＷＴＢのＺ軸方向の位置情報を計測する。 - 特許庁

The sensor heads are set on the wafer table WTB according to an operation range of the measuring areas.例文帳に追加

そして、複数のセンサヘッドの配置は、ウエハテーブルＷＴＢ上の、計測対象領域の動作範囲に応じて設定されている。 - 特許庁

The position information is corrected using the correction information, and the table WTB is driven with high precision based upon the corrected position information.例文帳に追加

従って、補正情報を用いて位置情報を補正し、補正された位置情報に基づいて高精度にテーブルＷＴＢを駆動することが可能になる。 - 特許庁

The Z head to be used is changed over from ZsR and ZsL to ZsR' and ZsL (or ZsR and ZsL') according to the XY position of the table WTB.例文帳に追加

テーブルＷＴＢのＸＹ位置に従って、使用するＺヘッドをＺｓＲ，ＺｓＬからＺｓＲ’，ＺｓＬ（あるいはＺｓＲ，ＺｓＬ’）に切り換える。 - 特許庁

Position information on the wafer table WTB is measured on the basis of measured values of heads where no remaining liquid is detected among the plurality of heads.例文帳に追加

そして、複数のヘッドのうち、液体の残留が検出されなかったヘッドの計測値に基づいて、ウエハテーブルＷＴＢの位置情報を計測する。 - 特許庁

A stage device has a first stage which holds an object W by a holder WTB and moves, and a second stage which can move in a moving direction of the first stage.例文帳に追加

ホルダーＷＴＢにより対象物Ｗを保持して移動する第１ステージと、第１ステージの移動方向に移動可能な第２ステージとを有する。 - 特許庁