Ar 66とは 意味・読み方・使い方

A liquid perfluorocarbon in a raw material tank 60 is heated by a heater 64 into a perfluorocarbon vapor 66 and fed into a vacuum vessel 50, along with tetrafluorocarbon and Ar.例文帳に追加

原料タンク６０内の液体パーフルオロカーボンは、ヒータ６４によって加熱されてパーフルオロカーボン蒸気６６となり、四フッ化炭素、アルゴンとともに真空容器５０に供給される。 - 特許庁

The supporting member 62 has a first abutting surface portion 64 abutting on a first abutting receiving surface portion 68 provided on the console lid 16 when the armrest AR is displaced to a second position separated from the console lid 16, and a second abutting surface portion 66 abutting on a second abutting receiving surface portion 70 provided on the armrest AR.例文帳に追加

この支持部材６２は、コンソールリッド１６から離間した第２姿勢へアームレストＡＲを変位させた際に、該コンソールリッド１６に設けた第１当接受面部６８に当接する第１当接面部６４と、該アームレストＡＲに設けた第２当接受面部７０に当接する第２当接面部６６とを有する。 - 特許庁

A high-frequency voltage is applied between an electrode 94 and the table 82 from a high-frequency power source 92 to cause a discharge via the perfluorocarbon vapor 66, tetrafluorocarbon and Ar, thereby polymerizing perfluorocarbon to form a fluororesin film on the Si wafer 84 surface.例文帳に追加

高周波電源９２によって電極９４と処理テーブル８２との間に高周波電圧を印加し、パーフルオロカーボン蒸気６６、四フッ化炭素、アルゴンの混合気体を介した放電を発生させてパーフルオロカーボンを重合し、シリコンウエハ８４の表面にフッ素樹脂膜を形成する。 - 特許庁