CDUとは 意味・読み方・使い方

To provide a pattern forming method capable of attaining both CDU (Critical Dimension Uniformity) performance and defect performance at high levels.例文帳に追加

ＣＤＵ（Critical Dimension Uniformity）性能と欠陥性能とを高い水準で両立させることが可能なパターン形成方法を提供する。 - 特許庁

In this integrated control display, data transmission/reception between the CDU 1 and the MC 4 integrates a radio 2 and a navigation device 3 to execute display and control.例文帳に追加

ＣＤＵ１とＭＣ４間のデータ送受信によって、無線機２や航法装置３を統合して表示及び制御する。 - 特許庁

To provide a resist composition for producing a resist pattern that has excellent CD uniformity (CDU) and few incidence numbers of defects.例文帳に追加

優れたＣＤ均一性（ＣＤＵ）を有し、欠陥の発生数が少ないレジストパターン製造用レジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a photoresist composition that is superior in lithographic characteristics such as CDU even in the formation of a fine pattern; and a resist pattern forming method.例文帳に追加

微細なパターンの形成においてもＣＤＵ等のリソグラフィー特性に優れるフォトレジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。 - 特許庁

To improve operability of a CDU by enabling easy restoration of data contents in an MC(a memory card) even if mistakenly writing data into the MC.例文帳に追加

ＭＣ（メモリカード）に誤ってデータを書き込んでも、ＭＣデータ内容を容易に復元できるようにし、ＣＤＵの操作性を向上させる。 - 特許庁

To provide a resist composition which shows high resolution, good configuration, a depth of focus (DOF), a good mask error factor (MEF) and good CD uniformity (CDU).例文帳に追加

高い解像度；良好な形状、フォーカスマージン（ＤＯＦ）、マスクエラーファクター（ＭＥＦ）及びＣＤ均一性（ＣＤＵ）を示すレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

Variations (CDU) in the error (CD) in an applied pattern are measured for different frequencies and amplitudes of the injected error over a frequency band of interest for a given axis.例文帳に追加

関心周波数帯域に亘って所与の軸について注入された誤差、の異なる周波数および振幅について、付与されたパターンにおける誤差（ＣＤ）の変動（ＣＤＵ）が測定される。 - 特許庁

To provide a method for forming a resist pattern capable of responding to formation of various types of resist patterns, and forming a resist pattern excellent in focus depth, a pattern profile, resolution, CDU and pattern collapse resistance.例文帳に追加

種々のレジストパターンの形成に対応でき、焦点深度、パターン形状、解像性、ＣＤＵ及びパターン倒れ耐性に優れるレジストパターンを形成できるレジストパターン形成方法の提供を目的とする。 - 特許庁