Gaussian coordinateとは 意味・読み方・使い方

To solve the problems wherein, when an illuminance distribution in an illumination spot by an actual illumination optical system is not a Gaussian distribution, each accuracy of particle size calculation of a foreign matter or a defect to be detected and coordinate position detection on the inspection object surface is lowered.例文帳に追加

実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布がガウス分布になっていない場合には、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の検出精度が低下してしまう。 - 特許庁

Hereby, even if the illuminance distribution in the illumination spot by the actual illumination optical system is not necessarily the Gaussian distribution, each accuracy of the particle size calculation of the foreign matter or the defect to be detected and the coordinate position on the inspection object surface can be improved.例文帳に追加

これにより、実際の照明光学系による照明スポット内の照度分布が必ずしもガウス分布とならない場合においても、検出される異物・欠陥の粒径算出および被検査物体表面上での座標位置の精度を向上させることが可能になる。 - 特許庁