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Micro Precision Productsとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
To provide an aligner which can enhance exposure uniformity by decreasing interference noises, a method for regulating the aligner which can be regulated with high precision and superior efficiency in a state that the exposure uniformity is increased, and a method for manufacturing a micro-device which can enhance a manufacturing yield of products.例文帳に追加
干渉ノイズを低減して露光均一性を向上可能な露光装置，露光均一性を高めた状態で高精度に効率良く調整可能な露光装置の調整方法，及び製品の歩留まりを向上可能なマイクロデバイスの製造方法を提供すること。 - 特許庁
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