n2 purgeとは 意味・読み方・使い方

N2 PURGE APPARATUS FOR FOUP例文帳に追加

ＦＯＵＰ用Ｎ２パージ装置 - 特許庁

NOZZLE UNIT IN N2 GAS PURGE DEVICE例文帳に追加

Ｎ２ガスパージ装置におけるノズルユニット - 特許庁

BREATHING FILTER UNIT FOR N2 GAS PURGE AND PURGING APPARATUS FOR N2 GAS PURGING SEMICONDUCTOR WAFER STORAGE VESSEL HAVING FILTER UNIT例文帳に追加

Ｎ２ガスパージ用ブリージングフィルターユニットおよび該フィルターユニットを搭載した半導体ウエハ収納容器をＮ２ガスパージするパージ装置 - 特許庁

To provide a nozzle unit capable of supplying an N2 gas into a FOUP, sufficiently performing N2 gas purge and shortening purge time as well in a semiconductor manufacturing line.例文帳に追加

半導体製造ラインにおいて、ＦＯＵＰ内へＮ２ガスを供給して、Ｎ２ガスパージを十分に行うことができ、且つパージ時間も短くすることができるノズルユニットを提供する。 - 特許庁

The gas guiding pipe 4 shares film-forming gas and purge-gas supply pipes, and guides N2 gas as the purge gas into the reactive pipe after film-forming process with a semiconductor wafer.例文帳に追加

このガス導入管４は成膜ガス及びパ−ジガス供給管を共用しており、半導体ウエハに対して成膜処理が行われた後、パ−ジガスとしてＮ2 ガスを反応管内に導入する。 - 特許庁

Cassette chambers CC1 and CC2, and a transfer chamber TC share a dry vacuum pump DP1, halt exhaust from the transfer chamber TC when transferring a wafer, and purge N2 in the transfer chamber TC only when gate valves PG1 and PG2 are opened.例文帳に追加

カセットチャンバＣＣ１、ＣＣ２とトランスファチャンバＴＣとでドライポンプＤＰ１を共有化するとともに、ウエハＷの搬送時にトランスファチャンバＴＣ内の排気を停止し、ゲートバルブＰＧ１、ＰＧ２を開いた時だトランスファチャンバＴＣ内のＮ_２パージを行う。 - 特許庁