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To provide a wafer processing tape which will not oversoften, in heat treatment which uses a thermosetting-type surface protective film, can be used in an expansion step for splitting an adhesive layer, and has uniform and isotropic expansion property.例文帳に追加
熱硬化タイプの表面保護テープを使用する場合の加熱処理において過剰軟化せず、しかも、接着剤層を分断するエキスパンド工程において使用可能な均一且つ等方的な拡張性を有するウエハ加工用テープを提供すること。 - 特許庁
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