overlay errorとは 意味・読み方・使い方

The first order of diffraction is used to detect an overlay error.例文帳に追加

１次回折次数はオーバーレイエラーを検出するために使用される。 - 特許庁

In addition, the overlay error between patterns formed in a semiconductor device is calculated from past measured overlay values.例文帳に追加

また、半導体装置に形成されているパターンの重ね合わせ誤差を過去の重ね合わせ測定値から算出する。 - 特許庁

To provide a process error measurement method and a process error measuring apparatus that minimize process errors, and an overlay measurement method and an overlay measuring apparatus that utilize them.例文帳に追加

工程エラーを最少化するための工程エラー測定方法及び装置と、これを利用したオーバーレー測定方法及び装置を提供する。 - 特許庁

To provide overlay error measuring method and system for a high electron energy base.例文帳に追加

高電子エネルギベースのオーバーレイ誤差測定方法及びシステムを提供する。 - 特許庁

To reduce influence of an overlay error caused by heating of a reticle or lens.例文帳に追加

レチクルまたはレンズの加熱によって生じるオーバーレイエラーの影響を小さくする。 - 特許庁

Variation in the asymmetry indicates the presence of an overlay error in layers on the substrate, where overlay targets are printed on subsequent layers.例文帳に追加

非対称性のばらつきが、連続する層上にオーバーレイターゲットがプリントされる基板上の層内に、オーバーレイエラーがあることを示す。 - 特許庁

To provide a method of determining an overlay error between two layers of a multiple layer sample.例文帳に追加

複数レイヤ試料の２つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a lithography apparatus capable of preventing micro-slip of a mask and reducing an overlay error.例文帳に追加

マスクのマイクロスリップを防ぎ、オーバレイ誤差を低減できるリソグラフィ装置を提供する。 - 特許庁