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prealignmentとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 プリアライメント
「prealignment」を含む例文一覧
該当件数 : 31件
END EFFECTOR INCLUDING INTEGRAL ILLUMINATION SYSTEM FOR RETICLE PREALIGNMENT SENSOR例文帳に追加
レチクル予備位置合わせセンサ用一体照明システムがあるエンドエフェクタ - 特許庁
Prealignment is performed, based on the alignment position O1, O2 in step S33.例文帳に追加
ステップＳ３３では、アライメント位置Ｏ１、Ｏ２に基づきプリアライメントを行う。 - 特許庁
WAFER PREALIGNMENT METHOD AND ITS DEVICE, AND WAFER BONDING METHOD AND ITS DEVICE例文帳に追加
ウエハのプリアライメント方法とその装置ならびにウエハの貼り合わせ方法とその装置 - 特許庁
To provide an exposure apparatus capable of performing prealignment of a mask without increasing the scale of the apparatus.例文帳に追加
装置を大型化することなく、マスクのプリアライメントが可能な露光装置を提供する。 - 特許庁
WAFER PREALIGNMENT DEVICE AND ITS WAFER PRESENCE-AND- ABSENCE JUDGMENT METHOD, AND WAFER EDGE POSITION DETECTION METHOD例文帳に追加
ウエハプリアライメント装置とそのウエハ有無判定方法およびウエハエッジ位置検出方法 - 特許庁
A wafer 50 is automatically conveyed from a wafer carrier 541 to a prealignment section 520, and eccentricity errors (ΔX and ΔY) in the wafer 50 are detected by the prealignment section 520 for storing in a storage circuit.例文帳に追加
ウエハ５０をウエハキャリア５４１からプリアライメント部５２０へ自動搬送し、このプリアライメント部５２０でウエハ５０の偏心誤差（ΔＸ，ΔＹ）を検出し、記憶回路に記憶する。 - 特許庁
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「prealignment」を含む例文一覧
該当件数 : 31件
The appearance of especially prealignment mark on a wafer varies according to the increased density of a semiconductor.例文帳に追加
ウエハ上の特にプリアライメントマークの見えは半導体の高密度化に伴って多様となっている。 - 特許庁
The substrate transfer mechanism 20 is equipped with a substrate prealignment mechanism 50, which is provided in a substrate carry-in region IA and performs prealignment of the substrate W waiting in the substrate carry-in region IA.例文帳に追加
基板搬送機構２０は、基板搬入側領域ＩＡに設けられ、基板搬入側領域ＩＡで待機される基板Ｗのプリアライメントを行う基板プリアライメント機構５０を備える。 - 特許庁
A substrate 90, preliminarily aligned on a prealignment stage, is mounted on a bed 105 of an alignment unit 101.例文帳に追加
プレアライメントステージにおいてプレアライメントされた基板９０は、アライメントユニット１０１の台１０５上に載置される。 - 特許庁
To provide a prealignment device for an exposure apparatus which can reduce the footprint of the exposure apparatus as a whole.例文帳に追加
露光用の装置全体のフットプリントを小さくすることができる露光装置用プリアライメント装置を提供する。 - 特許庁
TRANSPARENT SUBSTRATE POSITION MEASURING APPARATUS, EXPOSURE APPARATUS PROVIDED WITH THE POSITION MEASURING APPARATUS, SUBSTRATE MEASURING METHOD, AND PREALIGNMENT APPARATUS例文帳に追加
透明基板の位置測定装置、該位置測定装置を備える露光装置及び基板製造方法並びにプリアライメント装置 - 特許庁
To provide a die bonder or a bonding method capable of picking up a die from a prealignment stage reliably in a short time.例文帳に追加
本本発明は、短時間で確実にダイをプリスアライメントテージからピックアップできるダイボンダ及びボンディング方法を提供することである。 - 特許庁
Processing order of prealignment final shot and global alignment first shot is determined such that the stage step driving time from the final processing shot of prealignment to the first processing shot of global alignment ends within the driving time of an object being driven in parallel.例文帳に追加
プリアライメントの最後に処理するショットからグローバルアライメントで最初に処理するショットへのステージステップ駆動時間が、並行して駆動している駆動物の駆動時間内に終るように、プリアライメント最終ショットとグローバルアライメント第１ショットのサンプルショットの処理順番を決定する。 - 特許庁
The wafer W can be extracted with the robot arm 23 from the wafer cassette 20 and is then carried to a load rock chamber 27 after the prealignment for the purpose of evacuation.例文帳に追加
ウエハＷは、ロボットアーム２３により、ウエハカセット２０から取り出され、プリアライメントの後、ロードロック室２７に搬送されて、真空引きされる。 - 特許庁
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