passivationsとは 意味・読み方・使い方

In the new method, excellent H passivations for interfaces are formed after thermal budget through a standard process flow is generated by carrying out an SF_6-based metal chemical etching reaction for introducing fluorine.例文帳に追加

新規な方法は、フッ素を導入するためにＳＦ_６ベースの金属エッチング化学反応を用い、これにより標準プロセスフローの熱量の後に、界面の優秀なＨパッシベーションが得られる。 - 特許庁

In the case when a silicon-containing layer in a form of SiN_xO_y (0<x≤1.5 and 0≤y≤2) is to be formed in order to obtain a good surface and volume passivations, a single or more catalytic dopants are selectively mixed in accordance with an objective.例文帳に追加

良好な表面及び体積不動態化を得るために、ＳｉＮ_xＯ_y（０＜ｘ≦１．５及び０≦ｙ≦２）の形のシリコン含有層を形成するときに、単数又は複数の触媒作用ドーピング物質を目的に応じて選択的に混入することを提案する。 - 特許庁