spsiとは 意味・読み方・使い方

The pulse width of the time base of a laser SXL is modulated, and an almost band-shaped crystal silicon film SPSI is formed in a desired region, while a substrate SUB1 is scanned backward and forward in an X direction and -X direction.例文帳に追加

レーザＳＸＬの時間ベースのパルス幅を変調し、基板ＳＵＢ１をＸ方向と−Ｘ方向とに往復で走査しながら所望の領域に略帯状結晶シリコン膜ＳＰＳＩを形成する。 - 特許庁

A silicon film, where the laser SXL is turned off, is formed with a protrusion TOKI when the silicon film is lateral crystallization SPSI, and the inspection light PRO1 is scattered by the protrusion TOKI, and observed by a detector (not shown).例文帳に追加

レーザＳＸＬがオフになる箇所のシリコン膜には、当該シリコン膜がラテラル結晶ＳＰＳＩであれば突起ＴＯＫＩが形成され、検査光ＰＲＯ１は突起ＴＯＫＩで散乱されて図示しない検出器で観測される。 - 特許庁