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INSPECTION APPARATUS, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD FOR SPHERO-CHROMATIC ABERRATION CORRECTION例文帳に追加
球状色収差補正のための検査装置、リソグラフィ装置および方法 - 特許庁
To provide a semiconductor inspection system and a method for minimizing an influence of a wavelength deviation inexpensively by sphero-chromatic aberration correction.例文帳に追加
球状色収差補正によって、低費用で波長ずれの影響を最小化するための半導体検査システムおよび方法を提供する。 - 特許庁
The optical system includes at least one lens 422 that is moveable (for example, a zoomable lens) to change the nominal wavelength of the semiconductor inspection system to correspond to the illumination wavelength of the illumination system so that the sphero-chromatic aberration of the semiconductor inspection system may meet a user-defined tolerance.例文帳に追加
この光学システムは、半導体検査システムの球状色収差がユーザ定義の許容範囲を満たすように、半導体検査システムの公称波長を変化させて照明システムの照明波長と一致させるように移動可能な少なくとも１枚のレンズ４２２（例えばズーミング可能なレンズ）を含む。 - 特許庁
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