subpeaksとは 意味・読み方・使い方

When the subpeaks overlap, transmitted light is suppressed by using an overlapping state of subpeaks, such as shifting the position of one or both of the overlapping subpeaks (method A), decreasing the intensity of the subpeak (method B), or eliminating generation of the subpeak (method C).例文帳に追加

サブピーク同士が重なった場合に、重なったサブピークの一方又は両方の位置をずらしたり（方法Ａ）、サブピークの強度を下げたり（方法Ｂ）、サブピークの発生自体をなくしたり（方法Ｃ）して、サブピークの重なりにより透過光を抑制する抑制手段を施す。 - 特許庁

In a phase shift mask having the translucent film 12 formed on a transparent glass substrate 10, when the thickness of the translucent film 12 is optimized to the pattern pitch in a fine pattern region 14, subpeaks generated by adjoining aperture may overlap in an isolated pattern region 16.例文帳に追加

透明なガラス基板１０上に半透過膜１２が形成された位相シフトマスクで、微細パターン領域１４におけるパターンのピッチに対して最適となるように半透過膜１２の厚さを調整すると、孤立パターン領域１６において、隣接する開口部によるサブピークが重なり合うことがある。 - 特許庁