transition metal nitrideとは 意味・読み方・使い方

To provide a method for producing a transition metal nitride where the transition metal nitride is obtained at a low temperature and low pressure.例文帳に追加

遷移金属窒化物を、低温、低圧において得ることができる遷移金属窒化物の製造方法を提供すること。 - 特許庁

Mutual connection of copper includes a transition metal-nitride barrier 106 with a thin metal-silicon-nitride cap 108.例文帳に追加

銅の相互接続は、薄い金属-シリコン-ナイトライドのキャップ（108）を伴う遷移金属-ナイトライドバリア（106）を有する。 - 特許庁

The method for producing the transition metal nitride comprises obtaining the transition metal nitride by reacting a transition metal raw material and a lithium amide in a non-oxygen atmosphere.例文帳に追加

第３の発明は、遷移金属原料物質とリチウムアミドとを非酸素雰囲気中において反応させることにより遷移金属窒化物を得る、遷移金属窒化物の製造方法。 - 特許庁

In the method for producing the transition metal nitride, the transition metal nitride is obtained by reacting a transition metal raw material with a lithium amide in a non-oxygen atmosphere.例文帳に追加

本発明は、遷移金属原料物質とリチウムアミドとを非酸素雰囲気中において反応させることにより遷移金属窒化物を得る、遷移金属窒化物の製造方法にある。 - 特許庁

The deposition chamber may be a batch CVD chamber and the deposited film may be a metal nitride, for example, a transition metal nitride such as titanium metal nitride.例文帳に追加

堆積チャンバはバッチＣＶＤチャンバであってよく、堆積される膜は、例えば窒化チタンなど遷移金属窒化物である金属窒化物であってよい。 - 特許庁

The fixed type transition metal catalyst includes a constitution that a transition metal or a transition metal compound is combined with a substrate having a metal nitride layer at least on the surface or the surface of a substrate comprising a metal nitride through a sulfur atom.例文帳に追加

固定型遷移金属触媒は、少なくとも表面に金属窒化物層を有する基板又は金属窒化物からなる基板の表面に硫黄原子を介して遷移金属又は遷移金属化合物が結合している。 - 特許庁

The second light-shieldale film 14 is the film that is primarily composed of a silicon-containing compound that can be etched by F-based dry etching, such as silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, silicon/transition-metal oxide, silicon/transition metal nitride or silicon/transition metal oxynitride.例文帳に追加

さらに、第２の遮光性膜１４はＦ系ドライエッチングが可能な珪素含有化合物を主成分とする、珪素や珪素と遷移金属の酸化物、窒化物、または酸化窒化物などの膜である。 - 特許庁

TRANSITION METAL NITRIDE, SEPARATOR FOR FUEL CELL, FUEL CELL STACK, FUEL CELL VEHICLE, METHOD FOR MANUFACTURING TRANSITION METAL NITRIDE, AND METHOD FOR MANUFACTURING SEPARATOR FOR FUEL CELL例文帳に追加

合金の窒化物、燃料電池用セパレータ、燃料電池スタック、燃料電池車両、合金の窒化物の製造方法及び燃料電池用セパレータの製造方法 - 特許庁