triethyl galliumとは 意味・読み方・使い方

When the multilayer quantum well active layer 15 is grown by MOVPE method, triethyl gallium is employed as a gallium source.例文帳に追加

また、ＭＯＶＰＥ法を用いて多重量子井戸活性層１５を成長する際には、ガリウム源としてトリエチルガリウムを用いる。 - 特許庁

TEGa(triethyl gallium) is used as raw material of Ga for the growth of the 1st emitter cap layer made of GaAs.例文帳に追加

ＧａＡｓの第１エミッタキャップ層成長のためのＧａの原料としてＴＥＧａ（トリエチルカリウム）を用いる。 - 特許庁

In a growth method of a nitride semiconductor thin film, TMG (trimethyl gallium) or TEG (triethyl gallium) is supplied to a terrace 202 formed in a restricted region 102 by a step-flow growth (a first growth process) of a GaN substrate 101 having a mis-cutting, wherein a supply amount of the TMG or TEG is larger than that in the first growth process.例文帳に追加

ミスカットを有するGaN基板１０１のステップフロー成長（第１の成長工程）により制限領域１０２内に形成されたテラス２０２に、第１の成長工程よりも大きな供給量でTMG又はTEGを供給する。 - 特許庁

Trimethyl aluminum, triethyl aluminum and tri-isobutyl aluminum are used for the organic aluminum materials, which are supplied at vapor phase molar fraction of 5% or less to the supply amount of trimethyl gallium.例文帳に追加

有機アルミニウム材料にはトリメチルアルミウム、トリエチルアルミニウム、トリイソブチルアルミニウムが用いられ、トリメチルガリウムの供給量に対して有機アルミニウム材料を、気相モル分率で５％以下として供給する。 - 特許庁