thermal diffusion chamberとは 意味・読み方・使い方

In a heat treatment chamber 65, a thermal diffusion plate 73 and a heating plate 74 are arranged in this sequence.例文帳に追加

熱処理室６５内には、熱拡散板７３と加熱プレート７４とがこの順で配設されている。 - 特許庁

Since the treatment chamber for annealing is constituted of quartz, the thermal stability of the chamber is extremely high and the diffusion of contaminants can be prevented to a high degree.例文帳に追加

アニール処理を行う処理室がともに石英で構成されているので、熱的安定性が極めて高く汚染物質の拡散を高度に防止することができる。 - 特許庁

When the semiconductor wafer W is heat-treated, the semiconductor wader W is made to come into contact with the thermal diffusion plate 73 in a heating state and thus preheated, and pressure inside a heat treatment chamber 65 is reduced.例文帳に追加

半導体ウエハーＷに対して熱処理を行う際には、半導体ウエハーＷが加熱状態にある熱拡散板７３と接触することにより予備加熱されるとともに、熱処理室６５内が減圧される。 - 特許庁

This steam turbine is provided with a steam turbine wheel chamber having a double structure low pressure wheel chamber to prevent diffusion of thermal energy of high temperature steam, and having the heat insulating plate welded on an outer wall surface of the low pressure inner wheel chamber via material coated by insulating material not to produce insulation destruction at a time of welding by a stud welding gun.例文帳に追加

高温蒸気の熱エネルギーが拡散するのを防止するため、低圧車室を二重構造にし、前記低圧内部車室の外壁面に遮熱板を、スタッド溶接ガンにより溶接する際に絶縁破壊を起さないように絶緑材をコーテングした材料を介して溶接した蒸気タービン車室を備えたた蒸気タービン。 - 特許庁

Such a structure can prevent the material powder from moving in the material chamber 26a due to the flow of a carrier medium into the chamber 26a and the deformation of the material powder by heating it during the irradiation with an ion beam and can maintain the temperature of the material powder at which the thermal diffusion of generated radioactive nuclides is easily carried out to improve the recovery ratio.例文帳に追加

このような構成により、イオンビーム照射中に、キャリア媒体の原料室への流入および加熱による原料粉末の変形により、原料室内で原料粉末が移動することを防止でき、原料粉末の温度を生成された放射性核種が熱拡散しやすい温度に維持でき、生成された放射性核種の回収率を向上できる。 - 特許庁