cyclosiloxaneとは 意味・読み方・使い方

The method includes a step of forming an insulating film over a substrate by introducing a cyclosiloxane compound having a cyclosiloxane as a skeleton and having at least one volatile hydrocarbon group bonded to a side chain, and a silicon-containing compound into a plasma, and a step of converting the insulating film to a porous insulating film by adding energy to the insulating film.例文帳に追加

環状シロキサンを骨格とし側鎖に少なくとも一つの揮発性炭化水素基が結合した環状シロキサン化合物と、シリコン含有化合物とを、プラズマ中に導入し、基板上に絶縁膜を形成する工程と、絶縁膜にエネルギーを加えることにより、絶縁膜を多孔質絶縁膜にする工程とを備える。 - 特許庁

To provide a manufacturing method for a low dielectric constant mesoporous thin film that has excellent physical properties using a cyclosiloxane monomer as a structural dielectric substance.例文帳に追加

構造誘導体物質として環状シロキサン系モノマーを使用する、誘電率が低く且つ諸般物性に優れた低誘電性メソポーラス薄膜の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a decomposition method for a gel-like substance produced at the time of synthesis of cyclosiloxane, not accompanying the use of an alkali at a high temperature, having good handleability and generating no hydrogen.例文帳に追加

高温下でのアルカリの使用などを伴わず、取り扱い性が良好で水素発生などがなく、シクロシロキサン合成時に発生するゲル状物の分解方法を提供すること。 - 特許庁

The polymer is produced by the process of reacting:(1) a specific Si-H-containing cyclosiloxane oligomer with (2) a vinyl siloxane oligomer represented by formula XI in the presence of a noble metal hydrosilation catalyst.例文帳に追加

前記ポリマーは、（１）特定のＳｉ−Ｈ含有シクロシロキサンオリゴマーと（２）式ＸＩ：で表されるビニルシロキサンオリゴマーとを、貴金属ヒドロシリル化触媒の存在下に、反応させる方法により製造される。 - 特許庁

The decomposition method for the gel-like substance produced at the time of synthesis of cyclosiloxane is characterized by using a mixture of an orthoester such as an orthomethy ester, an alcohol, water and an acid catalyst such as an active hydrogen group-containing compound such as a carboxylic acid, sulfuric acid or, hydrochloric acid.例文帳に追加

オルトメチルエステルなどのオルトエステル、アルコール、水又はカルボン酸などの活性水素基含有化合物、硫酸、塩酸などの酸触媒の混合物を用いることを特徴とするシクロシロキサン合成時に発生するゲル状物の分解方法とすること。 - 特許庁

This manufacturing method for a low dielectric constant mesoporous thin film comprises the first stage to prepare coating liquid by mixing the cyclosiloxane monomer, organic solvent, acid or base, and water, and second stage to obtain the mesoporous thin film by applying the coating liquid obtained in the preceding stage to a substrate and, after that, thermoharden the liquid.例文帳に追加

環状シロキサン系モノマー、有機溶媒、酸または塩基、および水を混合してコーティング液を準備する第１段階と、前段階で得たコーティング液を基板上に塗布した後、熱硬化させてメソポーラス薄膜を得る第２段階とを含む、低誘電性メソポーラス薄膜の製造方法。 - 特許庁