calibration particleとは 意味・読み方・使い方

CALIBRATION SUBSTRATE FOR CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS AND LITHOGRAPHY METHOD例文帳に追加

荷電粒子ビーム描画装置の較正用基板及び描画方法 - 特許庁

PARTICLE SUSPENSION FOR CIRCULARITY CALIBRATION, AND ANALYSIS METHOD USING THE SAME例文帳に追加

円形度校正用粒子懸濁液、及びこれを用いた分析方法 - 特許庁

CHARGED-PARTICLE-BEAM EXPOSURE SYSTEM AND CALIBRATION METHOD THEREFOR例文帳に追加

荷電粒子線露光装置の較正方法及び荷電粒子線露光装置 - 特許庁

To provide a creation method of a calibration curve enabling a light scattering type particle size measuring device to measure simply the accurate particle size even in the case of particles having a small particle size.例文帳に追加

粒子径が小さい微粒子についても光散乱式粒子径測定装置で正確な粒子径を簡便に測定することを可能とする、校正曲線の作成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a fine particle component analyzer capable of rapidly performing calibration even when the component of a fine particle of nano-meter size is analyzed.例文帳に追加

ナノメータサイズの微細粒子の成分を分析する場合でも、校正を迅速に行うことができる微細粒子成分分析装置を提供する。 - 特許庁

To provide a particle size distribution measuring device capable of using various standard particles in order to conduct sensitivity calibration.例文帳に追加

感度校正のために様々な粒子径の標準粒子を用いることができる粒径分布測定装置を提供する。 - 特許庁

A standard sample for charged particle beam includes different two samples for calibration concerning magnification ratios or dimensions and a charged particle beam device uses the standard sample for charged particle beam.例文帳に追加

本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 - 特許庁

The first charged-particle beam writing apparatus performs scanning with a charged-particle beam on the substrate for calibration, where a film with two layers differing in reflectance is formed, and then, detects a reflection signal from the substrate for calibration to obtain the difference of an irradiation position.例文帳に追加

第１の荷電粒子ビーム描画装置において、反射率の異なる２層の膜が形成された較正用基板の上を荷電粒子ビームで走査し、較正用基板からの反射信号を検出して照射位置の誤差を求める。 - 特許庁