deformation patternとは 意味・読み方・使い方

Moreover, the deformed pitch pattern is set by conducting frequency deformation while holding the approximate shape of the basic pitch pattern without considering a deformation possible range.例文帳に追加

さらに、変形可能範囲に捕われることなく、基本のピッチパターンの概形を保ったまま周波数変形して変形ピッチパターンを設定する。 - 特許庁

To provide a pattern transcription method which enables avoidance of deformation of wafer due to an adhesion of dust and the deformation or breakage of the wafer due to the weight in a pattern transcription.例文帳に追加

ゴミの付着によるウェハの変形と、パターン転写時の加重によるウェハの変形や破損を同時に回避できるパターン転写方法を提供する。 - 特許庁

An image pattern deformation means 140 deforms the image of the correction area.例文帳に追加

画像パターン変形手段１４０は、補正領域の画像を変形させる。 - 特許庁

To provide a method of forming a fine pattern in a semiconductor device, which enables the formation of a narrow pattern by preventing the deformation of a photoresist pattern for ArF.例文帳に追加

ArF用フォトレジストパターンの変形を抑え、狭いパターンの形成が可能な半導体素子の微細パターン形成方法を提供する。 - 特許庁

To provide a pattern forming method for preventing deformation of a photoresist pattern and increase in LWR when spacers are formed on side walls of the pattern.例文帳に追加

フォトレジストパターンの側壁にスペーサーを形成する際のパターンの変形やＬＷＲの増大を防ぐことができるパターン形成方法。 - 特許庁

To suppress or prevent a pattern abnormality such as pattern deformation or misalignment of a semiconductor integrated circuit device.例文帳に追加

半導体集積回路装置のパターンの変形や合わせずれ等のようなパターン異常を抑制または防止する。 - 特許庁

As a result, the dried pattern can be prevented from deformation or crush owing to the pressing force.例文帳に追加

その結果、押圧力による乾燥パターンの変形や潰れが防止される。 - 特許庁

To reduce the deformation of the form of a conductive pattern in a semiconductor device.例文帳に追加

半導体装置における導体パターンの形状の変形を低減させること。 - 特許庁