division of wavefrontとは 意味・読み方・使い方

The first wavefront division elements are configured so that a group of beams obliquely incident into the optical axis center of the incident face may be emitted in parallel to the optical axis.例文帳に追加

第１波面分割要素は、入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が光軸と平行に射出されるように構成されている。 - 特許庁

An illumination optical system which lights up a surface (M; W) to be irradiated with light from a light source (1) includes: an optical integrator (7) having a plurality of wavefront division elements arranged in two dimensions and in parallel; and a condensing optical system (8) which condenses luminous flux passed through the wavefront division elements.例文帳に追加

光源（１）からの光に基づいて被照射面（Ｍ；Ｗ）を照明する照明光学系は、二次元的に並列配置された複数の波面分割要素を有するオプティカルインテグレータ（７）と、波面分割要素を経た光束を集光する集光光学系（８）とを備えている。 - 特許庁

The second wavefront division elements are configured so that a group of beams obliquely incident into the optical axis center of the incident face may be emitted obliquely to the optical axis.例文帳に追加

第２波面分割要素は、入射面の光軸中心に斜め入射した光線群が光軸に対して斜めに射出されるように構成されている。 - 特許庁

This optical integrator system is provided with a first optical integrator (111) having a plurality of first wavefront division elements (111a) disposed side by side along a predetermined direction (z-direction), and a second optical integrator system (113) having a plurality of second wavefront division elements (113a) disposed side by side along the predetermined direction (z-direction) in an order from an optical incident side.例文帳に追加

本発明のオプティカルインテグレータ系は、光の入射側から順に、所定方向（ｚ方向）に沿って並んで配置された複数の第１波面分割要素（１１１ａ）を有する第１オプティカルインテグレータ（１１１）と、所定方向（ｚ方向）に沿って並んで配置された複数の第２波面分割要素（１１３ａ）を有する第２オプティカルインテグレータ（１１３）とを備えている。 - 特許庁

To provide an optical integrator system capable of forming a desired illuminance distribution on a surface to be illuminated by ensuring a predetermined large numerical aperture of an emission side without requiring excessively high accuracy for a face shape of an optical surface of a wavefront division element.例文帳に追加

波面分割要素の光学面の面形状について過度に高い精度が求められることなく所要の大きな射出側開口数を確保し、被照射面上で所望の照度分布を形成することのできるオプティカルインテグレータ系。 - 特許庁

To provide an optical integrator system capable of forming a desired illuminance distribution on a surface to be illuminated without being substantially influenced by errors of surface shapes of optical surfaces of wavefront division elements, for example, even if a movable optical member exists in front.例文帳に追加

例えば前側に可動光学部材が存在していても、波面分割要素の光学面の面形状誤差の影響を実質的に受けることなく、被照射面上で所望の照度分布を形成することのできるオプティカルインテグレータ系。 - 特許庁

The control unit performs control so that the illuminance distribution is substantially uniform at a center part of an irradiation region on a unit wavefront division surface and gradually decreases toward an edge of the irradiation region at a peripheral edge part.例文帳に追加

制御装置は、照射光が照射される単位波面分割面における照射領域の中央部分の照度分布がほぼ均一になり、周縁部分の照度分布が照射領域のエッジに向かって徐々に小さくなるように制御する。 - 特許庁

The correction filter is so structured as to be movable in a direction perpendicular to the optical axis (AX) to allow the flux of light passed through the unit distribution region to enter a region spread over at least two adjacent wavefront division regions out of the plurality of them.例文帳に追加

補正フィルターは、単位分布領域を介した光束が複数の波面分割領域のうちの隣接する少なくとも２つの波面分割領域に跨る領域に入射するように光軸（ＡＸ）と直交する方向に移動可能に構成されている。 - 特許庁