epi-illuminationとは 意味・読み方・使い方

To provide an epi-illumination device providing coaxial illumination or inclined illumination, while simultaneously providing coaxial illumination and inclined illumination.例文帳に追加

同軸照明光或いは偏斜照明光のみならず同軸照明光と偏斜照明光とを同時に行うことができる落射照明装置を提供すること。 - 特許庁

A light source comprising a blue LED is used in the coaxial epi-illumination.例文帳に追加

同軸落斜照明には青色ＬＥＤからなる光源を用いる。 - 特許庁

The image of the rim is acquired by an imaging section, arranged coaxially with the epi-illumination section 60.例文帳に追加

周縁部の像は、落射照明部６０と同軸に配置された撮像部で取得する。 - 特許庁

To provide an epi-illumination component capable of surely reducing the disturbance in the vibration direction of linearly polarized light after reflection at an epi-illumination prism even when the maximum numerical aperture NA of the light passing the epi-illumination prism is specified to ≥0.1, and also provide a measuring instrument.例文帳に追加

落射照明プリズムを通過する光の最大開口数ＮＡを０.１以上にする場合でも、落射照明プリズムで反射した後の直線偏光の振動方向の乱れを確実に低減できる落射照明部品および測定装置を提供する。 - 特許庁

A clearance 21A is formed in the upper illumination 21, and illumination light of an epi-illumination section 60 is projected through the clearance 21A.例文帳に追加

上部照明２１には、隙間２１Ａが形成されており、この隙間２１Ａを通して落射照明部６０の照明光が投光される。 - 特許庁

The illumination light of an epi-illumination section 60 is folded by a first mirror 14 and illuminates the rim of the wafer W.例文帳に追加

落射照明部６０の照明光は、第一のミラー１４で折り返されてウェハＷの周縁部を照明する。 - 特許庁

A surface of a work of an inspection object is imaged by a camera 1, by concurrently driving an illumination part 2A for coaxial epi-illumination and an illumination part 2B for oblique incident illumination, under illumination thereof.例文帳に追加

検査対象のワークの表面に対し、同軸落射照明用の照明部２Ａと斜め入射照明用の照明部２Ｂとを同時に駆動して、その照明下でカメラ１による撮像を実行する。 - 特許庁

To provide a magnifying observation device, capable of simplifying a switching operation between epi-illumination and side-illumination while suppressing reduction in luminous quantity by the side illumination.例文帳に追加

落射照明と側射照明の切替作業を簡便化すると同時に側射照明の光量の減少を抑える拡大観察装置を提供する。 - 特許庁