exposerとは 意味・読み方・使い方

ELECTROSTATIC CHUCK, STAGE, BOARD PROCESSOR, AND CHARGED PARTICLE BEAM EXPOSER, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD例文帳に追加

静電チャック、ステージ、基板処理装置、荷電粒子線露光装置及びデバイス製造方法 - 特許庁

The resist film is exposed in the desired pattern shape with a KrF excimer laser exposer (step S2).例文帳に追加

次いで、ＫｒＦエキシマレーザ露光機にて所望のパターン形状にレジスト膜を露光する（ステップＳ２）。 - 特許庁

POSITION DETECTION METHOD, EXPOSURE METHOD, EXPOSER, DEVICE MANUFACTURING METHOD, PROGRAM, AND INFORMATION RECORDING MEDIUM例文帳に追加

位置検出方法、露光方法及び露光装置、デバイス製造方法、並びにプログラム及び情報記録媒体 - 特許庁

APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING LENGTH CHANGE OF FEED SPINDLE IN EXPOSER FOR RECORDING PRINT ORIGINAL例文帳に追加

印刷原稿を記録するための露光器において送りスピンドルの長さ変化を測定するための装置及び方法 - 特許庁

To provide an electrostatic chuck which can exchange a wafer quickly and can enhance the throughput, a charged particle beam exposer, and others.例文帳に追加

素早くウェハの交換を行うことができ、スループットの向上を実現できる静電チャック、荷電粒子線露光装置等を提供する。 - 特許庁

To provide a chemical substance evaluation method for precisely evaluating the effect of a chemical substance on a living thing and an exposer used in this.例文帳に追加

化学物質による生物への影響を的確に評価できる化学物質評価方法及びそれに用いる暴露装置を提供すること。 - 特許庁

To provide a small-sized laser exposer wherein the life of a semicon ductor laser is improved and the exchanging frequency of a semiconductor laser is reduced.例文帳に追加

小型で、半導体レーザの寿命が延び、半導体レーザの交換頻度が減少するレーザ露光装置を提供することを課題とする。 - 特許庁

A film, which is transparent to the light emitted from the light source of a projecting exposer, is stuck on the topside of a projecting lens, and a barrier against generated organic gas is provided.例文帳に追加

投影レンズの上面に、投影露光装置の光源から発する光に対して透明な薄膜を貼り付け、発生有機ガスに対する障壁を設けた。 - 特許庁