excimer emissionとは 意味・読み方・使い方

This wavelength calibrator is equipped with an excimer laser 1, a band narrowing optical apparatus for generating narrow emission, a reference laser for generating a reference beam of known wavelength or a calibration lamp light source 2, and a lattice 7 which performs emission of narrow excimer laser and also serves as a dispersion element to allow the reference beam to enter.例文帳に追加

本発明が提供する波長較正装置は、エキシマレーザ１と、狭まった放出を生成するための帯域狭化光学機器と、既知の波長の基準光を生成するための基準レーザ又は較正ランプ光源２と、狭まったエキシマレーザ放出と基準光が入射する分散素子である格子７を備える。 - 特許庁

The excimer lamp is composed of a lengthy discharge vessel (10) having a rectangular cross-section which is made of a dielectric material for transmitting the vacuum ultraviolet rays, discharge gas for excimer light emission which is sealed into the interior of this discharge vessel (10), and an electrode (11) formed on the outer face of the discharge vessel (10).例文帳に追加

真空紫外線を透過する誘電体材料からなる断面矩形の長尺状の放電容器(10)と、この放電容器(10)の内部に封入されたエキシマ発光のための放電用ガスと、放電容器(10)の外面の形成された電極(11)とよりなる。 - 特許庁

A layer of chromium is provided on the surface of a discharge container which is constructed of a dielectric transmitting the vacuum ultraviolet rays and in which a discharge gas for excimer light emission is filled, and then, by laminating a nickel layer on it to form the electrode, and the excimer lamp is made.例文帳に追加

真空紫外線を透過する誘電体により構成され、内部にエキシマ発光のための放電用ガスを封入した放電容器表面に、まずクロムの層を設け、ついでニッケルの層を積層することにより電極を形成して、エキシマランプとする。 - 特許庁

To provide a structure in which the intensity of vacuum ultraviolet rays is made uniform on an emission face of a discharge vessel in an excimer lamp of which the discharge vessel has a rectangular shape.例文帳に追加

放電容器が直方体形状であるエキシマランプにおいて、放電容器の放射面において、真空紫外光の強度を均一にした構造を提案することである。 - 特許庁

The exposure system reflects the EUV(excimer ultraviolet) light emitted from an emission center by a condensing mirror, carries out the exposure by using the EUV light, and has a debris reduction means for reducing the debris produced from the emission center or from near the emission center , and the condensing mirror and the debris reduction means are unitedly assembled.例文帳に追加

発光点から発するＥＵＶ光を集光ミラーで反射し、該ＥＵＶ光を用いて露光を行う露光装置であって、前記発光点又は前記発光点近傍から発生するデブリを低減するデブリ低減手段を有し、前記集光ミラーと前記デブリ低減手段とを一体的に構成する。 - 特許庁

To provide an excimer lamp device capable of obtaining high light emission efficiency without fear of fluctuation of filament-shaped discharge generated in an arc tube even if the inside of the arc tube is made an equilibrium plasma state in order to raise light emission efficiency, and as a result, capable of obtaining high illuminance with stabilization of illuminance achieved.例文帳に追加

発光効率を上げるために発光管内を平衡プラズマ状態としても、発光管内で発生するフィラメント状放電が変動することがなく、高い発光効率が得られ、結果として高い照度が得られると共に、照度の安定化を可能にしたエキシマランプ装置を提供する。 - 特許庁

To provide an excimer laser treatment apparatus suppressing the hazardous property while exerting treatment effects by effectively using a single wavelength peak of 308 nm and the emission range of its short wavelength side.例文帳に追加

３０８ｎｍの単一波長ピークとその短波長側の発光域をうまく使用することにより、治療効果をあげながら、なおかつ有害性を抑えることを可能にするエキシマ光治療器を提供すること。 - 特許庁

In the organic thin film including a platinum complex and a host material, the platinum complex has monomer emission in the range of 440 nm or more and 480 nm or less, and also an emission maximum wavelength originating in excimer emission in the range of 530 nm or more and 650 nm or less; and the platinum complex is a platinum complex with a specific structure containing a tetradentate ligand.例文帳に追加

白金錯体、及びホスト材料を含む有機薄膜であって、該白金錯体が４４０ｎｍ以上４８０ｎｍ以下の範囲にモノマー発光を有し、かつ、５３０ｎｍ以上６５０ｎｍ以下の範囲にエキシマー発光に由来する発光極大波長を有しており、前記白金錯体が、四座配位子を含む特定の構造の白金錯体である有機薄膜。 - 特許庁