fine motionとは 意味・読み方・使い方

The fixed relative locational relation between the fine motion stage 1 and the XY slider 4 is maintained after the positioning of the fine motion stage 1.例文帳に追加

こうして、微動ステージ１の位置決め後における微動ステージ１とＸＹスライダー４との相対的な位置関係を一定に保つ。 - 特許庁

To provide a stage device for reducing the size and weight of a fine motion stage part and a rough motion stage part by reducing motor capacity of fine drive in the scanning direction of the fine motion stage, achieving noncontact support by magnetic levitation of the rough motion stage and the fine motion stage, increasing the speed of the stage, and allowing accurate six degree-of-freedom control.例文帳に追加

微動ステージの走査方向の微小駆動のモータ容量の低減を図り、微動ステージ部および粗動ステージの小型軽量化とともに、粗動ステージと微動ステージの磁気浮上により非接触支持を実現し、ステージの高速化、高精度な６自由度制御を可能にするステージ装置を提供する。 - 特許庁

By a two-stage actuator control part 1, a coarse motion actuator mechanism part 3 and a fine motion actuator mechanism part 4 are simultaneously controlled to apply a coarse motion actuator control signal and a fine motion actuator control signal which are different from a coarse motion actuator control signal 23 and a fine motion actuator control signal 24 applied in the case of head positioning operation.例文帳に追加

２段アクチュエータ制御部１は、粗動アクチュエータ機構部３と微動アクチュエータ機構部４とを同時に制御してヘッド位置決めを行なう場合に加える粗動アクチュエータ制御信号２３および微動アクチュエータ制御信号２４とは異なる粗動アクチュエータ制御信号および微動アクチュエータ制御信号とを加える。 - 特許庁

A mask stage MST for supporting a mask M comprises a rough motion stage 16, a fine motion stage 18, a linear motor for moving the rough motion stage 16 in a specified direction, and a linear motor for moving the fine motion stage 18 in a specified direction above the rough motion stage 16.例文帳に追加

マスクＭを支持するマスクステージＭＳＴは、粗動ステージ１６と、微動ステージ１８と、粗動ステージ１６を所定方向に移動するリニアモータと、微動ステージ１８を粗動ステージ１６上で所定方向に移動するリニアモータとを備えている。 - 特許庁

To provide a driver capable of realizing rough motion and fine motion through a simple control circuit and performing high precision positioning.例文帳に追加

粗動と微動とを簡単な制御回路で実現でき、高精度の位置決めを行うことができる駆動装置を提供する。 - 特許庁

To prevent fine sliding between terminals caused by motion of the terminals within a housing.例文帳に追加

端子金具がハウジング内で遊動することに起因する端子金具間の微摺動を防止する。 - 特許庁

The linear motors move such that they have different absolute speed distributions of the rough motion stage 16 and the fine motion stage 18, respectively.例文帳に追加

リニアモータのそれぞれは、粗動ステージ１６及び微動ステージ１８のそれぞれの絶対速度分布を互いに異なるように移動する。 - 特許庁

To estimate whether an image is a motion image photographed by a professional cameraman or a motion image photographed by an amateur with a fine accuracy, for sorting.例文帳に追加

プロカメラマンにより撮影された動画像かアマチュアにより撮影された動画像かを精度良く推定して分類可能にすること。 - 特許庁