helium ion treatmentとは 意味・読み方・使い方

In this method for annealing diamond in which a defective layer generated in the diamond monocrystal at the time of injecting an additional element into the diamond crystal is restored through heat treatment, the temperature of the heat treatment is adjusted to 600-1,100°C, and the inside of the diamond crystal is irradiated with a helium ion beam by adjusting the ion irradiation energy of the ion beam to 40-100 keV.例文帳に追加

本発明のアニール方法は、ダイヤモンド単結晶中に添加元素を注入する際に生じた欠陥層を熱処理により回復させるアニール方法において、熱処理の温度を６００℃以上１１００℃以下にして、ヘリウムイオンのイオンビームを用い、イオン照射エネルギーを４０keV以上１００keV未満にして、ダイヤモンド単結晶中に照射することにより行われる。 - 特許庁