ion beam powerとは 意味・読み方・使い方

Thereby, a pulse ion beam having an ion beam current lower than a current value corresponding to the lowest power P_C capable of igniting discharge is obtained.例文帳に追加

これによって、最低放電点弧可能パワーＰ_C に対応する電流値よりも低いイオンビーム電流のパルスイオンビームが得られる。 - 特許庁

The power supply for ion beam generators is provided with the discharge power supply 6 inserted between an anode 1b and a cathode 1a of the ion beam generator 1 and a beam power supply 7a inserted among the cathode 1a of the ion beam generator 1, a screen electrode 1c and an earth.例文帳に追加

イオンビーム発生装置用電源は、イオンビーム発生装置１の陽極１ｂと陰極１ａとの間に挿入される放電電源６と、イオンビーム発生装置１の陰極１ａ及びスクリーン電極１ｃと接地との間に挿入されるビーム電源７ａを備えている。 - 特許庁

To provide a charged particle beam device and an FIB (focused ion beam) device excellent in performance by reducing an influence on an ion beam by a noise component included in an electrostatic deflection power source.例文帳に追加

静電偏向電源に乗っているノイズ成分によるイオンビームへの影響を軽減して、性能のよい荷電粒子ビーム装置およびＦＩＢ装置を提供すること。 - 特許庁

An ion beam 9 drawn out from a frequency power source is radiated to a substrate 12, thus the substrate is micromachined by the ion beam.例文帳に追加

高周波イオン源から引き出されたイオンビーム９を基板１２に照射せしめることによりイオンビームによる基板の微細加工を行わせる。 - 特許庁

This ion implanting device includes an ion source 100 for generating an ion beam 50, an electron beam source Gn for emitting an electron beam 138 scanned in the Y direction to generate plasma 12, a power source 114 for the electron beam source, an ion beam monitor 80 for measuring the Y direction beam current density distribution of the ion beam 50 in the vicinity of the implanting position, and a control device 90.例文帳に追加

このイオン注入装置は、イオンビーム５０を発生するイオン源１００と、Ｙ方向に走査される電子ビーム１３８を放出してプラズマ１２４を生成する電子ビーム源Ｇｎと、それ用の電源１１４と、注入位置近傍におけるイオンビーム５０のＹ方向のビーム電流密度分布を測定するイオンビームモニタ８０と、制御装置９０とを備えている。 - 特許庁

To provide an ion beam generating device in which burning of power source can be prevented by installing a bypass circuit connected in parallel between a second electrode and a power source connected to the second electrode of the ion beam generating device.例文帳に追加

イオンビーム発生装置の第２電極と、第２電極と接続される電源との間に、並列接続してバイパス回路を設けることにより、電源の焼損を防ぐことができる。 - 特許庁

The deflector 38 removes neutral particles from the ion beam, and the bias power supply 9 attracts an ion beam of low-energy emitted from the deflector 37 to a wafer W.例文帳に追加

偏向器３８はイオンビームから中性粒子を除去し、バイアス電源９は偏向器３７から出射した低エネルギーのイオンビームをウェーハＷへ引き付ける。 - 特許庁

A CPU 21 sends a signal for turning off an ion acceleration voltage to an ion acceleration power control part 15 so that an ion beam is not irradiated to a sample when the sample is analyzed.例文帳に追加

試料分析の時に試料にイオンビームが照射されないように、ＣＰＵ２１は、イオン加速電圧オフの信号をイオン加速電源制御部１５に送る。 - 特許庁