ion microanalyzerとは 意味・読み方・使い方

When forming the emitter region 2e and the collector region 2c, the acceleration voltage is set at 20 kV and the ion current is set at 10 μA by a secondary ion microanalyzer (IMA) and the two points on the Si substrate 1 are irradiated with Ar^+ and He^+, which are rare gas element ions, for about two hours.例文帳に追加

エミッタ領域２ｅ及びコレクタ領域２ｃの形成に当たっては、二次イオン質量分析器（ＩＭＡ）により加速電圧を２０ｋＶ、イオン電流を１０μＡとして、希ガス元素のイオンであるＡｒ^+及びＨｅ^+を２時間程度、Ｓｉ基板１の２箇所にイオン照射する。 - 特許庁

The porous shaped article comprises an organic polymer resin and an inorganic ion adsorbent, wherein the ratio of 95% cumulative relative X-ray intensity to 5% cumulative relative X-ray intensity (cumulative relative X-ray intensity ratio) of ingredient elements composing an inorganic ion adsorbent that is supported by the porous article ranges from 1 to 10 as measured using an electron probe microanalyzer (EPMA).例文帳に追加

有機高分子樹脂及び無機イオン吸着体を含んでなる多孔生の成形体であって、電子線マイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）を用いて得られる、該多孔性の成形体に担持されている無機イオン吸着体を構成する成分元素の９５％相対累積Ｘ線強度と５％相対累積Ｘ線強度の比（相対累積Ｘ線強度比）が１〜１０となることを含む、上記多孔性成形体。 - 特許庁