ion micro probeとは 意味・読み方・使い方

The micro sample prepared by ion beam 104 processing is picked out with a probe 28, a voltage is impressed, under this condition, between the probe 128 and the micro sample holder 138 by a probe electrification circuit 139.例文帳に追加

イオンビーム１０４加工により作製した微小試料をプローブ１２８で摘出し、その状態でプローブ通電回路１３９によりプローブ１２８と微小試料ホルダ１３８間に電圧を印加する。 - 特許庁

A root side with respect to the joining point for the probe 128 is cut thereafter by an ion beam 104, and the micro sample is fixed thereby to the sample holder 138 via the tip of the probe 128.例文帳に追加

次にプローブ１２８の接合点よりも根元側をイオンビーム１０４で切断することにより、微小試料はプローブ１２８の先端を介して微小試料ホルダ１３８への固定が完了する。 - 特許庁

The micro testpiece processing and observation device are equipped with a focused ion beam optical system and an electron optical system in an identical vacuum device, and separate a micro testpiece including the desired region of the testpiece by a charged particle beam forming process, and have a probe for sampling the micro testpiece separated.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 - 特許庁

In the micro testpiece processing and observation device, a focused ion beam optical system and an electron optical system are equipped in an identical vacuum device, and a micro testpiece including the desired region of the testpiece is separated by a charged particle beam forming process, and a probe for sampling the micro testpiece separated is equipped.例文帳に追加

上記課題を解決するために本発明装置では、同一真空装置に集束イオンビーム光学系と電子光学系を備え、試料の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブを備えた。 - 特許庁

A state of a probe tip is observed therein by an optical microscope, an electron microscope or an ion microscope, and the rotation of the low-vibration stepping motor is stopped when the micro sample is directed along a desired direction.例文帳に追加

この時プローブ先端の様子を工学顕微鏡、電子顕微鏡、あるいはイオン顕微鏡により観察し、微小試料が所望の向きになった時点で低振動ステッピングモータの回転を止める。 - 特許庁