iop1とは 意味・読み方・使い方

The illumination optical system IOP1 is composed of several optical units 84A-84D having at least one optical device.例文帳に追加

照明光学系ＩＯＰ１を、少なくとも１つの光学素子を有する複数の光学ユニット８４Ａ〜８４Ｄから構成する。 - 特許庁

The projection aligner comprises treatment and light transmission systems IOP2 and IOP1 for carrying out treatment regarding exposure by light, and light transmission to the treatment IOP2, respectively.例文帳に追加

光により露光に関する処理を行う処理系ＩＯＰ２と、光を処理系ＩＯＰ２に送光する送光系ＩＯＰ１とを備える。 - 特許庁

In this case, the second position is set on an operation table 142 which is detachably mounted on a stand of the illumination optical system IOP1 in such a way that it is continued from the placing surface.例文帳に追加

この場合、第２の位置は載置面とほぼ連続するように、照明光学系ＩＯＰ１の架台に対し着脱可能に装着される作業台１４２上に設定する。 - 特許庁

Thus even if the movable blade moves by a large extent during the light exposure, this involves generation of vibration in the first system part IOP1 and residual vibration remains during the light exposure and the vibration will have no adverse effect on the second optical system part and the light exposure main body provided therewith.例文帳に追加

このため、露光動作中に可動ブレードが大きく動き、それに伴って第１部分光学系ＩＯＰ１に振動が発生し、この振動の残留振動が露光中に残ったとしても、その振動は第２部分光学系及びこれが設置された露光本体部に悪影響を殆ど与えることがなくなる。 - 特許庁