macro-etchingとは 意味・読み方・使い方

An evaluation method of a polycrystalline silicon wafer comprises: revealing crystal defects on a surface a polycrystalline silicon wafer to be evaluated by selectively etching the surface; obtaining a macro image of the surface of the polycrystalline silicon wafer whose crystal defects are revealed as a scattering image; and quantitatively evaluating a crystal defect distribution in the polycrystalline silicon wafer based on a luminance distribution of the obtained macro image.例文帳に追加

評価対象の多結晶シリコンウェーハ表面を選択エッチングし、該表面において結晶欠陥を顕在化させること、結晶欠陥を顕在化させた多結晶シリコンウェーハ表面のマクロ画像を散乱画像として取得すること、および、取得したマクロ画像の輝度分布に基づき、前記多結晶シリコンウェーハにおける結晶欠陥分布を定量的に評価すること、を含む多結晶シリコンウェーハの評価方法。 - 特許庁

A zinc oxide transparent conductive oxide layer is formed thicker than a desired film-thickness beforehand and is plasma treated using a gas containing methane and hydrogen, thereby, etching and macro-sizing of particle size of the zinc oxide transparent conductive oxide layer take place, and as a result, " high light transmissivity " and "low resistance" are achieved at the same time.例文帳に追加

酸化亜鉛透明導電酸化物層を予め所望の膜厚よりも厚めに製膜し、メタンと水素を含むガスを用いてプラズマ処理することで、酸化亜鉛透明導電酸化物層のエッチングおよび粒径の巨大化が起こり、その結果「高光線透過率」「低抵抗」を同時に達成することが可能となる。 - 特許庁