macroparticlesとは 意味・読み方・使い方

As a result, many solid macroparticles lose their kinetic energy, are captured by the porous film, and cannot reach the substrate 11.例文帳に追加

この結果、固体状のマクロパーティクルの多くは運動エネルギを消失し、多孔質膜に捕獲され、基板１１まで到達することができない。 - 特許庁

To reduce the number of macroparticles sticking on a substrate for film-deposition while maintaining a film deposition rate when a film is deposited by an FCA (Filtered Cathodic Arc) method, with respect to a film deposition apparatus and method.例文帳に追加

成膜装置及び成膜方法に関し、ＦＣＡ法により成膜する際に、成膜レートを維持しつつ、被成膜基板上に付着するマクロパーティクル数を低減する。 - 特許庁

To increase the deposition rate of a film reduced in macroparticles and to maintain stable vacuum arc discharge for a long period of time even in the case of deposition of an insulating film.例文帳に追加

マクロパーティクルの少ない皮膜の成膜速度を高めるとともに、絶縁性皮膜の成膜においても安定した真空アーク放電を長時間持続させる。 - 特許庁

However, a filter sheet 5 having a porous film provided on its surface is provided in between the curved portion and a chamber 6, and accordingly makes the solid macroparticles having moved toward the substrate 11 enter into the void in the porous film, and repeatedly collide against the wall of the inner part.例文帳に追加

ところが、湾曲部とチャンバ６との間に、表面に多孔質膜が設けられたフィルタ板５が設置されているので、基板１１に向かってきた固体状のマクロパーティクルは、多孔質膜の空隙に入り込み、その内部で衝突を繰り返す。 - 特許庁