deposition rateとは 意味・読み方・使い方

To provide a film deposition system and a film deposition method where a film deposition rate and the thickness of a deposited film can be extremely satisfactorily controlled while holding the film deposition rate by vapor deposition.例文帳に追加

蒸着による成膜速度を保ちながらも極めて良好に成膜速度および成膜膜厚を制御することが可能な成膜装置、および成膜方法を提供する。 - 特許庁

To provide a film deposition system capable of performing film deposition at a high film deposition rate by plasma CVD.例文帳に追加

プラズマＣＶＤによって、高い成膜レートで成膜を行なうことができる成膜装置を提供する。 - 特許庁

To realize vapor deposition in which oblique vapor deposition and the reduction of a vapor deposition rate are prevented by a compact system.例文帳に追加

斜め蒸着、蒸着レートの低下を防止した蒸着を、小型の装置で実現すること。 - 特許庁

METHOD FOR MEASUREMENT OF DEPOSITION AMOUNT AND DEPOSITION RATE OF TRITIUM GAS IN ENVIRONMENT例文帳に追加

環境中におけるトリチウムガス沈着量及び沈着速度の測定法 - 特許庁

To provide a deposition system having excellent uniformity of a film at a high deposition rate.例文帳に追加

高堆積レートで膜の均一性の良好な堆積システムを提供する。 - 特許庁

To provide a method for depositing film deposition particles on a substrate at a high film deposition rate, in a film deposition method such as an aerosol deposition process, and to provide a film deposition apparatus.例文帳に追加

エアロゾルデポジション法等の成膜方法において、基板に高い付着率で成膜粒子を付着させる方法及び装置を提供する。 - 特許庁

To provide an inexpensive vapor deposition source cell capable of setting an extensive vapor deposition rate and obtaining an stable vapor deposition rate.例文帳に追加

広範囲な蒸着レートの設定が可能で、安定した蒸着レートを得ることが可能な安価な蒸着源セルを提供する。 - 特許庁

To increase a film deposition rate by surely increasing a Cu film with respect to a film deposition time.例文帳に追加

成膜時間に対してCu膜を確実に増加させて成膜速度を速くする。 - 特許庁