TWI431713B

TWI431713B - Stage device

Info

Publication number: TWI431713B
Application number: TW097109373A
Authority: TW
Inventors: 吉田達矢; 中森靖仁
Original assignee: 住友重機械工業股份有限公司
Priority date: 2007-12-12
Filing date: 2008-03-17
Publication date: 2014-03-21
Also published as: KR20090063077A; KR100993474B1; TW200926340A; JP2008076415A; JP4138858B2; CN101459104A; CN101459104B

Description

載台裝置

本發明，是有關一種載台裝置，具有在搭載了基板的基台上可朝一軸方向移動的高架部。

以往，使用於液晶面板或半導體等的各種基板的製造等的載台裝置，已知例如專利文獻1。此載台裝置，是具備：將罐材連結構築成框狀製罐構造的基台、及設置於基台的兩側的一對的導引軌道、及沿著這些導引軌道被導引的一對導引滑件、及横架於一對的導引滑件之間的樑。樑，是沿著導引軌道移動，藉由搭載於此樑的照相機或維修裝置等，檢出基板的缺陷並且進行修復。基台，是隔著除振組件被支撐於架台上。且基台，是藉由平行架設於框內的補強罐被補強。基台，是隔著除振組件被支撐於架台上。

在此載台裝置中，設有纜線載體。在樑中，連接：供給供控制沿著樑本身或樑移動的滑件用電力的電力纜線、或在與附設於滑件的處理裝置之間送收訊各種訊號用的訊號纜線等。這些纜線，是通過纜線載體配線。這時，為了縮小寬度方向的尺寸，纜線載體是配置於基台的下方。而且，在纜線載體及樑之間設置連結構件，將來自纜線載體的纜線導引至樑。

[專利文獻1]日本特開2006－269509號公報

[發明的揭示]

但是，在上述習知的載台裝置中，因為在基台的下方配置纜線載體，所以在該部分無法配置除振組件或柱，因此設計的自由度低。

本發明，是鑑於上述狀況，其目的為提供一種載台裝置，對於基台下的構造可提高設計的自由度並抑制大型化。

本發明的載台裝置，是具備基台、及在前述基台上朝一軸方向可移動地設置的高架部，其特徵為，具備：設成朝前述基台的側方伸出且沿著前述一軸方向延伸且設有供導引前述高架部的移動的導引軌道之高架部支撐台、及設置於前述基台的側方的前述高架部支撐台的下方並追從前述高架部的移動而變形之纜線載體。

如此，因為在基台的側方設置纜線載體，對於基台下的構造可以提高設計的自由度。且，藉由朝基台的側方伸出的方式設置高架部支撐台，除了可縮小基台的寬度，因為可以在基台的側方的高架部支撐台的下方設置纜線載體，所以可以抑制大型化。

前述纜線載體，是支撐朝前述高架部的纜線用，在前述高架部及前述纜線載體之間設有導引前述纜線用的連絡構件，前述連絡構件及前述纜線載體的連結點，是位於構成與前述高架部相面對的前述基台的框體的側方也可以。如習知技術，在基台的下方配置纜線載體的話，設置於纜線載體及高架部之間的連絡構件因為變長，所以振動產生容易，並有使外亂變大的可能。對於此，藉由如上述的結構，可縮短連絡構件的長度並抑制振動的發生，可以抑制因外亂所產生的影響。

在前述高架部支撐台的下面及前述基台的側面之間設有補強肋也可以。如此的話，可以提高高架部支撐台的剛性。

前述基台，是具有將該基台在水平方向分割成複數塊體用的分割部也可以。如此的話，即使隨著基板的大型化使基台大型化，不需使用特殊的大型車輛就可分割供運送基台。

在前述高架部支撐台的下面及前述基台的側面之間設有補強肋，前述基台，是具有將該基台在水平方向分割成複數塊體用的分割部，前述分割部的前述塊體彼此的連結，是藉由前述補強肋進行也可以。如此藉由補強肋連結，塊體彼此可以強力且容易連結。且，習知的平台構造的情況，若欲分割的話有需要將連結用的凸緣朝平台的側面伸出，有橫方向的尺寸變大的問題，但是在本實施例中，因為可以抑制補強肋是比突出片更朝側方伸出，所以可以抑制大型化。

依據本發明，可提供一種載台裝置，對於基台下的構造可提高設計的自由度並抑制大型化。

以下，參照添付圖面說明本發明的實施例。又，對於圖面的說明的同一要素是附加同一的符號，省略重複說明。

[第1實施例]

第1圖是本發明的第1實施例的載台裝置1的立體圖，第2圖是將具備第1圖的載台裝置1從基台上方所見的立體圖，第3圖將基台從下方所見的立體圖，第4圖是連結了連結材的基台的下部框架被除振組件支撐狀態的立體圖。

如第1圖所示，載台裝置1，是具備：搭載有基板的基台10、及移動於基台10上的高架部30、及設置於基台10供導引高架部30的移動用的導引軌道40及永久磁鐵42、及設置於高架部30的下部被導引軌道40導引的導引滑件44及與永久磁鐵42相面對的電磁鐵48，此高架部30是沿著導引軌道40移動。又，在第1圖中，基台10的長度方向為Y軸方向，與其相互垂直的水平方向為X軸方向，與這些相互垂直的方向為Z軸方向。

基台10，是具有：上部框架12、及與上部框架12上下分離設置的下部框架22、及連結上部框架12及下部框架22的連結材18。

上部框架12，是在藉由連結各朝X軸方向延伸的罐材12a、12b、及朝Y軸方向延伸的罐材12c、12d而形成矩形狀的框體的內側，藉由複數補強材14a、14b、14c、14d補強的結構。在此，罐材12a、12b、12c、12d是中空的棒材，在本實施例是利用剖面口狀的口型(方型)鋼。且，補強材14a、14b、14c、14d，不論是中空或中實皆是横架框體內側的棒材，在本實施例中利用剖面H狀的H型鋼及剖面口狀的口型鋼。

在此，雖詳細如後述，但是基台10是在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，朝上部框架12的Y軸方向延伸的罐材12c、12d是在途中被切斷，且設有分割部16。而且，對於從前方側及後側挾持分割部16的各塊體，在切斷部分的罐材12c、12d之間，朝X軸方向延伸的方式横架由口型鋼組成的補強材14a。

而且，在由罐材12a及罐材12c、12d及補強材14a所形成的前方的框內，由H型鋼構成的補強材14b，是與罐材12c、12d平行架設，並且與罐材12a及補強材14a平行架設。且，由H型鋼構成的補強材14c，是對於罐材12a、12c、12d及補強材14a呈傾斜對角狀横架。因此，補強材14b，14c是成為在中央的一點交叉，並從此放射狀延伸的狀態。

且，在由罐材12c、12d及罐材12b及補強材14a所形成的後面的框內，由H型鋼構成的補強材14d，是對於罐材12b、12c、12d及補強材14a傾斜横架。

下部框架22，是在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材22a、22b、及朝Y軸方向延伸的罐材22c、22d而形成矩形狀的框體的內側，藉由補強材24b所補強的結構。罐材22a、22b、22c、22d的徑，是比上部框架12的罐材12a、12b、12c、12d小。由口型鋼構成的補強材24b，是在罐材22c、22d的長度方向的中央部，横架於X軸方向。

在此，如前述，基台10是在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，下部框架22的朝Y軸方向延伸的罐材22c、22d是在途中被切斷，並設有分割部26。

連結材18，是在Z軸方向分離的狀態下，連結上部框架12及下部框架22。在本實施例中，連結材18是由口型鋼的罐材所構成，在四角連結上部框架12及下部框架22。進一步，為了提高剛性，而在上下的罐材12c、22c之間，在分割部16、26的前方側，朝Z軸方向延伸的如在口型鋼組成連結材18是架設。且，在上下的罐材22d、22d間中，在分割部16、26的前方側，朝Z軸方向延伸地架設由口型鋼構成連結材18。

除振組件50，是設在載台裝置1的設置面及基台10之間。更詳細的話，除振組件50，是在下部框架22的四角、及罐材22c、22d的途中的下部，可除振地支撐基台10。除振組件50，是供去除從設置面傳遞至基台10的振動，可以使用例如由空氣彈簧或橡膠等的彈性材所構成者。

導引軌道40，是分別設在罐材12c、12d的上面，朝Y軸方向延伸。更詳細的話，在罐材12c、12d的上面，朝向外側方設有突出片(導引軌道支撐台)52，此突出片52是朝Y軸方向連續延伸。而且，在此突出片52的上面，設有導引軌道40。且，永久磁鐵42，是對於突出片52的上面被設在比導引軌道40更鄰接於外側的位置，並朝Y軸方向延伸。此永久磁鐵42，是在Y軸方向返覆S極及N極的預定模式。

在導引軌道40及永久磁鐵42的上方，配置有與朝X軸方向延伸的高架部30的兩側的下部連結的連結板46，在此連結板46的下面分別鄰接設有導引滑件44及電磁鐵48。電磁鐵48，是配合永久磁鐵42的S極及N極的模式變化磁極，藉由在永久磁鐵42之間發生反抗力可以一邊由導引軌道40導引高架部30一邊朝Y軸方向移動。

又，在突出片52的下面，架設於與罐材12c、12d的外側面之間的複數補強肋54是設成在Y軸方向隔有預定間隔，使剛性提高。

高架部30，是具備：朝X軸方向延伸的支撐部30a、線形馬達部30b及移動部30c。移動部30c可藉由線形馬達部30b沿著該線形馬達部30b朝X軸方向移動。而且，藉由在此移動部30c附設預定的處理裝置，使處理裝置是朝X軸方向移動，對於被搭載於基台10的基板實行預定的處理。此處理裝置，可以是：檢查基板上的缺陷的照相機、修復濾色板的色脫落等的基板的表面處理狀態的維修裝置、對於基板進行模式處理的塗抹裝置。

如第5圖所示，在載台裝置1的基台10上，設有供載置液晶面板等的基板用的工件壓板11。又，由運送車運送載台裝置1時，在設有此工件壓板11的狀態積載於運送車。

在本實施例中，是如第5圖所示，基台10、導引軌道40、永久磁鐵42、突出片52及工件壓板11，是由與Y軸方向垂直的分割面所分割。而且，分割基台10，是在分割部16、26藉由螺絲等連結。即，在分割部26(16)中，如第6圖所示，設有將切斷罐材22c(12c)的切斷面圍起來並向外的凸緣26a(16a)，通過此向外的凸緣26a(16a)連結被分割的基台10的塊體彼此。又，在上部框架12的分割部16中，補強肋54是兼具向外的凸緣16a。由此，透過補強肋54，藉由螺絲旋緊等使塊體彼此可強力且容易地連結。

如此，基台10、導引軌道40、永久磁鐵42、突出片52及工件壓板11因為是在Y軸方向可分割的結構，所以載台裝置1可分割成2個塊體。又，分割部16、26，是對於上下的Z軸方向設在對應的位置，對於Y軸方向各塊體是形成於可積載於運送車的大小的位置。

且，在基台10的兩側方的突出片52的下方，是如第1圖及第7圖所示，設有纜線載體60。在高架部30中，連接：供給供控制高架部30本身或移動部30c的移動用的電力的無圖示電力纜線、或在與附設於移動部30c的處理裝置之間送收訊各種訊號用的無圖示訊號纜線等。這些纜線，是通過纜線載體60地被配線。

纜線載體60，是連設扁平的複數筒材的，各筒材是在相互限制的角度內可轉動自如地連結。匯集的纜線，是通過此纜線載體60的內部。纜線載體60的一端60a，是固定在被設置於基台10的側方的支撐台62上。且，纜線載體60的另一端60b，是固定於連絡構件64。連絡構件64，是筒狀的構件並與高架部30及纜線載體60連結，將來自纜線載體60的纜線導引至高架部30。

因此，如第8圖所示，纜線載體60是如履帶(日本註冊商標)地可變形自如，高架部30隨著朝Y軸方向移動，於基台10的長度方向的任意的位置可彎曲成U字狀。而且，通過纜線載體60內部的纜線，會順著纜線載體60的變形而變形。

如此，本實施例的載台裝置1中，藉由將纜線載體60設在基台10的兩側方的突出片52的下方，就可與設在基台10的內部的情況不同，罐材12c、22c之間或罐材12d、22d之間的空間的利用的自由度提高，在此，可配置連結材18及除振組件50，可以提高剛性及制振性。且，藉由設置突出片52並且配置導引軌道40及永久磁鐵42，就可縮小基台10的寬度，並且可在基台10的側方的突出片52的下方設置纜線載體60，所以可抑制大型化。

如習知技術，在基台的下方配置纜線載體的話，因為設在纜線載體及高架部之間的連絡構件會變長，所以容易發生振動，有可能使外亂變大，但是本發明因為是將連絡構件64及纜線載體60的連結點設在與高架部30相面對的上部框架12的側方(即上部框架12的側方的高度位置)，所以可以縮短連絡構件64的Z軸方向的長度，可以降低由外亂的影響所造成的基台10的振動。

且，基台10，是因為具有將基台10在水平方向分割成複數塊體用的分割部16、26，所以即使隨著基板的大型化使基台10大型化，也不需使用特殊的大型車輛就可將基台10分割運送。且，將構成基台10的罐材12c、12d、22c、22d機械加工時，因為可各分割部分分別進行，所以機械加工容易進行。

且，分割基台10的情況，基台10是由罐材構成的話，接合面的剛性低，高架部30的驅動時有產生變形的可能性，但是本實施例的基台10因為是盒構造，配合上部框架12及下部框架22中的上下的接合面的話，接合面會增加，可以降低產生變形的可能性，成為有利於基台10的分割的構造。

且，分割部16、26，因為是將構成上部框架12及下部框架22的罐材在上下對應位置切斷的結構，所以設置於上部框架12及下部框架22的分割部16、26是藉由上下方向分離，可對於讓分割面脫落的力矩進行強化，在剛性上有利。

且，在罐材的切斷面中因為設置向外的凸緣16a、26a，所以被分割的塊體彼此透過向外的凸緣16a、26a藉由螺絲等可以容易相互連結。

又，在突出片52的下面設有架設於罐材12c、12d的外側面之間的複數補強肋54，分割的基台10，也是透過此補強肋54連結。在此，習知的平台構造的情況，若欲分割的話，連結用的凸緣有需要設成伸出平台的側面，而有橫方向的尺寸變大的問題，但是在本實施例中，因為可以抑制補強肋54或分割部16、26比突出片52更朝側方伸出，所以可以抑制大型化。

且，因為在上部框架12的框內以傾斜方向架設補強材14c、14d，所以與在框內平行架設的補強材的情況相比可以充分地提高基台10的剛性。即，可以提高對於高架部13及其搭載裝置同時移動時可能發生的基台10的扭轉剛性。

且，因為基台10具有上部框架12及下部框架22，並將其由連結材18連結成盒構造，所以雖由罐材構成並達成輕量化，但仍可提高剛性。因此，即使因為高架部30的移動而承受負荷使除振組件50下沈而導致基台10傾斜，也可抑制基台10本身的變形，高架部30及基台10的相對位置的誤差非常小，可正確地處理基板。且，因為不需要等待基台10的變形回復至原形為止就可進行基板的處理，處理量不會下降。

又，在此，雖只有在上部框架12的框內朝傾斜方向設置補強材，但是在下部框架22的框內朝傾斜方向設置補強材也可以。

且，連結材18雖由口型鋼構成，將上部框架12及下部框架22的四角等連結的結構，但是連結材18不限定於口型鋼，例如藉由板材將上部框架12及下部框架22包圍而連結的結構也可以。

且，如第9圖所示，上部框架12的分割部16的向外的凸緣16a、及下部框架22的分割部26的向外凸緣26a為一體構造也可以。如此的話，可以更提高基台10的剛性。

[第2實施例]

接著，說明本發明的第2實施例。又，與上述第1實施例同一的要素使用同一符號，省略重複說明。

第10圖，是本發明的第2實施例的載台裝置101的側面圖，第11圖是將具備第10圖的載台裝置101的基台110從上方所見的立體圖，第12圖是將基台110從下方所見的立體圖，第13圖，是將分割的基台110的後側的塊體從上方所見的立體圖，第14圖是連結有連結材118的基台110的下部框架122的立體圖，第15圖是架台170及除振組件150的立體圖。

此第2實施例與第1實施例的相異點，是藉由架台170支撐基台110的點、及因此變更基台110的結構的點。

如第10圖所示，載台裝置101，是具備：搭載有基板的基台110、及移動於基台110上的高架部130、及設置於基台110供導引高架部130移動的導引軌道140及永久磁鐵142、及設置於高架部130的下部被導引至導引軌道140的導引滑件144及與永久磁鐵142相面對的電磁鐵146，此高架部130是沿著導引軌道140移動。又，在第10圖中，基台110的長度方向為Y軸方向，與其垂直的水平方向為X軸方向，與這些垂直的方向為Z軸方向。

基台110，是具有：上部框架112、及與上部框架112上下分離設置的下部框架122、及連結上部框架112及下部框架122的連結材118。

上部框架112，是在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材112a、112b、及朝Y軸方向延伸的罐材112c、112d而形成矩形狀的框體的內側，由複數補強材114a、114b、114c、114d補強而構成。在此，罐材112a、112b、112c、112d是中空的棒材，在本實施例中是使用剖面口狀的口型鋼。且，補強材114a、114b、114c、114d，是無論中空或中實皆横架於框體的內側的棒材，在本實施例中使用剖面H狀的H型鋼及剖面口狀的口型鋼。

在此，雖詳細如後述，基台110在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，上部框架112的朝Y軸方向延伸的罐材112c、112d是在途中被切斷，並設有分割部116。而且，對於各別挾持分割部116的前方側及後側的塊體，在切斷部分的罐材112c、112d之間，朝X軸方向延伸地横架由口型鋼構成之補強材114a。

而且，在由罐材112a及罐材112c、112d及補強材114a所形成的前方的框內，由H型鋼構成的補強材114b，是與罐材112c、112d平行地架設，並且與罐材112a及補強材114a平行地架設。且，由H型鋼構成的補強材114c，是對於罐材112a、112c、112d及補強材114a呈傾斜對角狀地横架。因此，補強材114b，114c是成為由中央的一點交叉並從此放射狀延伸的狀態。

且，在由罐材112c、112d及罐材112b及補強材114a所形成的後方的框內，由H型鋼構成的補強材114d，是對於罐材112b、112c、112d及補強材114a傾斜地横架。

下部框架122，是在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材122a、122b、及朝Y軸方向延伸的罐材122c、122d而形成矩形狀的框體的內側，藉由複數補強材124a、124b、124c所補強的結構。罐材122a、122b、122c、122d的徑，是比上部框架12的罐材112a、112b、112c、112d小。

在此，如前述，基台110是在長度方向的水平方向可分割成複數塊體(在此為2塊體)，下部框架122的朝Y軸方向延伸的罐材122c、122d是在途中被切斷，並設有分割部126。而且，對於分割部126前方側的塊體，在切斷部分的罐材122c、122d之間，朝X軸方向延伸地横架由口型鋼構成的補強材124a。

且，在由罐材122a及罐材122c、112d及補強材124a所形成的前方的框內，由H型鋼構成的補強材124b，是與罐材122c、122d平行地架設，並且與罐材122a及補強材124a平行地架設。且，由H型鋼構成的補強材124c，是對於罐材122a、122c、122d及補強材124a呈傾斜對角狀地横架。因此，補強材124b，124c是成為由中央的一點交叉，並從此放射狀延伸的狀態。

且，下部框架122，是沿著上部框架112的外形但四角凹陷的略矩形狀。後述架台170的支柱178，是通過此凹陷119從下方支撐上部框架112的四角。

連結材118，是在Z軸方向分離的狀態下，連結上部框架112及下部框架122。在本實施例中，連結材118是由口型鋼的罐材所構成，將上部框架112及下部框架122在四角附近連結。

架台170，是如第15圖所示，在藉由分別連結朝X軸方向延伸的罐材172a、172b、及朝Y軸方向延伸的罐材172c、172d而形成的矩形狀的框體的內側，藉由複數補強材174a、盤74b所補強的結構。在此，罐材172a、172b、172c、172d是中空的棒材，在本實施例中使用剖面口狀的口型鋼。且，補強材174a、174b，無論是中空或中實皆是横架框體內側的棒材，在本實施例中使用剖面口狀的口型鋼。

在此，如前述基台110是在長度方向的水平方向在的複數塊體可分割成複數塊體(在此為2塊體)，並且架台170也可分割成複數塊體。架台170的朝Y軸方向延伸的罐材172c、172d是在途中被切斷，並設有分割部176。而且，對於各別挾持分割部176前方側及後側的塊體，在切斷部分的罐材172c、172d之間，朝X軸方向延伸地横架由口型鋼構成的補強材174a。且，在前方側的框內，進一步朝X軸方向延伸地横架由口型鋼構成的補強材174a。且，在架台170的框內，朝Y軸方向延伸地横架由口型鋼構成的補強材174b。此補強材174b是在途中被切斷，並設有分割部176。

在架台170的四角中，朝Z軸方向延伸地設有支柱178。除振組件150，是設置於架台170的支柱178的上端及各罐材172a、172b、172c、172d上。更詳細的話，除振組件150，是在上部框架112的四角及架台170的支柱178的上端之間、及在各罐材172a、172b、172c、172d的途中的上部及下部框架122的罐材122a、122b、122c、122d之間，可除振地支撐基台110。除振組件150，是供去除從設置面傳遞至基台110的振動，可以使用例如由空氣彈簧或橡膠等的彈性材所構成者。

導引軌道140，是朝Y軸方向延伸。更詳細的話，在罐材112c、112d的上面設有朝向於外側方的突出片152，此突出片152是朝Y軸方向連續延伸。而且，在此突出片152的上面設有導引軌道140。且，永久磁鐵142，是在突出片152的上面設在比導引軌道140更鄰接於外側的位置，並朝Y軸方向延伸。此永久磁鐵142，是在Y軸方向返覆S極及N極的預定模式。

在導引軌道140及永久磁鐵142的上方，配置有與朝X軸方向延伸的高架部130的兩側的下部連結的連結板146，在此連結板146的下面，分別鄰接設置導引滑件144及電磁鐵148。電磁鐵148，是配合永久磁鐵142的S極及N極的模式變化磁極，可以藉由在永久磁鐵142之間發生的反抗力一邊將高架部130由導引軌道140導引一邊朝Y軸方向移動。

又，在突出片152的下面，架設於罐材112c、112d的外側面之間的複數補強肋154是在Y軸方向隔有預定間隔地設置，使剛性提高。

高架部130，是具備：朝X軸方向延伸的支撐部130a、線形馬達部130b及移動部130c。移動部130c，可藉由線形馬達部130b沿著該線形馬達部130b朝X軸方向移動。而且，藉由在此移動部130c附設預定的處理裝置，使處理裝置朝X軸方向移動，並對於被搭載於基台110的基板實行預定的處理。此處理裝置，可以是檢查基板上的缺陷的照相機、修復濾色板的色脫落等基板的表面處理狀態的維修裝置、對於基板進行模式處理的塗抹裝置。

又，在載台裝置101的基台110上，與第1實施例同樣，設有供載置液晶面板等的基板用的無圖示工件壓板。又，由運送車運送載台裝置101時，在設置有此工件壓板的狀態下積載於運送車。

在本實施例，是如第10圖所示，基台110、導引軌道140、永久磁鐵142、突出片152、架台170及機床工作台，是由與Y軸方向垂直的分割面所分割。而且，分割的基台110，是在分割部116、126藉由螺絲等連結。又，在上部框架112的分割部116中，補強肋154是兼具向外的凸緣116a。由此，透過補強肋154，藉由螺絲旋緊等使塊體彼此強力且容易地連結。

在此，習知的平台構造的情況，若欲分割的話，連結用的凸緣有需要設成伸出平台的側面，而有橫方向的尺寸變大的問題，但是在本實施例中，因為可以抑制補強肋154或分割部116、126比突出片152更朝側方伸出，所以可以抑制大型化。

如此，基台110、導引軌道140、永久磁鐵142、突出片152、架台170及工件壓板因為是在Y軸方向可分割的結構，所以載台裝置101可分割成2個塊體。又，分割部116、126、176，是在上下的Z軸方向設在對應的位置，所以對於Y軸方向各塊體是形成於可積載於運送車的大小的位置。

且，在基台110的兩側方的突出片152的下方，是如第10圖及第16圖所示，設有纜線載體160。在高架部130中，連接：供給供控制高架部130本身或移動部130c的移動用的電力的無圖示電力纜線、或在附設於移動部130c的處理裝置之間送收訊各種訊號用的無圖示訊號纜線等。這些纜線，是通過纜線載體160地配線。

纜線載體160，是連設扁平的複數筒材，各筒材是在相互限制的角度內可轉動自如地連結。匯集的纜線，是通過此纜線載體160的內部。纜線載體160的一端160a，是固定在被設置於基台110的側方的支撐台162上。且，纜線載體160的另一端160b，是固定於連絡構件164。連絡構件164，是筒狀的構件並與高架部130及纜線載體160連結，將來自纜線載體160的纜線導引至高架部130。

因此，如第17圖所示，纜線載體160是如履帶(日本註冊商標)地可變形自如，隨著高架部130朝Y軸方向移動，於基台110的長度方向的任意的位置可彎曲成U字狀。而且，通過於纜線載體160的內部的纜線，會順著纜線載體160的變形而變形。

如此，本實施例的載台裝置101中，藉由將纜線載體160設在基台110的兩側方的突出片152的下方，與設置於基台110的內部的情況不同，罐材112c、122c之間或罐材112d、122d之間的空間的利用的自由度提高，在此配置連結材118或除振組件150，可以提高剛性的提高或制振性。且，因為除了可縮小的基台110的寬度，並且在基台110的側方的突出片152的下方可以設置纜線載體160，所以可以抑制大型化。

且，如習知技術，在基台的下方配置纜線載體的話，設置於纜線載體及高架部之間的連絡構件因為變長，振動容易產生，外亂有可能變大，但本發明，因為將連絡構件164及纜線載體160的連結點，設在與高架部130相面對的上部框架112的側方(即，位於上部框架112的側方的高度位置)，可以縮短連絡構件164的Z軸方向的長度，可以降低因外亂的影響所產生的基台110的振動。

且，基台110，因為具有將基台110在水平方向分割成複數塊體用的分割部116、126，即使隨著基板的大型化而使基台110大型化，也不需使用特殊的大型車輛就可將基台110分割運送。且，將構成基台110的罐材112c、112d、122c、122d機械加工時，因為可各分割部分分別進行，所以機械加工容易進行。

且，分割基台110的情況，基台110是由罐材構成的話，接合面的剛性低，高架部130的驅動時有產生變形的可能性，但是本實施例的基台110因為是盒構造，配合上部框架112及下部框架122中的上下的接合面的話，接合面會增加，可以降低產生變形的可能性，成為有利於基台110的分割的構造。

且，分割部116、126，因為是將構成上部框架112及下部框架122的罐材在上下對應位置切斷的結構，所以設置於上部框架112及下部框架122的分割部116、126是藉由上下方向分離，可對於讓分割面脫落的力矩進行強化，在剛性上有利。

且，在罐材的切斷面中因為設置向外的凸緣116a、126a，所以被分割的塊體彼此透過向外的凸緣116a、 126a藉由螺絲等可以容易相互連結。且，在架台170的罐材的切斷面因為也同樣設置向外的凸緣，所以分割的塊體彼此可以藉由螺絲等容易連結。

且，因為在上部框架112的框內以傾斜方向架設補強材114c、114d，在下部框架122的框內以傾斜方向架設補強材124c，所以與在框內平行架設補強材的情況相比，可以充分地提高基台110的剛性。

且，因為基台110是具有上部框架112及下部框架122，並將這些連結材118連結的盒構造，所以即使由罐材構成而達成輕量化，剛性也可提高。因此，即使因為高架部130的移動而承受負荷使除振組件150下沈而導致基台110傾斜，也可抑制基台110本身的變形，高架部130及基台110的相對位置的誤差非常小，可正確地處理基板。且，因為不需要等待基台110的變形回復至原形為止就可進行基板的處理，處理量不會下降。

且，載台裝置101，因為具備隔著除振組件150支撐基台110的架台170，所以可以在架台170上由除振狀態支撐基台110。

且，因為通過下部框架122的四角的凹陷119從下方隔著除振組件150藉由支柱178支撐上部框架112的四角，所以可以隔著除振組件150將基台110支撐於接近重心的更高的位置，可以抑制因為高架部130的移動所產生的基台110的擺動。且，因為下部框架122作為錘的功能，所以可以更抑制基台110的擺動。

又，雖連結材118為口型鋼的結構且為將上部框架112及下部框架122由四角等連結的結構，但是連結材118不限定於口型鋼，例如藉由板材包圍上部框架112及下部框架122地連結的結構也可以。

又，本發明不限定於上述實施例，可進行各種的變形。例如，在上述實施例中，雖說明適用高架部30、130朝Y軸方向移動且移動部30c、130c朝X軸方向移動的2軸型的載台裝置1、101，但是只有高架部30、130移動的1軸型也可適用。

且，高架部30、130或移動部30c、130c的移動，是接觸型、非接觸型的任一種也可以。

1‧‧‧載台裝置

10‧‧‧基台

11‧‧‧工件壓板

12‧‧‧上部框架

12a‧‧‧罐材

12b‧‧‧罐材

12c‧‧‧罐材

12d‧‧‧罐材

14a‧‧‧補強材

14b‧‧‧補強材

14c‧‧‧補強材

14d‧‧‧補強材

16‧‧‧分割部

16a‧‧‧向外凸緣

18‧‧‧連結材

22‧‧‧下部框架

22a‧‧‧罐材

22b‧‧‧罐材

22c‧‧‧罐材

22d‧‧‧罐材

24b‧‧‧補強材

26‧‧‧分割部

26a‧‧‧向外凸緣

30‧‧‧高架部

30a‧‧‧支撐部

30b‧‧‧線形馬達部

30c‧‧‧移動部

40‧‧‧導引軌道

42‧‧‧永久磁鐵

44‧‧‧導引滑件

46‧‧‧連結板

48‧‧‧電磁鐵

50‧‧‧除振組件

52‧‧‧突出片

54‧‧‧補強肋

60‧‧‧纜線載體

60a‧‧‧一端

60b‧‧‧另一端

62‧‧‧支撐台

64‧‧‧連絡構件

74b‧‧‧盤

101‧‧‧載台裝置

110‧‧‧基台

112‧‧‧上部框架

112a‧‧‧罐材

112b‧‧‧罐材

112c‧‧‧罐材

122d‧‧‧罐材

114a‧‧‧補強材

114b‧‧‧補強材

114c‧‧‧補強材

114d‧‧‧補強材

116‧‧‧分割部

116a‧‧‧向外凸緣

118‧‧‧連結材

119‧‧‧凹陷

122‧‧‧下部框架

122a‧‧‧罐材

122b‧‧‧罐材

122c‧‧‧罐材

122d‧‧‧罐材

124a‧‧‧補強材

124b‧‧‧補強材

124c‧‧‧補強材

126‧‧‧分割部

130‧‧‧高架部

130a‧‧‧支撐部

130b‧‧‧線形馬達部

130c‧‧‧移動部

140‧‧‧導引軌道

142‧‧‧永久磁鐵

144‧‧‧導引滑件

146‧‧‧連結板

146‧‧‧電磁鐵

148‧‧‧電磁鐵

150‧‧‧除振組件

152‧‧‧突出片

154‧‧‧補強肋

160‧‧‧纜線載體

160a‧‧‧一端

160b‧‧‧另一端

162‧‧‧支撐台

164‧‧‧連絡構件

170‧‧‧架台

172a‧‧‧罐材

172b‧‧‧罐材

172c‧‧‧罐材

172d‧‧‧罐材

174a‧‧‧補強材

174b‧‧‧補強材

176‧‧‧分割部

178‧‧‧支柱

[第1圖]本發明的第1實施例的載台裝置的立體圖。

[第2圖]將具備第1圖的載台裝置的基台從上方所見的立體圖。

[第3圖]將基台從下方所見的立體圖。

[第4圖]連結有連結材的基台的下部框架是被支撐在除振組件的狀態的立體圖。

[第5圖]將工件壓板組裝於第1圖的載台裝置的立體圖。

[第6圖]顯示分割部的前視圖。

[第7圖]顯示纜線載體的配置的部分擴大圖。

[第8圖]如第1圖所示的載台裝置的側面圖。

[第9圖]顯示分割部的變形例的圖。

[第10圖]本發明的第2實施例的載台裝置的立體圖。

[第11圖]將具備第10圖的載台裝置的基台從上方所見的立體圖。

[第12圖]將基台從下方所見的立體圖。

[第13圖]將基台分割後的後側的塊體從上方所見的立體圖。

[第14圖]連結有連結材的基台的下部框架的立體圖。

[第15圖]顯示架台及除振組件的立體圖。

[第16圖]顯示纜線載體的配置的部分擴大圖。

[第17圖]如第10圖所示的載台裝置的側面圖。