CN104033395B - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种真空泵，抑制由于分割固定叶片部在对接部产生重叠或翘曲而导致组装时固定叶片部发生变形。固定叶片部(70)是使分割固定叶片部(70A、70B)的径向两个对接端部对接而形成为一个轮。在分割固定叶片部(70A)的外周轮圈(73a)上，设置着从对接面在圆周方向上切去部分而成的缺口(K)，在组装时分割固定叶片部(70A)的外周轮圈(73a)与分割固定叶片部(70B)的外周轮圈(73b)的端部(73b2)形成间隙(S)。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种包含含有可动叶片(moving blade)部与固定叶片部的排气部的真空泵(Vacuum pump)。

背景技术

涡轮分子泵(Turbo Molecular Pump)等真空泵中，在泵容器内，使包含多段排列的可动叶片部的转子高速地旋转，通过可动叶片部、与排列在可动叶片部的各段之间的固定叶片(stationary blade)部，将气体分子从吸气口侧移送至排气埠侧。

各段的可动叶片部包含转子叶片(rotor blade)，各段的固定叶片部包含定子叶片(statorb1ade)。各固定叶片部是由配设在固定叶片部外周的间隔件而以规定间隔被支撑。固定叶片部是将一对对半分开的环状构件组合而形成为一个轮状。也就是说，将对半分开的环状构件作为对接部的两个对接端部相互对接而形成一个轮。转子叶片及定子叶片形成为相对于转子的旋转面而倾斜。

作为制作固定叶片部的方法，有通过机械加工而形成的方法、及通过塑性加工而形成的方法。通过塑性加工制作的方法在成本方面有利。

通过塑性加工进行制作的方法是以如下方式进行制作：对金属板进行压制加工，利用内周轮圈与外周轮圈将以规定的倾斜角度沿着圆周方向排列的多个定子叶片连结。由于加工时的偏差，对半分开的环状构件的圆周长有时会比设计尺寸长。因此，在将对半分开的环状构件的对接端部对接而形成一个轮时，对半分开的环状构件的对接端部会相互重叠，或者因对接端部彼此的反作用力而使对接端部产生翘曲。

以往，已知有一种结构，在对半分开的环状构件已对接的状态下，在内周轮圈的对接面上设置着狭缝(例如，参照专利文献1)。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2006-77713号公报

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的真空泵存在的缺陷，如上所述，若加工时对半分开的环状构件的圆周长出现偏差，则固定叶片部会产生重叠或翘曲。专利文献1中，对于此类问题，并无应对措施等的记载。而提供一种新的真空泵，所要解决的技术问题是使其抑制由于分割固定叶片部在对接部产生重叠或翘曲而导致组装时固定叶片部发生变形，非常适于实用。本发明适用于包含将可动叶片部与固定叶片部多段地层叠而成的排气部的真空泵。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的真空泵的固定叶片部包含两片以上的分割固定叶片部，分割固定叶片部各自在周方向的两端部包含对接端部，将各分割固定叶片部各自的对接端部相互对接而形成固定叶片部，分割固定叶片部各自包含：由间隔件夹持的外周轮圈；位于固定叶片部的内周侧前端的内周轮圈；及多个定子叶片，在外周轮圈与内周轮圈之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体倾斜而形成多个排气开口；多个分割固定叶片部在相互对接的外周轮圈的对接端部，在至少其中一个外周轮圈上形成着缺口，所述缺口在相对向的另一个外周轮圈之间形成间隙。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的真空泵，其中所述的分割固定叶片部各自是由平板而制作成相同形状，在各分割固定叶片部的对接端部的其中一个上，由内周轮圈的对接端面、与外周轮圈的对接端面形成第1对接面，在对接端部的另一个上，由内周轮圈的端面、外周轮圈的端面、及形成开口部的缘构件的端面形成第2对接面，将第1对接面与第2对接面相互抵接而形成固定叶片部。

前述的真空泵，其中所述缺口在外周轮圈上设为周方向上具有规定宽度、径向上具有规定长度的矩形形状。

前述的真空泵，其中所述的在多个分割固定叶片部对接的内周轮圈中至少其中一个的端面上，设置着从该内周轮圈弯曲的弯曲部。从有效地进行对接作业的观点出发，优选此种构成。

借由上述技术方案，本发明至少具有下列优点及有益效果：

根据本发明，即便由于分割固定叶片部的加工时的尺寸偏差，导致对接端部间的圆周长形成地比设计尺寸长的情况下，也能够抑制在组装固定叶片部时，多个分割固定叶片部的外周轮圈的端部重叠、或分割固定叶片部自身、甚至固定叶片部自身产生翘曲的状况。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是作为本发明的真空泵的一个实施方式的涡轮分子泵的截面图。

图2是图1中的区域II的放大图。

图3是固定叶片部的俯视图。

图4是图3中的区域IV的放大立体图。

图5是用以说明固定叶片部的制造方法的半圆板盘的俯视图。

图6是用以说明继图5后的步骤的半圆板盘的俯视图。

图7是图6中的区域VII的放大图。

图8(a)是冲头的俯视图，图8(b)是冲头的立体图。

图9(a)是模头的俯视图，图9(b)是模头的立体图。

图10是用以说明使用冲头PU及模头DI，通过拉拔加工(drawing)而制作定子叶片的方法的图，图10(a)是沿图6中的Xa-Xa线切断的拉拔加工时的截面图，图10(b)是沿图6中的Xb-Xb线切断的拉拔加工时的截面图。

图11是本发明的固定叶片部主要部分的实施方式2的截面图。

图12是本发明的固定叶片部主要部分的实施方式3的截面图。

【主要元件符号说明】

1：涡轮分子泵 4：转子

4A：转子上部 4B：转子下部圆筒部

5：转子轴 6：可动叶片部

8：间隔件 9：螺钉定子

9a：螺纹槽部 11：泵容器

12：外壳(casing)构件 13：底座(base)

13a、21：上部法兰(flange) 14：中央筒部

15：吸气口 16：排气埠

16a：排气口 21：上部法兰

22：贯通孔 23：下部法兰

31、32：磁轴承 33a、33b：径向位移传感器

33c：轴向位移传感器 34、36：机械轴承

35：电动机(motor) 38：转子盘(rotor disc)

42：密封构件 70：固定叶片部

70A、70B：分割固定叶片部 70H：固定叶片部主体

70P：半圆板盘 70R：折弯部

70S：形成排气开口的桥型接合器(bridge)

71：定子叶片 71Si：内周侧端部

71So：外周侧端部 72a、72b：内周轮圈

72a1、72b1、72a2、72b2、73a1、73a2、73b1、73b2：端部

72a3、72b3：弯曲部 73a、73b：外周轮圈

75：内周侧支撑部 76：外周侧支撑部

76a：区域 77：前端侧部

78：开口部 79：排气开口

81：切入线 82、83：开口

84：外周面 91、92、93、94：螺栓

FA1、FA2、FB1、FB2、PU3b、DI3b：对接端部

K：缺口 IO、L：长度

S：间隙 DI：模头

DI1、DI2、PU1、PU2：倾斜部 DI3、DI3a、PU3a：倾斜面

PU：冲头 PU3：冲头主体部

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的真空泵其具体实施方式、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

-实施方式1-

以下，参照附图，以涡轮分子泵为一个实施方式而说明本发明的真空泵。

(真空泵整体构成)

图1是涡轮分子泵1的截面图，图2是图1中的区域II的放大图。

涡轮分子泵1包含由外壳构件12、及固定在外壳构件12上的底座13而形成的泵容器11。

外壳构件12具有大致圆筒形状，是由例如SUS而形成，且在上端部形成着上部法兰21。在外壳构件12的上部法兰21的内部形成着圆形状的吸气口15。在上部法兰21上，沿圆周方向大致等间隔地形成着螺栓插通用的贯通孔22。涡轮分子泵1是将螺栓92插通到上部法兰21的贯通孔22中后，安装在半导体制造装置等的外部装置。

在泵容器11内，收纳着转子4及同轴安装在转子4的轴芯上的转子轴5。转子4与转子轴5是利用螺栓91而固定。

转子4包含：转子上部4A、及与转子上部4A的下表面接合的转子下部圆筒部4B。转子上部4A例如是由铝合金而形成。在转子上部4A上，在转子4的轴向上隔开间隔地排列着多段的形成为辐射状、且排列在圆周方向上的多个可动叶片部6。可动叶片部6相对于可动叶片部6的旋转面以规定的倾斜角度而形成。

如图2所示，在多个可动叶片部6的各段之间配置有包含定子叶片71(参照图3)的固定叶片部70。

固定叶片部70将一对对半分开的环状构件组合而形成为一个轮状。各固定叶片部70由沿着外壳构件12的内周面配置的环形状的间隔件8而夹持，且层叠为多段(图示的例中为7段)。最上段的间隔件8的上表面抵接于外壳构件12的上部法兰21的内面，最下段的间隔件8的下表面抵接于底座13的上部法兰13a的上表面。因此，各固定叶片部70在外壳构件12的上部法兰21的内面与底座13的上部法兰13a的上表面之间，经由间隔件8被赋予旋转轴方向的力而受到支撑。以此方式，将可动叶片部6与固定叶片部70交替层叠多段而构成高真空用的叶片排气部。

在转子下部圆筒部4B的外周侧，利用螺栓94将环状的螺钉定子9固定于底座13。在螺钉定子9上，形成着螺纹槽部9a。利用转子4的转子下部圆筒部4B与螺钉定子9而构成低真空用的螺纹槽排气部。

另外，图1中，例示在螺钉定子9上形成着螺纹槽部9a的构造，但也可在转子下部圆筒部4B的外周面形成螺纹槽部9a。

底座13是由例如铝合金而形成，在底座13的中央部，形成着中央筒部14，该中央筒部14形成着供转子轴5插通的圆形的中空部。在中央筒部14的内侧安装着电动机35、径向方向磁轴承31(两个部位)、推力方向磁轴承32(上下一对)、径向位移传感器33a、径向位移传感器33b与轴向位移传感器33c、机械轴承34、机械轴承36及转子盘38。

转子轴5由径向方向磁轴承31(两个部位)及推力方向磁轴承32(上下一对)非接触地支撑着。转子轴5旋转时的位置是根据由径向位移传感器33a、径向位移传感器33b及轴向位移传感器33c检测出的径向的位置与轴向的位置而控制。通过磁轴承31、磁轴承32而旋转自如地磁悬浮的转子轴5是利用电动机35而高速旋转驱动。通过使转子轴5旋转驱动，而使与转子轴5连结的转子上部4A旋转，从而所有的可动叶片部6一体地旋转。

机械轴承34、机械轴承36是紧急用的机械轴承，在磁轴承31、磁轴承32不动作时，转子轴5由机械轴承34、机械轴承36而支撑。

在底座13上，设置着排气埠16，在排气埠16上，设置着排气口16a。

使外壳构件12的下部法兰23与底座13的上部法兰13a隔着密封构件42而利用螺栓93固定，从而构成泵容器11。

如以上所说明，实施方式的真空泵是包含排气功能部的真空泵，该排气功能部是将由间隔件8支撑的固定叶片部70分别配置在多段配置的可动叶片部6间而成。

以下，详细地说明固定叶片部70。

(固定叶片部70的说明)

图3是图1所示的固定叶片部70的俯视图，图4是图3中的区域IV的放大立体图。

固定叶片部70是将对半分开的环状构件即两个分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B组合而构成。分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B为相同形状。各分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B在中央部具有开口83、且俯视时为半环状体(以下，为方便起见，也记作半圆形形状)。分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B包含外周轮圈73a、内周轮圈72a、及多个定子叶片71，所述多个定子叶片71在外周轮圈73a与内周轮圈72a之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸。

如以下所说明，分割固定叶片部70A包含对接端部FA1及对接端部FA2，分割固定叶片部70B包含对接端部FB1及对接端部FB2。于此，分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B各自的周方向两端部的形状不同。参照图4，在分割固定叶片部70A的其中一个周方向端部FA1上，内周轮圈72a与外周轮圈73a之间存在排气开口79且相互隔开。另一方面，在分割固定叶片部70A的另一个周方向端部FA2上，内周轮圈72a与外周轮圈73a通过形成排气开口79的桥型接合器70S而连接。

在分割固定叶片部70A的外周轮圈73a的其中一个端部73a1、与分割固定叶片部70B的外周轮圈73b的其中一个端部73b1上设置着缺口K。各缺口K是为了使对接端部FA1与对接端部FB2隔开、且为了使对接端部FB1与对接端部FA2隔开而形成。

将分割固定叶片部70A的其中一个对接端部FA1与分割固定叶片部70B的另一个对接端部FB2对接，且将分割固定叶片部70A的另一个对接端部FA2与分割固定叶片部70B的其中一个对接端部FB1对接。换句话说，将分割固定叶片部70A的内周轮圈72a的其中一个端部72a1与分割固定叶片部70B的内周轮圈72b的另一个端部72b2对接，且将分割固定叶片部70A的内周轮圈72a的另一个端部72a2与分割固定叶片部70B的内周轮圈72b的其中一个端部72b1对接。

(缺口K的说明)

在按设计值而制作分割固定叶片部的情况下，将对接端部FA1与对接端部FB2的对接面、及对接端部FA2与对接端部FB1的对接面连结的直线会穿过由分割固定叶片部70A与分割固定叶片部70B形成的标准圆的中心O。然而，在通过塑性加工制作分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B时，分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B中对接端部FA1与对接端部FA2间、或对接端部FB1与对接端部FB2间的圆周长有时会形成得比设计尺寸长。在此情况下，两个分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B有可能会在对接端部重叠，或者固定叶片部70自身有可能会因两个对接端部彼此的反作用力而产生翘曲。

因此，本实施方式中，在其中一个分割固定叶片部70A的对接端部FA1、和分割固定叶片部70B的对接端部FB1设置着图5、图6所示的缺口K。在使对接端部FA1与对接端部FB2对接、且使对接端部FA2与对接端部FB1对接的状态下，分割固定叶片部70A的外周轮圈73a的其中一个端部73a1与分割固定叶片部70B的外周轮圈73b的另一个端部73b2之间，形成着与缺口K对应的间隙S。同样地，在分割固定叶片部70B的外周轮圈73b的其中一个端部73b1与分割固定叶片部70A的外周轮圈73a的另一个端部73a2之间，形成着与缺口K对应的间隙S。

该间隙S是根据两个对接端部间的圆周长度的最大公差尺寸α、及由分割固定叶片部组成的固定叶片部70的外周面与间隔件8的内周面的最大公差尺寸β等而决定。

(定子叶片71的详细的说明)

本实施方式的定子叶片71是通过拉拔加工而制作，详细说明将在后文叙述。如图4所示，分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B上形成的各定子叶片71在外周轮圈73a与内周轮圈72a之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体70H倾斜而形成多个排气开口79。即，定子叶片71在固定叶片部主体70H的表面上，在沿半径方向直线延伸的折弯部70R处从固定叶片部主体70H立起且相连，且在与固定叶片部主体70H为相反侧的前端侧部77侧，定子叶片71从固定叶片部主体70H离开。定子叶片71的前端侧部77距离固定叶片部主体70H的高度即叶片高度形成为外周侧比内周侧高。

定子叶片71在俯视时呈沿半径向细长的矩形形状。该矩形形状包括折弯部70R的长边、前端侧部77的长边、外周侧端部71So的短边、及内周侧端部71Si的短边。

分割固定叶片部70A、70B分别包含：内周侧支撑部75，将定子叶片71的内周侧端部71Si连接于内周轮圈72a或内周轮圈72b；及外周侧支撑部76，将定子叶片71的外周侧端部71So连接于外周轮圈73a或外周轮圈73b。

内周侧支撑部75遍及定子叶片71的内周侧端部71Si的全长而形成。外周侧支撑部76对应于定子叶片71的外周侧端部71So的一部分而形成。即，外周侧支撑部76设置在定子叶片71的从固定叶片部主体70折弯的折弯部70R至前端侧部77的中间，且在前端侧设置着开口部78。开口部78连通于设置在前端侧部77与固定叶片部主体70H之间的排气开口79。

如上所述，各定子叶片71由连接于外周轮圈73a的外周侧支撑部76及连接于内周轮圈72a的内周侧支撑部75支撑，因此具有大的刚性。而且，虽然叶片高度为外周侧大于内周侧，但由于在外周侧端部71So上，在前端侧部77侧形成着开口部78，因此在进行拉拔加工时可以抑制外周侧支撑部76产生龟裂。

(分割固定叶片部的制造方法)

接下来，参照图5～图10(a)、图10(b)，说明分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B的制造方法。

分割固定叶片部70A与70B是通过相同的制造方法而制作。于此，以分割固定叶片部70A为代表，说明其制造方法。

该制造方法包含以下步骤：准备半圆板盘70P；在半圆板盘70P上形成辐射状的切入线81，且在外周轮圈73a的其中一个端部73a1上形成缺口K；在半圆板盘70P的辐射状的切入线81的最外周部在周方向上形成开口82；及通过拉拔加工而形成定子叶片71。

首先，准备在内周侧设置着半圆形的开口部83的金属制的半圆形构件即半圆板盘70P。半圆板盘70P的素材可使用铝合金、不锈钢等。

如图5所示，在半圆板盘70P上以辐射状形成着多条直线状的切入线81。而且，同时或在其他步骤中，在外周轮圈73a的其中一个端部73a1上形成缺口K。切入线81的半径方向的长度为定子叶片71的半径方向的长度。切入线81及缺口K可通过压制加工或蚀刻加工而形成。切入线81的边缘部在拉拔加工后变成前端侧部77。

接下来，如图6所示，在各切入线81的外周侧的端部形成沿着半圆板盘70P的外周面84且为大致矩形状的开口82。通过压制加工能有效率地形成开口82，但也可以通过蚀刻加工而形成。开口82在拉拔加工后变成开口部78。另外，缺口K的形成也可以不在形成切入线81的所述步骤中进行，而是与开口82的形成同时地、或在其后进行。

然后，利用模头与冲头对半圆板盘70P进行拉拔加工而形成定子叶片71。以下，参照图7～图10(a)、图10(b)详细地说明拉拔加工。

图7是图6中的区域VII的放大图。图7中，影线所示的区域76a是通过拉拔加工而变成将固定叶片部主体70H与外周轮圈73a连接的外周侧支撑部76的区域。开口82的长度10理想的是小于定子叶片71的外周侧端部71So整体的长度L的一半。

图8(a)是冲头的俯视图，图8(b)是冲头的立体图，图9(a)是模头的俯视图，图9(b)是模头的立体图。而且，图10(a)、图10(b)是用以说明使用冲头PU及模头DI，通过拉拔加工而形成定子叶片71的方法的图，图10(a)是沿图6中的Xa-Xa线切断的拉拔加工时的截面图，图10(b)是沿图6中的Xb-Xb线切断的拉拔加工时的截面图。

如图8(a)、图8(b)、图10(a)、图10(b)所示，冲头PU包含用以形成定子叶片71的外周侧支撑部76的倾斜部PU1，该倾斜部PU1从外周轮圈73a侧朝定子叶片71的下表面侧突出设置。而且，包含用以形成定子叶片71的内周侧支撑部75的倾斜部PU2，该倾斜部PU2从内周轮圈72a侧朝定子叶片71的下表面侧突出设置。冲头PU包含具有倾斜面PU3a的冲头主体部PU3，该倾斜面PU3a从各定子叶片71的固定叶片部主体70H的折弯部70R朝前端侧部77突出设置，并且从内周轮圈72a朝外周轮圈73a形成向上的斜坡。而且，在冲头主体部PU3的与前端侧部77对应的位置上，形成着与转子轴5的轴向大致平行的对接端部PU3b。对接端部PU3b是用以使定子叶片71的前端侧部77从固定叶片部主体70H分离的部分。

如图9(a)、图9(b)、图10(a)、图10(b)所示，模头DI包含用以形成定子叶片71的外周侧支撑部76的倾斜部DI1，该倾斜部DI1从外周轮圈73a侧朝定子叶片71的上表面侧凹下设置。而且，包含用以形成定子叶片71的内周侧支撑部75的倾斜部DI2，该倾斜部DI2从内周轮圈72a侧朝定子叶片71的上表面侧凹下设置。模头DI包含具有倾斜面DI3a的模头主体部DI3，该倾斜面DI3a从各定子叶片71的固定叶片部主体70H的折弯部70R朝前端侧部77凹下设置，并且从内周轮圈72a朝外周轮圈73a形成向下的斜坡。而且，在模头主体部DI3的与前端侧部77对应的位置上，形成着与转子轴5的轴向大致平行的对接端部DI3b。对接端部DI3b是用以使定子叶片71的前端侧部77从固定叶片部主体70H分离的部分。

将半圆板盘70P放置在模头DI1上，沿箭头方向挤压冲头PU而对半圆板盘70P进行拉拔加工，制作定子叶片71。该拉拔加工中，在图7的斜线区域76a产生三维塑性流动而形成外周侧支撑部76。通过使区域76a塑性变形，将开口82从平面形状朝叶片高度方向三维变形而形成开口部78。而且，以半圆板盘70P上形成的切入线81变成前端侧端部77的方式，使固定叶片部主体70H从折弯部70R(参照图6)以倾斜状立起而形成定子叶片71。立起的定子叶片71的前端侧部77与固定叶片部主体70H之间的空间变成排气开口79(参照图4)。而且，形成于定子叶片71的外周侧部的开口部78形成为与排气开口79连续而相连。

根据以上说明的一个实施方式，发挥以下的效果。

实施方式的真空泵中，将两片分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B各自的对接端部FA1与对接端部FB2、及对接端部FB1与对接端部FA2相互对接而形成圆板状的固定叶片部70。分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B各自包含：外周轮圈73a；位于固定叶片部70的内周侧前端内周轮圈72a；及设置在外周轮圈73a与内周轮圈72a之间的排气开口79及定子叶片71。定子叶片71在外周轮圈73a与内周轮圈72a之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体70H倾斜而形成多个排气开口79。多个分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B在相互对接的外周轮圈73a、外周轮圈73b的对接端部FA1、对接端部FB2(FB1、FA2)上，在至少其中一个外周轮圈73a(73b)上，形成着与相对向的另一个外周轮圈73b(73a)之间形成间隙的缺口K。

因此，即便在由于加工时的偏差而导致对接端部FA1与对接端部FA2间或对接端部FB1与对接端部FB2间的圆周长形成得比设计尺寸长的情况下，组装固定叶片部70时，也可以抑制分割固定叶片部70A与分割固定叶片部70B的外周轮圈73a的端部重叠、或产生翘曲。尤其是，由于外周部73a被间隔件夹持，因此如果外周轮圈73a的端部重叠，则旋转轴方向上的固定叶片部70的定位精度会变差，或固定叶片部70倾斜而未水平地配置，但本实施方式中，外周轮圈73a的端部不会重叠，因此可以使固定叶片部70的定位精度良好，且可将固定叶片部70水平地配置。该效果是所述专利文献1无法获得的独特而显著的效果。

分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B各自是由平板而制作成相同形状。在分割固定叶片部70A的其中一个对接端部FA1上，由内周轮圈72a的对接端面、与外周轮圈73a的对接端面形成第1对接面，在另一个对接端部FA2上，由内周轮圈72a的对接端面、外周轮圈73a的对接端面、及形成排气开口79的缘构件70S的对接端面形成第2对接面，将第1对接面与第2对接面相互抵接而形成固定叶片部70。因此，可将一种类的两片分割固定叶片部组合而形成固定叶片部70，从而可抑制成本。

-实施方式2-

图11是本发明的固定叶片部主要部分的实施方式2的截面图。

实施方式2中，与实施方式1的不同点为如下所述。

(1)在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B上，将定子叶片71与外周轮圈73a、外周轮圈73b连接的外周侧支撑部76A是与内周侧支撑部75同样地，遍及定子叶片71的外周侧端部71So的全长而形成。即，不包含实施方式1中形成的用以将前端侧部77从外周侧支撑部76分离的开口部78。

(2)在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B的内周轮圈72a、内周轮圈72b上，分别设置着从内周轮圈72a、内周轮圈72b的对接端部弯曲成大致直角的弯曲部72a3、弯曲部72b3。

在外周侧支撑部76A的叶片高度不太高的情况下，不设置用以将定子叶片71的前端侧部77从外周侧支撑部76分离的开口部78，外周侧支撑部76A也不会产生龟裂。因此，遍及定子叶片71的外周侧端部71So的全长设置外周侧支撑部76A，而可进一步提高刚性。

在分割固定叶片部70A、弯曲部70B的内周轮圈72a、内周轮圈72b上，分别设置着从内周轮圈72a、内周轮圈72b弯曲成大致直角的弯曲部72a3、弯曲部72b3，由此使弯曲部72a3与弯曲部72b3对接，作业变得容易。因此，可有效率地进行固定叶片部70的组装作业。

实施方式2中，也可以发挥与实施方式1相同的作用效果。

除此之外与实施方式1为相同，对于对应的构成附加相同的符号并省略说明。

另外，例示的是在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B上分别形成着弯曲部72a3、弯曲部72b3的构造，但也可以仅在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B的其中一个上形成弯曲部72a3、弯曲部72b3。

而且，实施方式1的构造中，也可以在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B的两构件或其中一个上设置弯曲部72a3、弯曲部72b3。

-实施方式3-

图12是本发明的固定叶片部主要部分的实施方式3的截面图。

实施方式3中，与实施方式1的不同点为如下所述。

(1)在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B上，不包含将定子叶片71的外周侧端部71So与外周轮圈73a连接的外周侧支撑部、及将定子叶片71的内周侧端部71Si与内周轮圈72a连接的内周侧支撑部。即，各定子叶片71的外周侧端部71So、内周侧端部71Si分别遍及全长而与外周轮圈73a、内周轮圈72a或内周轮圈72b、外周轮圈73b分离。

(2)分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B中，仅其中一个分割固定叶片部70B在其内周轮圈72b上，包含从内周轮圈72b弯曲成大致直角的弯曲部72b3，另一个分割固定叶片部70A不包含弯曲部。

在定子叶片71距离固定叶片部主体70H的叶片高度不太高的情况下，无需设置内周支撑部75、外周支撑部76。

由此，可使模具廉价，且可提高生产效率。

与未形成弯曲部的构造相比，即便仅在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B的其中一个上设置弯曲部72b3，也会使弯曲部72a3与弯曲部72b3的对接作业变得容易，从而可有效率地进行固定叶片部70的组装作业。

实施方式3中，也可以发挥与实施方式1相同的作用效果。

除此之外与实施方式1为相同，对于对应的构成附加相同的符号并省略说明。

另外，实施方式3中，也可以在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B的内周周侧部、外周周侧部的仅其中一个上，设置内周支撑部75、外周支撑部76，且在另一个上不设置内周支撑部75、外周支撑部76。

如上所述，将固定叶片部70以与转子4的轴向平行的方式配设成多段，且上段侧的固定叶片部70的定子叶片71的叶片高度形成得高于下段侧的固定叶片部70的定子叶片71的叶片高度。

因此，也可以使实施方式1～实施方式3中所示的固定叶片部70的每一段不相同。例如，可以从上段侧朝下段侧依次排列实施方式1的固定叶片部70、实施方式2的固定叶片部70、及实施方式3的固定叶片部70。此外，还可以形成通过机械加工制作最上段的定子叶片71a的固定叶片部70。

在所述说明中，设置在外周轮圈73a、外周轮圈73b上的缺口K无需在所有段的固定叶片部70上设置，只要设置在至少一段的固定叶片部70上即可。

例示的是在分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B各自的外周轮圈73a、外周轮圈73b的其中一个侧端部设置着缺口K的构造，但缺口K也可以设置在外周轮圈73a、外周轮圈73b的两个侧端部。

此外，分割固定叶片部70A、分割固定叶片部70B也可分割成多个，而不是对半分割。

所述一个实施方式中，关于真空泵例示的是包含叶片排气部与螺纹槽排气部的复合型的涡轮分子泵。但是，本发明也可以应用于仅包含叶片排气部的真空泵。

此外，本发明在发明主旨的范围内可以进行各种变形而应用。即，只要为如下真空泵，即，包含在多段配置的可动叶片部间分别配置着由间隔件夹持的固定叶片部而成的排气功能部，且在多个分割固定叶片部相互对接的外周轮圈的对接端部，在至少其中一个外周轮圈上，形成着与相对向的另一个外周轮圈之间形成间隙的缺口，则本发明并不限定于实施方式或变形例。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (4)

1.一种真空泵，包含排气功能部，该排气功能部是在配置为多段的可动叶片部间分别配置固定叶片部而成，所述固定叶片部是由间隔件夹持，该真空泵的特征在于：

所述固定叶片部包含两片以上的分割固定叶片部，

所述分割固定叶片部各自在周方向的两端部包含对接端部，将各分割固定叶片部各自的对接端部相互对接而形成所述固定叶片部，

所述分割固定叶片部各自包含：由所述间隔件夹持的外周轮圈；位于所述固定叶片部的内周侧前端的内周轮圈；及多个定子叶片，在所述外周轮圈与所述内周轮圈之间以规定宽度在周方向上呈辐射状延伸，且以规定的叶片角度相对于固定叶片部主体倾斜而形成多个排气开口，

所述多个分割固定叶片部在相互对接的外周轮圈的对接端部，在至少其中一个外周轮圈上形成着缺口，所述缺口在相对向的另一个外周轮圈之间形成间隙。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述分割固定叶片部各自是由平板而制作成相同形状，

在所述各分割固定叶片部的对接端部的其中一个上，由所述内周轮圈的对接端面、与所述外周轮圈的对接端面形成第1对接面，在所述对接端部的另一个上，由所述内周轮圈的端面、所述外周轮圈的端面、及形成开口部的缘构件的端面形成第2对接面，

将所述第1对接面与第2对接面相互抵接而形成所述固定叶片部。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

所述缺口在所述外周轮圈上设为周方向上具有规定宽度、径向上具有规定长度的矩形形状。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于：

在所述多个分割固定叶片部对接的内周轮圈中至少其中一个的端面上，设置着从该内周轮圈弯曲的弯曲部。