JP6660176B2 - 真空ポンプ及びそれに使用される分割静翼部 - Google Patents

Description

本発明は、半導体製造装置、フラット・パネル・ディスプレイ製造装置、ソーラー・パネル製造装置におけるプロセスチャンバ、その他のチャンバのガス排気手段等として利用される真空ポンプ及びそれに使用される分割静翼部に関し、特に、分割静翼部の当接不良を効果的に防止することで、良好な排気性能が得られるようにしたものである。

この種の従来の真空ポンプは、例えば特許文献１に開示されている。同文献１の真空ポンプは、回転する動翼部（６）と固定の静翼部（７０）とで気体を移送するターボ分子部を備えている。

そして、同文献１の真空ポンプにおける前記静翼部（７０）は、同文献１の図３や図４等に開示されている通り、２つの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）を当接させることで環状に設定されている。

また、それぞれの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）は、内外のリム（７２ａ、７２ｂ、７３ａ、７３ｂ）と、その内外のリムで支持された複数のステータ翼（７１）と、を備えるとともに、その内側のリム（７２ａ、７２ｂ）の円周方向端部を当接させている。

特許文献１の図１２を参照すると、同文献１の真空ポンプでは、前記分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）の具体的な分割静翼部当接構造として、本出願の図１９（ａ）（ｂ）に示したように、２つの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）を当接させた状態で、それぞれの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）の円周方向端部どうしが対向する構造を採用している。また、対向する他方のリムとの間に空隙を形成する切欠き（Ｓ）が設けられていて、加工時のばらつきにより、分割静翼部の円周長が設計寸法より長くなることによる円周方向端部の重なりや反りを防止している。更に、対向する内外リムのもう一方の円周方向端部に折曲り部（７２ｂ３）が設けられていて、この折曲り部（７２ｂ３）の正面側が、対向する他方の前記円周方向端部（７２ａ１）に当接する構造を採用している。

しかし、前記のような折曲り部（７２ｂ３）はプレスでの折曲げ加工により形成されるので、その折曲り部（７２ｂ３）の根元付近外面は、本出願の図１９（ａ）（ｂ）に示したように円弧面ＳＦになる。このため、２つの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）を当接させたときに、一方の円周方向端部が折曲り部（７２ｂ３）の根元付近外面（円弧面ＳＦ）に当接した後、円弧面ＳＦを滑って本出願の図１９（ｂ）のように他方の円周方向端部の下に潜り込んでしまう。したがって、先に説明した特許文献１の当接構造のように、単に折曲り部（７２ｂ３）を設けただけの構成では、円周方向端部の重なりによる分割静翼部の当接不良を効果的に防止することはできない。そのような円周方向端部の重なりが発生すると、予め排気に好適な角度で設定してあるステータ翼（７１）の傾斜角度が変わってしまい、真空ポンプとしての排気性能が低下し、良好な排気性能は得られない。

さらに、特許文献１の図１１を参照すると、同文献１では、具体的な分割静翼部当接構造として、本出願の図２０（ａ）（ｂ）に示したように、対向する双方の円周方向端部に折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）を設け、これらの折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）の正面側が互いに当接する構造も開示している。

しかし、前記のような折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）はプレスでの折曲げ加工により形成されるので、折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）に図２０（ａ）のような曲げの戻りが発生することは避けない。このため、前記のように折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）の正面側が互いに当接する構造では、折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）に生じた曲げの戻りによって、図２０（ａ）のように２つの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）を実際に当接させるときの当接寸法位置（以下「実際の当接寸法位置」という）が設計上の当接寸法位置の許容誤差範囲を超える事態も生じ得る。この場合は、２つの分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）を当接させることによって、折曲り部（７２ａ３、７２ｂ３）の正面側が互いに当接したときに、その当接部で想定外の反力が生じ、いずれか一方または双方の分割静翼部（７０Ａ、７０Ｂ）が反る等の当接不良が発生し、予め排気に好適な角度で設定してあるステータ翼（７１）の傾斜角度が変わってしまうことから、真空ポンプとしての排気性能が低下し、良好な排気性能は得られない可能性が有る。

なお、以上の説明中におけるカッコ内の符号は、特許文献１で用いられている符号である。

特開２０１４−１７３４６８号公報

本発明は、前記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、分割静翼部の当接不良を効果的に防止することができ、良好な排気性能を得るのに好適な真空ポンプ及びそれに使用される静翼部を提供することである。

前記目的を達成するために、本発明は、回転する動翼部と、円周方向に形成された少なくとも一つのリムと、該リムと一体に形成された複数のブレードを有する複数の分割静翼部を、相互に円周方向端部で当接することによって環状に構成された静翼部とを有し、前記動翼部と前記静翼部とによって気体を排気するターボ分子ポンプ部を備える真空ポンプであって、少なくとも一つの前記分割静翼部の円周方向端部に、他の前記分割静翼部の円周方向端部との当接不良を防止する当接不良防止構造を有し、前記当接不良防止構造は、第１の前記分割静翼部の円周方向端部に第１の折曲り部を備え、
前記第１の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面の交線が前記静翼部の半径方向に対して０度より大きい所定の角度をなす方向に折曲げられ、少なくともその第１の折曲り部の幅方向側部が、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に当接することを特徴とする。

前記本発明において、前記所定の角度が９０度であることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記当接不良防止構造は、さらに、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に第２の折曲り部を備え、この第２の折曲り部の少なくとも一部が、前記第１の折曲り部に当接することを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第２の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面の交線が前記静翼部の半径方向と直交する方向に折曲げられ、少なくともその第２の折曲り部の幅方向側部が、前記第１の折曲り部に当接することを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第１の折曲り部と前記第２の折曲り部は、その幅方向側部どうしの当接を可能とする位置に設けられていることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記当接不良防止構造は、２つ以上の前記分割静翼部を当接させた状態での前記分割静翼部の厚み方向の位置ズレを矯正するズレ矯正手段を備えることを特徴としてもよい。

また、本発明は、回転する動翼部と、円周方向に形成された少なくとも一つのリムと、該リムと一体に形成された複数のブレードを有する複数の分割静翼部を、相互に円周方向端部で当接することによって環状に構成された静翼部とを有し、前記動翼部と前記静翼部とによって気体を排気するターボ分子ポンプ部を備える真空ポンプであって、少なくとも一つの前記分割静翼部の円周方向端部に、他の前記分割静翼部の円周方向端部との当接不良を防止する当接不良防止構造を有し、前記当接不良防止構造は、第１の前記分割静翼部の円周方向端部に第１の折曲り部を備え、前記第１の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面との交線が前記静翼部の半径方向と平行となる方向に折曲げられ、かつ、曲げ角度が９０度未満の鋭角になるように折曲げられ、かつ、その第１の折曲り部の根元付近外面が、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に当接することを特徴とする。

前記本発明において、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に第２の折曲り部が設けられ、この第２の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面との交線が前記静翼部の半径方向と平行となる方向に折曲げられ、かつ、その第２の折曲り部の根元付近外面が、前記第１の折曲り部の根元付近外面に当接する構造になっていることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第２の折曲り部は、曲げ角度が９０度未満の鋭角になるように折曲げられ、少なくともその第２の折曲り部の前記根元付近外面が、前記第１の折曲り部の根元付近外面に当接することを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第１の折曲り部の前記根元付近外面が、フラットな面に形成されていることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第２の折曲り部の前記根元付近外面が、フラットな面に形成されていることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第１の折曲り部の前記根元付近外面が、前記第１の前記分割静翼部の円周方向端部の少なくとも厚み範囲内にフラットな面を含んでいることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記第２の折曲り部の前記根元付近外面が、少なくとも前記第１の折曲り部の前記根元付近外面の範囲内にフラットな面を含んでいることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記当接不良防止構造は、前記分割静翼部の円周方向端部に、他の前記分割静翼部とのズレや重なりを防止するズレ・重なり防止手段を備えていることを特徴としてもよい。

前記本発明において、前記分割静翼部は、２つ以上の前記分割静翼部を当接させた状態において、前記リムの端部に空隙部を形成する為の切欠きが設けられていることを特徴としてもよい。

本発明では、前記の通り、少なくとも一つの分割静翼部の円周方向端部に、他の分割静翼部の円周方向端部との当接不良を防止する当接不良防止構造を有するため、２つの分割静翼部を設計通りに精度よく当接させることが可能であり、分割静翼部の当接不良を効果的に防止することができ、良好な排気性能を得るのに好適な真空ポンプ及びそれに使用される静翼部を提供し得る。

本発明を適用した真空ポンプの全体断面図。 図２（ａ）は図１の真空ポンプを構成する静翼部の平面図、図２（ｂ）はその静翼部を構成する２つの分割静翼部の平面図。 図３（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（１−１）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−１）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）中のＡ−Ａ矢視断面図、同図（ｄ）は（１−１）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ）は同図（ｄ）中のＢ−Ｂ矢視断面図。 図４（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（１−２）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−２）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ−１）は同図（ｂ）中のＣ−Ｃ矢視断面図、同図（ｃ−２）は同図（ｂ）中のＤ−Ｄ矢視断面図、同図（ｄ）は（１−２）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ−１）は同図（ｄ）中のＥ−Ｅ矢視断面図、同図（ｅ−２）は同図（ｄ）中のＦ−Ｆ矢視断面図。 図５（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（１−３）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−３）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ−１）は同図（ｂ）中のＧ−Ｇ矢視断面図、同図（ｃ−２）は同図（ｂ）中のＨ−Ｈ矢視断面図、同図（ｄ）は（１−３）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ−１）は同図（ｄ）中のＩ−Ｉ矢視断面図、同図（ｅ−２）は同図（ｄ）中のＪ−Ｊ矢視断面図。 図６は本発明に係る真空ポンプにおける（１−４）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態） 図７（ａ）は図３の（１−１）当接不良防止構造がズレ矯正手段を備える例として構成した（１−５）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−５）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）中のＫ−Ｋ矢視断面図、同図（ｄ）は（１−５）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ）は同図（ｄ）中のＬ−Ｌ矢視断面図。 図８（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（２−１）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）、同図（ｂ）は（２−１）当接不良防止構造の説明図（当接後の状態）。 図９（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（２−２）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）、同図（ｂ）は（２−２）当接不良防止構造の説明図（当接後の状態）。 本発明に係る真空ポンプにおける（２−３）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）。 本発明に係る真空ポンプにおける（２−４）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）。 本発明に係る真空ポンプにおける（３−１）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）。 図１３（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−１）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ−１）は同図（ａ）中のＣ−Ｃ矢視断面図、同図（ｂ−２）は同図（ａ）中のＤ−Ｄ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−１）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ−１）は同図（ｃ）中のＥ−Ｅ矢視断面図、同図（ｄ−２）は同図（ｃ）中のＦ−Ｆ矢視断面図。 図１４（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−２）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ−１）は同図（ａ）中のＧ−Ｇ矢視断面図、同図（ｂ−２）は同図（ａ）中のＨ−Ｈ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−２）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ−１）は同図（ｃ）中のＩ−Ｉ矢視断面図、同図（ｄ−２）は同図（ｃ）中のＪ−Ｊ矢視断面図。 図１５（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−３）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ−１）は同図（ａ）中のＫ−Ｋ矢視断面図、同図（ｂ−２）は同図（ａ）中のＭ−Ｍ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−３）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ−１）は同図（ｃ）中のＮ−Ｎ矢視断面図、同図（ｄ−２）は同図（ｃ）中のＰ−Ｐ矢視断面図。 図１６（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−４）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＱ−Ｑ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−４）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ）は同図（ｃ）中のＳ−Ｓ矢視断面図。 図１７（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−５）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＴ−Ｔ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−５）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ）は同図（ｃ）中のＵ−Ｕ矢視断面図。 図１８（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−６）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＶ−Ｖ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−６）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ）は同図（ｃ）中のＷ−Ｗ矢視断面図、同図（ｅ）は（４−６）当接不良防止構造における拘束手段の他の実施形態の説明図。 図１９（ａ）は特許文献１で開示している従来の当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）、同図（ｂ）はその当接不良防止構造の説明図（当接後の状態）。 図２０（ａ）は特許文献１で開示している従来の当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）、同図（ｂ）はその当接不良防止構造の説明図（当接後の状態）。

以下、本発明を実施するための最良の形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。

図１は本発明を適用した真空ポンプの縦断面図、図２（ａ）は図１の真空ポンプを構成する静翼部の平面図、図２（ｂ）はその静翼部を構成する２つの分割静翼部の平面図である。

図１の真空ポンプＰは、回転する動翼部Ａ１と固定の静翼部Ａ２とで気体を移送するターボ分子ポンプ部Ｐｔ、およびネジ溝Ｂを利用して気体を移送するネジ溝ポンプ部Ｐｓを備えた複合ポンプとして構成したものであって、例えば、半導体製造装置、フラット・パネル・ディスプレイ製造装置、ソーラー・パネル製造装置におけるプロセスチャンバ、その他のチャンバのガス排気手段等として利用される。

図１を参照すると、同図の真空ポンプＰの外装ケース１は、筒状のポンプケース１Ａと有底筒状のポンプベース１Ｂとをその筒軸方向に締結ボルトで一体に連結した有底円筒形になっており、ポンプケース１Ａの上端部側は、ガスを吸気するための吸気口２として開口し、また、ポンプベース１Ｂの下端部側面には、ガスを排気するための排気ポート３を設けている。

吸気口２は、ポンプケース１Ａ上縁のフランジに設けた締結ボルトにより例えば半導体製造装置のプロセスチャンバ等、高真空となるチャンバＣｈに接続される。また、排気ポート３は、図示しない配管やバルブを介して補助ポンプに接続される。

ポンプケース１Ａ内の中央部には円筒状のステータコラム４が立設されており、ステータコラム４の内側中心部にはロータ軸５が設けられている。また、ステータコラム４の内側には磁気軸受６が設置されており、この磁気軸受６によりロータ軸５はその軸心周りに回転可能に支持されている。

ステータコラム４の外側にはロータ７が設けられており、このロータ７は、ステータコラム４の外周面を覆う形状の筒部材７Ｂと、この筒部材７Ｂの一端側を塞ぐ形状の端部材７Ａとを備えた構造になっている。

そして、ロータ軸５の先端部はステータコラム４の一端から突出しており、このように突出したロータ軸５の先端部とロータ７の端部材７Ａとが連結されることにより、ロータ７はロータ軸５と一体化した構造になっている。

さらに、ステータコラム４の内側には駆動モータ８が設けられており、この駆動モータ８でロータ軸５をその軸心周りに回転駆動することにより、ロータ７はロータ軸５と一体に回転することができる。

ところで、図１の真空ポンプＰでは、ロータ７の略上半分がターボ分子ポンプ部Ｐｔとして機能し、同ロータ７の略下半分がネジ溝ポンプ部Ｐｓとして機能するように構成してある。このターボ分子ポンプ部Ｐｔとネジ溝ポンプ部Ｐｓは具体的には以下のように構成されている

《ターボ分子ポンプ部Ｐｔの構造説明》
図１を参照すると、ターボ分子ポンプ部Ｐｔは、吸気口２から排気ポート３に向けて気体を移送する手段として、回転する動翼部Ａ１と固定の静翼部Ａ２とを、ポンプ軸心（具体的にはロータ７もしくはロータ軸５の軸心。以下同様）に沿って交互に複数配置した構造になっている。

動翼部Ａ１は、ロータ７の外周面に一体に形成された複数の回転翼９からなり、これら複数の回転翼９は、ポンプ軸心を中心としてポンプ径方向に放射状に設けられている。また、複数の回転翼９は、いずれも、気体分子の排気に最適な角度で傾斜した形状になっている。

図２（ａ）（ｂ）を参照すると、静翼部Ａ２は、円周方向に形成された少なくとも一つのリム（同図（ａ）（ｂ）の例では内外２つのリム１２、１３）と、該リムと一体に形成された複数のブレード１０を有する複数の分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を、相互に円周方向端部で当接することによって環状に構成されている。なお、複数のブレード１０も先に説明した回転翼９と同様に、放射状に配置されている。

なお、以下、説明の便宜上、一方の分割静翼部１１Ａを構成する内側のリム１２の円周方向端部１２ａを「第１の円周方向端部１２ａ」といい、他方の分割静翼部１１Ｂを構成する内側のリム１２の円周方向端部１２ｂを「第２の円周方向端部１２ｂ」という。

ポンプ軸心方向およびポンプ径方向（ポンプ軸心と直交する方向。以下同様）に分割静翼部１１を位置決め固定する方式として、図１の真空ポンプＰでは、ポンプケース１Ａの内周面に沿って複数のスペーサ１７を段積み積層し、積層したスペーサ１７間に外側のリム１３を介在させる方式を採用している。

前記のような位置決め固定方式によって真空ポンプＰ内に複数の分割静翼部１１を配置セットした状態において、複数のブレード１０は、いずれも、気体分子の排気に最適な角度で傾斜するように予め設定されている。

ところで、真空ポンプＰの組立時に、２つの分割静翼部１１を当接させた状態で、第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂが上下に重なったり、内側のリム１２に反りが発生したりする等、分割静翼部１１の当接精度が悪く、分割静翼部１１の当接不良が生じた場合には、複数のブレード１０について予め設定された最適な角度が反映されず、真空ポンプＰの排気性能の低下を招く恐れがある。このため、真空ポンプＰにおいて良好な排気性能を得るためには、分割静翼部１１の当接精度を高めて、当接不良を防止することが重要である。

以上の観点から、図１の真空ポンプＰでは、少なくとも一つの分割静翼部１１（１１Ａまたは１１Ｂ）の円周方向端部（第１の円周方向端部１２ａまたは第２の円周方向端部１２ｂ）に、他の前記分割静翼部１１（１１Ａまたは１１Ｂ）の円周方向端部（第１の円周方向端部１２ａまたは第２の円周方向端部１２ｂ）との当接不良を防止する構造（以下「当接不良防止構造」という）を設けている。この当接不良防止構造の詳細は後述する。

《ターボ分子ポンプ部Ｐｔの動作説明》
図１の真空ポンプＰでは、駆動モータ８の起動により、ロータ軸５、ロータ７および複数の回転翼９が一体に回転する。この際、ターボ分子ポンプ部Ｐｔでは、最上段の回転翼９が吸気口２から入射したガス分子に下向き方向（吸気口２から排気ポート３へ向かう方向）の運動量を付与する。この下向き方向の運動量を有するガス分子がブレード１０によって次段の回転翼９側へ送り込まれる。以上のようなガス分子への運動量の付与と送り込み動作とが動翼部Ａ１と静翼部Ａ２の各段で繰り返し多段に行われることにより、吸気口２側のガス分子はロータ７の下流（図１ではロータ７の下方）に向かって順次移行するように排気される。

《ネジ溝ポンプ部Ｐｓの構造説明》
図１を参照すると、ネジ溝ポンプ部Ｐｓは、ロータ７の略下半分とそのロータ７の外周面側に位置するネジ溝ステータ１４とでネジ溝流路１５を形成し、ネジ溝流路１５を通じて気体を排気する。具体的には、図１の真空ポンプＰでは、ロータ７の略下半分が円筒形のネジ溝ステータ１４で囲まれており、このネジ溝ステータ１４の内周面に形成してあるネジ溝Ｂとロータ７の外周面とによって、当該ロータ７の外周面側にネジ溝流路１５が設けられている。

ネジ溝流路１５の入口（上流端側）はターボ分子ポンプ部Ｐｔの下流側に連通し、同ネジ溝流路１５の出口（下流端側）は、ポンプ内排気流路１６を通じて、排気ポート３に連通している。

ネジ溝流路１５の他の実施形態として、例えば、ネジ溝ステータ１４のネジ溝Ｂを省略し、そのようなネジ溝Ｂをロータ７の外周面に形成する構成や、ネジ溝Ｂをロータ７の外周面とネジ溝ステータ１４の内周面との双方に形成する構成を採用することができ、また、ネジ溝Ｂをロータ７の外周面の一部やネジ溝ステータ１４の内周面の一部に形成する構成も採用し得る。

前記のような構造からなるネジ溝ポンプ部Ｐｓでは、ネジ溝Ｂとロータ７の外周面でのドラック効果により、気体を圧縮しながら移送するため、ネジ溝Ｂの深さは、ネジ溝流路１５の入口側（吸気口２に近い方の流路開口端）で最も深く、その出口側（排気ポート３に近い方の流路開口端）で最も浅くなるように設定してある。

《ネジ溝ポンプ部の動作説明》
図１の真空ポンプＰでは、ターボ分子ポンプ部Ｐｔの排気動作によって、ネジ溝流路１５の入口側にガス分子が到達する。到達したガス分子は、ネジ溝流路１５に流入し、ロータ７の回転による効果、すなわちロータ７の外周面とネジ溝Ｂでのドラッグ効果によって遷移流から粘性流に圧縮されながらポンプ内排気流路１６に向かう。そして、ポンプ内排気流路１６に到達したガス分子の粘性流は、排気ポート３から図示しない補助ポンプによって外装ケース１の外へ排気される。

《当接不良防止構造の詳細》
（１−１）当接不良防止構造
図３（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（１−１）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−１）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）中のＡ−Ａ矢視断面図、同図（ｄ）は（１−１）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ）は同図（ｄ）中のＢ−Ｂ矢視断面図である。なお、前記いずれの平面図も、図２のＡ部における内側のリム１２付近に対応している。

図１の真空ポンプＰでは、図２（ｂ）に示された２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を図２（ａ）のように当接させた状態において、それぞれの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）の円周方向端部（以下、第１の分割静翼部１１Ａの円周方向端部１２ａを「第１の円周方向端部１２ａ」といい、第２分割静翼部１１Ｂの円周方向端部１２ｂを「第２の円周方向端部１２ｂ」という）どうしが対向する構造、および図３（ｂ）から（ｅ）に示した（１−１）当接不良防止構造を採用している。

前記（１−１）当接不良防止構造は、図３（ｂ）から（ｅ）に示した通り、第１の円周方向端部１２ａが第１の折曲り部１９Ａを備え、この第１の円周方向端部１２ａ及び第１の折曲り部１９Ａの幅方向側部ＣＰの一部が、第２の円周方向端部１２ｂに当接する構造になっている。この構造において、第１の折曲り部１９Ａは、その表面又は裏面とリム１２の表面又は裏面の交線が静翼部Ａ２の半径方向と直交する方向に折曲げられている。

図２（ａ）のように２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させた状態においては、それぞれの分割静翼部１１を構成する外側のリム１３の円周方向端部１３ａどうしも対向するが、その円周方向端部１３ａ間には空隙部Ｇａが形成されるように設定しているので、外側のリム１３の円周方向端部１３ａどうしが互いに当接することはない。なお前記空隙部Ｇａは、分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させた状態において、内外リム１２、１３の一方のリムの円周方向端部に設けた切欠きＫｉによって形成される。

この（１−１）当接不良防止構造を採用した場合でも、第１の折曲り部１９Ａはプレス等による折曲げ加工で形成されるため、第１の折曲り部１９Ａに曲げの戻りが生じることは避けられない。

しかし、この（１−１）当接不良防止構造では、前述の通り、２つの分割静翼部１１を当接させた状態において、主に第１の円周方向端部１２ａが、第２の円周方向端部１２ｂに当接するので、第１の折曲り部１９Ａに発生した曲げの戻りが第１の折曲り部１９Ａの幅方向側部の当接寸法位置Ｌ１に影響を与えることはない。そのような曲げの戻りによって第１の折曲り部１９Ａの幅方向側部の当接寸法位置Ｌ１が設計上の当接寸法位置Ｌ０と異なるような不具合は構造上ほとんどない。

したがって、この（１−１）当接不良防止構造では、第１の折曲り部１９Ａに曲げの戻りが生じても、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を設計通りに精度よく当接させることが可能であり、分割静翼部１１の当接不良による真空ポンプの排気性能低下を効果的に防止することができ、良好な排気性能が得られる。

さらに、この（１−１）当接不良防止構造では、２つの分割静翼部１１を当接させるときに、第２の円周方向端部１２ｂに対する第１の円周方向端部１２ａの上下方向位置が多少ずれても、そのずれ量が第１の折曲り部の高さｈ範囲内であるなら、第１の折り曲げ部１９Ａの幅方向側部ＣＰの一部に第２の円周方向端部１２ｂが当接することになるので、第１の円周方向端部１２ａが第２の円周方向端部１２ｂの下方に潜り込むことは少なくなる。

したがって、この（１−１）当接不良防止構造は、前記のような潜り込みによって第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとが上下方向に重なることによる分割静翼部の当接不良も防止することででき、この点でも良好な排気性能を得るのに好適である。

（１−２）当接不良防止構造
図４（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（１−２）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−２）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ−１）は同図（ｂ）中のＣ−Ｃ矢視断面図、同図（ｃ−２）は同図（ｂ）中のＤ−Ｄ矢視断面図である。また、同図（ｄ）は（１−２）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ−１）は同図（ｄ）中のＥ−Ｅ矢視断面図、同図（ｅ−２）は同図（ｄ）中のＦ−Ｆ矢視断面図である。なお、前記いずれの平面図も、図２のＡ部における内側のリム１２付近に対応する。

前記（１−１）当接不良防止構造では、第１の円周方向端部１２ａに第１の折曲り部１９Ａを設けたが、これに加えてさらに、図４（ｂ）から（ｅ）に示したように、第２の円周方向端部１２ｂが第２の折曲り部１９Ｂを備え、この第２の円周方向端部１２ｂ及び第２の折曲り部１９Ｂの幅方向側部ＣＰの一部が、第１の円周方向端部１２ａに当接する構造を採用してもよい。この構造において、第２の折曲り部１９Ｂは、その表面又は裏面とリム１２の表面又は裏面の交線が静翼部Ａ２の半径方向と直交する方向に折曲げられている。

前記（１−２）当接不良防止構造では、前記（１−１）当接不良防止構造と同様な作用効果が得られるほか、さらに、２つの分割静翼部１１を当接させるときに、前記（１−１）当接不良防止構造よりも安定して、第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ａの下方に潜り込むことや、そのような潜り込みで双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂが上下方向に重なることによる分割静翼部の当接不良を防止することができる。これは、第１の円周方向端部１２ａに対する第２の円周方向端部１２ｂの上下方向位置が多少ずれても、そのずれ量が第２の折曲り部１９Ｂの高さｈの範囲内であるなら、第２の折曲り部１９Ｂの幅方向側部ＣＰの一部が第１の円周方向端部１２ａに当接するためである。

（１−３）当接不良防止構造
図５（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（１−３）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−３）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ−１）は同図（ｂ）中のＧ−Ｇ矢視断面図、同図（ｃ−２）は同図（ｂ）中のＨ−Ｈ矢視断面図である。また、同図（ｄ）は（１−３）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ−１）は同図（ｄ）中のＩ−Ｉ矢視断面図、同図（ｅ−２）は同図（ｄ）中のＪ−Ｊ矢視断面図である。なお、前記いずれの平面図も、図２のＡ部における内側のリム１２付近に対応する。

前記（１−２）当接不良防止構造のように第１の折曲り部１９Ａと第２の折曲り部１９Ｂを備える構成の場合は、その両折り曲げ部１９Ａ、１９Ｂが同じ方向に折り曲げた構造になっていてもよいし、この（１−３）当接不良防止構造として、図５（ｂ）から（ｅ−２）に示したように、その両折り曲げ部１９Ａ、１９Ｂが相反する方向に折り曲げた構造になっていてもよい。この構造の場合も前記（１−２）と同様な作用効果が得られる。

（１−４）当接不良防止構造
また、前記（１−２）当接不良防止構造のように第１の折曲り部１９Ａと第２の折曲り部１９Ｂとを備える構成の場合は、（１−４）当接不良防止構造として、図６に示したように、第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂによる当接だけでなく、第１の折曲り部１９Ａと第２の折曲り部１９Ｂがその幅方向側部ＣＰどうしの当接を可能とする位置に設けられるように構成してもよい。この構成の場合も前記（１−２）当接不良防止構造と同様な作用効果が得られる。

（１−５）当接不良防止構造
前記（１−１）から（１−４）当接不良防止構造は、２つの分割静翼部１１を当接させたときの分割静翼部の厚み方向の位置ズレを矯正する手段として、図７（ａ）から（ｅ）に示したズレ矯正手段２０を備えることができる。

図７（ａ）は図３の（１−１）当接不良防止構造がズレ矯正手段を備える例として構成した（１−５）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成する前の状態）、同図（ｂ）は（１−５）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接前の状態）、同図（ｃ）は同図（ｂ）中のＫ−Ｋ矢視断面図である。同図（ｄ）は（１−５）当接不良防止構造の平面図（折曲り部を形成した後の状態および当接後の状態）、同図（ｅ）は同図（ｄ）中のＬ−Ｌ矢視断面図である。

図７（ａ）から（ｅ）を参照すると、この（１−５）当接不良防止構造におけるズレ矯正手段２０は、第１の折曲り部１９Ａの幅方向側部ＣＰ（図３（ｂ）参照）に突出し部２１を設け、その突出し部２１にテーパ２２を形成した構造になっており、かかるテーパ２２は第１の折曲り部１９Ａの根元に向って傾斜するように形成してある。

２つの分割静翼部１１を突き合わせた際に、例えば、第１の円周方向端部１２ａに対する第２の円周方向端部１２ｂの上下方向位置が多少ずれる等、２つの分割静翼部１１間で分割静翼厚み方向の位置ズレが生じた場合は、他方の分割静翼部１１の円周方向端部１２ｂが、先に説明した突出し部２１のテーパ２２に当接し、かつ、そのテーパ２２に沿って一方の分割静翼部１１の第１の円周方向端部１２ａ方向に滑り移動することで、そのような分割静翼厚み方向の位置ズレは矯正される。

なお、本ズレ矯正手段２０は、前記（１−２）から（１−４）当接不良防止構造のように、第１の円周方向端部１２ａの第１の折曲り部１９Ａと第２の円周方向端部１２ｂの第２の折曲り部１９Ｂの両方に設けることも出来る。

また、第１の折曲り部１９Ａと第２の折曲り部１９Ｂを備える構成の場合は、その両折曲り部１９Ａ、１９Ｂが同じ方向に折り曲げた構造になっていてもよいし、図５（ｂ）から（ｅ−２）に示したように、その両折曲り部１９Ａ、１９Ｂが相反する方向に折り曲げた構造になってもよい。

これらの構成の場合も前記（１−５）当接不良防止構造と同様な作用効果が得られるが、さらに相反する方向に折り曲げた構造に設けた場合は、前記（１−５）当接不良防止構造に対して、厚み方向の位置ズレがどちら側に起きても位置ズレを矯正する効果が得られる。

（２−１）当接不良防止構造
図８（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（２−１）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）、同図（ｂ）は（２−１）当接不良防止構造の説明図（当接後の状態）である。

この（２−１）当接不良防止構造でも、図８（ａ）に示したように、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させた状態において、それぞれの分割静翼部１１の円周方向端部（第１の円周方向端部１２ａ、第２の円周方向端部１２ｂ）どうしが対向する構造を採用していること、および、第１の円周方向端部１２ａに第１の折曲り部１９Ａが設けられていることは、前記（１−１）から（１−５）当接不良防止構造と共通し、それ以外の構造が以下のように異なる。

すなわち、図８（ａ）の当接不良防止構造では、第１の折曲り部１９Ａの正面側Ｓが第２の円周方向端部１２ｂの方向を向いている。すなわち、第１の折曲り部１９Ａは、その表面又は裏面とリム１２の表面又は裏面との交線が静翼部２Ａの半径方向と平行となる方向に折曲げられ、かつ、その第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が第２の円周方向端部１２ｂに当接する構造になっている。
そして、前記のような当接を得る手段として、図８（ａ）の（２−１）当接不良防止構造では、第１の折曲り部１９Ａの曲げ角度（第１の折曲り部１９Ａと内側のリム１２の間の角度）を調節している。例えば、この曲げ角度は、９０度未満の鋭角になるように設定される。

第１の折曲り部１９Ａの根元付近以外の外面Ｓ２は、第１の折曲り部１９Ａにおける曲げの戻りによって大きく変位する。これに対し、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１は、そのような曲げの戻りによる変位が比較的に小さい。

ところで、前記のような曲げの戻りによって大きく変位した第１の折曲り部１９Ａの根元付近以外の外面Ｓ２が第２の円周方向端部１２ｂに当接する場合は、段落０００８で説明したように、その円周方向端部１２ｂ付近等において内側のリム１２が反る等、２つの分割静翼部１１を設計通りに精度よく当接させることができない。

それに対し、（２−１）当接不良防止構造のように、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が当接部として第２の円周方向端部１２ｂに当接する構成の場合は、第１の折曲り部１９Ａにおいて曲げの戻りが生じても、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１の変位（曲げの戻りによる変位）が前述の通り小さいため、２つの分割静翼部１１を設計通りに精度よく当接させることができる。

（２−２）当接不良防止構造
図９（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（２−２）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）、同図（ｂ）は（２−２）当接不良防止構造の説明図（当接後の状態）である。

前記（２−１）当接不良防止構造においては、第１の円周方向端部１２ａに第１の折曲り部１９Ａを設けたが、これに加えてさらに、第２の円周方向端部１２ｂに第２の折曲り部１９Ｂを設ける構成、および、この第２の折曲り部１９Ｂは、その表面又は裏面とリム１２の表面又は裏面との交線が静翼部２Ｂの半径方向と平行となる方向に折曲げられ、かつ、かつ、その第２の折曲り部１９Ｂの根元付近外面Ｓ１が第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１に当接する構成を採用してもよい。このような構成でも前記（２−１）当接不良防止構造と同様の作用効果が得られる。

（２−３）当接不良防止構造
図１０は、本発明に係る真空ポンプにおける（２−３）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）である。

前記（２−１）または（２−２）当接不良防止構造を採用する場合は、この（２−３）当接不良防止構造のように、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が当接面としてフラットな面に形成される構成を採用してもよい。折曲げ加工された第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１は図１０中破線で示されたように一般に円弧面になるが、この（２−３）当接不良防止構造では、その根元付近外面Ｓ１をフラットな面に形成している。

前記のようなフラットな面の形成については各種考えられる。例えば、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１に対して研磨、研削などの機械加工を施すことで、事後的に設定してもよいし、また、第１の折曲り部１９Ａを折曲げ加工するときに用いる金型において、その第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１に対応する型面をフラットな面とすることで、折曲げ加工と同時に形成してもよい。

図１０中破線で示されたように第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が円弧面である場合は、その円弧面に第２の円周方向端部１２ｂが当接する。このため、第２の円周方向端部１２ｂが、円弧面に沿って滑り移動し、第１の円周方向端部１２ｂの下方に潜り込み易いことから、双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂが上下方向に重なることによる分割静翼部１１の当接不良が発生し易い。

それに対し、この（２−３）当接不良防止構造のように、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１がフラットな面に形成される場合は、フラットな面に第２の円周方向端部１２ｂが当接するので、前記のような円弧面に当接することによる第２の円周方向端部１２ｂの滑り移動や、それによって第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ｂの下方に潜り込む現象が生じ難くなるから、双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂが上下方向に重なることによる分割静翼部の当接不良を効果的に防止し得る。

（２−４）当接不良防止構造
図１１は、本発明に係る真空ポンプにおける（２−４）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）である。

前記（２−３）当接不良防止構造では、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１を当接面としてフラットな面に形成したが、これに加えてさらに、前記（２−２）当接不良防止構造のように第２の折曲り部１９Ｂを備える構成の場合は、この（２−４）当接不良防止構造のように、第２の折曲り部１９Ｂの根元付近外面Ｓ１を当接面としてフラットな面に形成してもよい。この場合も、前記（２−３）当接不良防止構造と同様の作用効果が得られる。

（３−１）当接不良防止構造
図１２（ａ）（ｂ）は、本発明に係る真空ポンプにおける（３−１）当接不良防止構造の説明図（当接前の状態）である。

（３−１）当接不良防止構造でも、詳細な図示は省略するが、例えば図８（ａ）に示された構造、すなわち、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させた状態において、それぞれの分割静翼部１１の円周方向端部（第１の円周方向端部１２ａ、第２の円周方向端部１２ｂ）どうしが対向する構造、および、第１の円周方向端部１２ａに第１の折曲り部１９Ａが設けられていて、第１の折曲り部１９Ａの正面側が第２の円周方向端部１２ｂの方向を向いていることは、先に説明した（２−１）から（２−４）当接不良防止構造と共通し、それ以外の構造が以下のように異なる。

図１２（ａ）（ｂ）を参照すると、この（３−１）当接不良防止構造では、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が、第１の円周方向端部１２ａの厚みｔを越えない円弧面ＲＳ（Ｒ１、Ｒ２）とこれに連続したフラットな面ＦＳとで構成され、そのフラットな面ＦＳが第２の円周方向端部１２ｂとの当接面として形成されている。

前記のような厚みｔを越えない円弧面ＲＳを得る方式については各種考えられる。かかる方式の具体例として、図１２（ａ）の例では、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が最初から第１の円周方向端部１２ａの厚みｔを越える比較的大きな円弧面Ｒ１（ＲＳ）になっていて、その円弧面Ｒ１（ＲＳ）に対して図１２（ａ）中の二点鎖線で示した部分を機械加工で除去することにより、当該円弧面Ｒ１（ＲＳ）を途中で中断し、中断した円弧面Ｒ１（ＲＳ）の終端が厚みｔ以下となるように設定する方式を採用している。なお、この方式では円弧面Ｒ１（ＲＳ）の曲率は機械加工の前後で変化していない。

前記のような厚みｔを越えない円弧面ＲＳを得る方式の具体例として、図１２（ｂ）の例では、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１が第１の円周方向端部１２ａの厚みｔを越える比較的大きな曲率の円弧面Ｒ２（ＲＳ）になっていて、その円弧面Ｒ２（ＲＳ）に対して図１２（ｂ）中の二点鎖線で示した部分を機械加工で除去することにより、当該円弧面Ｒ２（ＲＳ）を曲率の小さな円弧面とする方式を採用している。

この（３−１）当接不良防止構造においては、前記のように第１の円周方向端部１２ａの厚みｔ範囲内で、第１の折曲り部１９Ａの根元付近外面Ｓ１にフラットな面ＦＳが当接面として存在すること、および、そのフラットな面ＦＳに第２の円周方向端部１２ｂが当接することで、第２の円周方向端部１２ｂは第１の円周方向端部１２ａの下方に潜り込み難くなることから、双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂが上下方向に重なることによる分割静翼部１１の当接不良を効果的に防止し得る。

より望ましくは、円弧面Ｒ１（ＲＳ）の終端が厚みｔの半分以下となるように設定することで、双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂが上下方向に重なることによる分割静翼部１１の当接不良をより効果的に防止し得る。

（４−１）当接不良防止構造
図１３（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−１）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ−１）は同図（ａ）中のＣ−Ｃ矢視断面図、同図（ｂ−２）は同図（ａ）中のＤ−Ｄ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−１）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ−１）は同図（ｃ）中のＥ−Ｅ矢視断面図、同図（ｄ−２）は同図（ｃ）中のＦ−Ｆ矢視断面図である。

図１３（ａ）から（ｄ−２）を参照すると、この（４−１）当接不良防止構造では前記（１−１）当接不良防止構造等と同じく、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させた状態において、それぞれの分割静翼部１１の円周方向端部（第１の円周方向端部１２ａ、第２の円周方向端部１２ｂ）どうしが対向する構造を採用するとともに、これに加えてさらに、その分割静翼部１１の当接部に、分割静翼部１１のズレや重なりを防止する手段（以下「ズレ・重なり防止手段３０」という）を設けている。

（４−１）当接不良防止構造におけるズレ・重なり防止手段３０は、第１の円周方向端部１２ａに設けた板体３１からなり、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、その板体３１が第２の円周方向端部１２ｂの上面に配置されるように、板体３１には、第１の円周方向端部１２ａから斜め上方に延びた形状の傾斜部３１Ａを設けている。

ところで、（４−１）当接不良防止構造では、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面とが位置合せ面として機能し接触する。このとき、第１の円周方向端部１２ａの板体３１が第２の円周方向端部１２ｂの上面に配置されるため、その当接後に第２の円周方向端部１２ｂと第１の円周方向端部１２ａとの間で上下方向のズレが生じても、第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ａの上に重なることはなく、そのような分割静翼部１１の重なりによる当接不良を効果的に防止し得る。

前記のように２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたとき、板体３１は前述の通り第２の円周方向端部１２ｂの上面に配置されるが、その際、板体３１の傾斜部３１Ａが第２の円周方向端部１２ｂに接触することによる干渉が生じると、位置合せ面（第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面）どうしの接触が困難になるので、かかる干渉を回避する手段として、第２の円周方向端部１２ｂにおいて板体３１の傾斜部３１Ａに対応する位置には切欠き部３１Ｂを設けている。

（４−２）当接不良防止構造
図１４（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−２）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ−１）は同図（ａ）中のＧ−Ｇ矢視断面図、同図（ｂ−２）は同図（ａ）中のＨ−Ｈ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−２）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ−１）は同図（ｃ）中のＩ−Ｉ矢視断面図、同図（ｄ−２）は同図（ｃ）中のＪ−Ｊ矢視断面図である。

前記（４−１）当接不良防止構造においては、ズレ・重なり防止手段３０として第１の円周方向端部１２ａに板体３１を設けたが、この板体（以下「第１の板体３１」という）に加えてさらに、（４−２）当接不良防止構造では、同様のズレ・重なり防止手段３０として、第１の円周方向端部１２ａに第２の板体３２を設けている。

２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、第２の板体３２が第２の円周方向端部１２ｂの下面に配置されるように、第２の板体３２には、第１の円周方向端部１２ｂから斜め下方に延びた形状の傾斜部３２Ａを設けている。

また、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、第１の板体３１と第２の板体３２とが互いに重ならないようにするため、これらの板体３１、３２は、第１の円周方向端部１２ａの幅方向において対向しない異なる位置に配置している。

この（４−２）当接不良防止構造においても、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面とが位置合せ面として機能し接触する。このとき、第１の板体３１は第２の円周方向端部１２ｂの上面に配置されるとともに、第２の板体３２は第２の円周方向端部１２ｂの下面に配置される。このため、その当接後に第２の円周方向端部１２ｂと第１の円周方向端部１２ａとの間で上下方向のズレが生じても、第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ａの上に重なったりその下に重なったりすることはなく、そのような分割静翼部の重なりによる当接不良を効果的に防止し得る。

前記のように２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたとき、第２の板体３２は前述の通り第２の円周方向端部１２ｂの下面に配置されるが、その際、第２の板体３２の傾斜部３２Ａが第２の円周方向端部１２ｂに接触ことによる干渉が生じると、位置合せ面（第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面）どうしの接触が困難になるので、かかる干渉を回避する手段として、（４−１）分割静翼部の構造と同様に、第２の円周方向端部１２ｂにおいて第２の板体３２の傾斜部３２Ａに対応する位置には切欠き部３２Ｂを設けている。

（４−３）当接不良防止構造
図１５（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−３）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ−１）は同図（ａ）中のＫ−Ｋ矢視断面図、同図（ｂ−２）は同図（ａ）中のＭ−Ｍ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−３）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ−１）は同図（ｃ）中のＮ−Ｎ矢視断面図、同図（ｄ−２）は同図（ｃ）中のＰ−Ｐ矢視断面図である。

前記（４−２）当接不良防止構造においては、ズレ・重なり防止手段３０の具体的な構成として、第１の板体３１と第２の板体３２とが第１の円周方向端部１２ａの幅方向において対向しない異なる位置に配置される構成を採用したが、これとは別のズレ・重なり防止手段の具体的な構成として、（４−３）当接不良防止構造は、２つの分割静翼部を当接させたときに、そのような２つの板体（第１の板体３１と第２の板体３２）が重なることを可能に構成するとともに、両板体３１、３２の重なり部分をその上下方向から拘束手段４０で拘束することによって、第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ａの上に重なったりその下に重なったりすることによる分割静翼部１１の当接不良を効果的に防止している。

この（４−３）当接不良防止構造における拘束手段４０は、第１の円周方向端部１２ａに立設したピン体４１と第２の円周方向端部１２ｂに形成した凹部４２とが係合することにより、第１の板体３１と第２の板体３２との重なり部分をその上下方向から拘束する構造になっている。なお、ピン体４１を第２の円周方向端部１２ｂに立設し、凹部４２を第１の円周方向端部１２ａに形成してもよい。

この（４−３）当接不良防止構造における拘束手段４０には、先に説明した拘束の機能しかなく、第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとを位置合せする機能はない。この（４−３）当接不良防止構造においても、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させるときの第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとの位置合せは、前記（４−１）または（４−２）当接不良防止構造と同じく、第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面を位置合せ面として接触させることにより行われる。

（４−４）当接不良防止構造
図１６（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−４）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＱ−Ｑ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−４）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ）は同図（ｃ）中のＳ−Ｓ矢視断面図である。

この（４−４）当接不良防止構造では、先に説明した拘束手段４０に対して位置合せ機能を追加することで、前述の位置合せ面（第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面）での接触による第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとの位置合せを省略可能としている。すなわち、この（４−４）当接不良防止構造では、拘束ピン４１の外周面と凹部４２の内面とを位置合せ面として設定し、かつ、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、その設定した位置合せ面どうしが接触することで、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）の位置合せが行われる。

よって、この（４−４）当接不良防止構造では、拘束手段４０に位置合わせ機能を追加することで、第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ａの上に重なったりその下に重なったりすることによる分割静翼部１１の当接不良を効果的に防止しつつ、位置合わせ面の位置合わせを効果的に行うことが出来る。

（４−５）当接不良防止構造
図１７（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−５）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＴ−Ｔ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−５）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ）は同図（ｃ）中のＵ−Ｕ矢視断面図である。

この（４−５）当接不良防止構造もまた、前記（４−４）当接不良防止構造と同様に、拘束手段４０に対して位置合せ機能を追加することで、前述の位置合せ面（第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面）どうしを接触させることによる第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとの位置合せを省略可能としたものであるが、その拘束手段４０の具体的な構成は、以下のように異なる。

すなわち、この（４−５）当接不良防止構造における拘束手段４０は、第１の円周方向端部１２ａの端面に溝４３を形成し、第２の円周方向端部１２ｂの端面に突起４４を形成するとともに、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、その突起４４が溝４３に嵌る構造になっている。

そして、この（４−４）当接不良防止構造では、溝４３の縁部４３Ａと突起４４の根元周辺部４４Ａがそれぞれ位置合せ面として設定され、かつ、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、突起４４が溝４３に嵌め込まれ、それらの位置合せ面が接触することにより、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）の位置合せ、具体的には第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとの位置合せが行われる。

なお、図示しないが、溝４３の縁部４３Ａと突起４４の根元周辺部４４Ａをそれぞれ位置合せ面として設定せずに（４−３）当接不良防止構造のように第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂで、位置合わせを行ってもよい。

（４−６）当接不良防止構造
図１８（ａ）は本発明に係る真空ポンプにおける（４−６）当接不良防止構造の平面図（当接前の状態）、同図（ｂ）は同図（ａ）中のＶ−Ｖ矢視断面図、同図（ｃ）は（４−６）当接不良防止構造の平面図（当接後の状態）、同図（ｄ）は同図（ｃ）中のＷ−Ｗ矢視断面図、同図（ｅ）は（４−６）当接不良防止構造における拘束手段の他の実施形態の説明図である。

この（４−６）当接不良防止構造もまた、前記（４−４）当接不良防止構造と同様に、拘束手段４０に対して位置合せ機能を追加することで、前述の位置合せ面（第１の円周方向端部１２ａの端面と第２の円周方向端部１２ｂの端面）どうしを接触させることによる第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとの位置合せを省略可能としたものであるが、その拘束手段４０の具体的な構成は、以下のように異なる。

すなわち、この（４−６）当接不良防止構造における拘束手段４０は、上部材４５と下部材４６を連結部材４７で一体に連結した構造になっていて、かつ、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させたときに、その上部材４５と下部材４６の間に第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂが挿入される構成になっている。

そして、この（４−６）当接不良防止構造では、第１の円周方向端部１２ａの端面、および、第２の円周方向端部１２ｂの端面、並びに連結部材４７の外面が位置合せ面として設定されており、上部材４５と下部材４６との間に第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂを挿入し、かつ、双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂの端面（位置合せ面）を連結部材４７の外面（位置合せ面）に接触させることで、第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂとの位置合せが行われる。前記のように挿入された双方の円周方向端部１２ａ、１２ｂは上部材４５と下部材４６で拘束されるから、第２の円周方向端部１２ｂが第１の円周方向端部１２ａの上に重なったりその下に重なったりすることによる分割静翼部１１の当接不良は効果的に防止される。

先に説明した（４−６）当接不良防止構造における拘束手段４０の他の実施形態として、例えば図１８（ｅ）に示したように、上部材４５の内面や下部材４６の内面にテーパ４８を形成することで、第１および第２の円周方向端部１２ａ、１２ｂを上部材４５と下部材４６との間に挿入し易くなるように構成してもよい。また、テーパ４８は同図（ｅ）のように上部材４５や下部材４６の内面の途中から設けてもよいし、その内面全体に設けてもよい。

なお、図示しないが、連結部材４７の外面を位置合せ面として設定せずに（４−３）当接不良防止構造のように、第１の円周方向端部１２ａと第２の円周方向端部１２ｂで、位置合わせを行ってもよい。

本発明は、以上説明した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により多くの変形が可能である。

例えば、前記実施形態では、内外のリム１２、１３うち一方のリム、具体的には内側のリム１２の円周方向端部『第１の円周方向端部１２ａ、第２の円周方向端部１２ｂ）を当接端として利用したが、これに代えて、図示は省略するが、他方のリム、具体的には外側のリム１３の円周方向端部を当接端として利用する構成について、前述の当接不良防止構造を適用してもよい。

前記実施形態では、内外のリム１２、１３うち一方のリム、具体的には内側のリム１２の円周方向端部を当接端として利用し、もう一方のリム、具体的には外側のリム１３の円周方向端部側に空隙が設定される構成例について説明したが、その空隙の有無に限定されることはない。例えば、空隙がなくても、当接を安定して出来るという本発明の効果は奏することが出来る。

以上説明した各実施形態は組み合わせて使用しても良い。

前記実施形態では、２つの分割静翼部１１（１１Ａ、１１Ｂ）を当接させることにより静翼部Ａ２が環状に設定される構成例について説明したが、これに限定されることはなく、本発明は、例えば３つ或いは４つの分割静翼部など、２以上の分割静翼部を当接させることで静翼部Ａ２が環状に設定される構成例にも適用することができる。

前記実施形態では、ターボ分子ポンプ部Ｐｔおよびネジ溝ポンプ部Ｐｓを備えた複合ポンプを用いて説明したが、ターボ分子ポンプ部Ｐｔのみを備えた全翼ポンプに用いても良い。

１ 外装ケース
１Ａ ポンプケース
１Ｂ ポンプベース
２ 吸気口
３ 排気ポート
４ ステータコラム
５ ロータ軸
６ 磁気軸受
７ ロータ
７Ａ 端部材
７Ｂ 筒部材
８ 駆動モータ
９ 回転翼
１０ ブレード
１１ 分割静翼部
１１Ａ 第１の分割静翼部
１１Ｂ 第２の分割静翼部
１２ 内側のリム
１２ａ 内側のリムの円周方向端部（第１の円周方向端部）
１２ｂ 内側のリムの円周方向端部（第２の円周方向端部）
１３ 外側のリム
１４ ネジ溝ステータ
１５ ネジ溝流路
１６ ポンプ内排気流路
１７ スペーサ
１９Ａ 第１の折曲り部
１９Ｂ 第２の折曲り部
２０ ズレ矯正手段
２１ 突出し部
２２ テーパ
３０ ズレ・重なり防止手段
３１ 板体（第１の板体）
３１Ａ 傾斜部
３１Ｂ 切欠き部
３２ 板体（第２の板体）
３２Ａ 傾斜部
３２Ｂ 切欠き部
４０ 拘束手段
４１ ピン体
４２ 凹部
４３ 溝
４３Ａ 溝の縁部
４４ 突起
４４Ａ 突起の根元周辺部
４５ 上部材
４６ 下部材
４７ 連結部材
４８ テーパ
Ａ１ 動翼部
Ａ２ 静翼部
Ｂ ネジ溝
Ｃｈ チャンバ
ＣＰ 幅方向側部
Ｇａ 空隙部
Ｋｉ 切欠き
Ｐ 真空ポンプ
Ｐｔ ターボ分子ポンプ部
Ｐｓ ネジ溝ポンプ部
Ｓ 折曲り部の正面側
Ｓ１ 折曲り部の根元付近外面
Ｌ０ 設計上の当接寸法位置
Ｌ１ 実際の当接寸法位置
ｈ 第１の折曲り部の高さ

Claims (16)

1. 回転する動翼部と、
   円周方向に形成された少なくとも一つのリムと、該リムと一体に形成された複数のブレードを有する複数の分割静翼部を、相互に円周方向端部で当接することによって環状に構成された静翼部とを有し、
   前記動翼部と前記静翼部とによって気体を排気する
   ターボ分子ポンプ部を備える真空ポンプであって、
   少なくとも一つの前記分割静翼部の円周方向端部に、他の前記分割静翼部の円周方向端部との当接不良を防止する当接不良防止構造を有し、
   前記当接不良防止構造は、第１の前記分割静翼部の円周方向端部に第１の折曲り部を備え、
   前記第１の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面の交線が前記静翼部の半径方向に対して０度より大きい所定の角度をなす方向に折曲げられ、少なくともその第１の折曲り部の幅方向側部が、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に当接すること
   を特徴とする真空ポンプ。
2. 前記所定の角度が９０度であること
   を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
3. 前記当接不良防止構造は、さらに、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に第２の折曲り部を備え、この第２の折曲り部の少なくとも一部が、前記第１の折曲り部に当接すること
   を特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の真空ポンプ。
4. 前記第２の折曲り部の幅方向側部が、前記第１の折曲り部に当接すること
   を特徴とする請求項３に記載の真空ポンプ。
5. 前記第１の折曲り部と前記第２の折曲り部は、その幅方向側部どうしの当接を可能とする位置に設けられていること
   を特徴とする請求項３または４に記載の真空ポンプ。
6. 前記当接不良防止構造は、２つ以上の前記分割静翼部を当接させた状態での前記分割静翼部の厚み方向の位置ズレを矯正するズレ矯正手段を備えること
   を特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の真空ポンプ。
7. 回転する動翼部と、
   円周方向に形成された少なくとも一つのリムと、該リムと一体に形成された複数のブレードを有する複数の分割静翼部を、相互に円周方向端部で当接することによって環状に構成された静翼部とを有し、
   前記動翼部と前記静翼部とによって気体を排気する
   ターボ分子ポンプ部を備える真空ポンプであって、
   少なくとも一つの前記分割静翼部の円周方向端部に、他の前記分割静翼部の円周方向端部との当接不良を防止する当接不良防止構造を有し、
   前記当接不良防止構造は、第１の前記分割静翼部の円周方向端部に第１の折曲り部を備え、
   前記第１の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面との交線が前記静翼部の半径方向と平行となる方向に折曲げられ、かつ、曲げ角度が９０度未満の鋭角になるように折曲げられ、かつ、その第１の折曲り部の根元付近外面が、第２の前記分割静翼部の円周方向端部に当接すること
   を特徴とする真空ポンプ。
8. 第２の前記分割静翼部の円周方向端部に第２の折曲り部が設けられ、この第２の折曲り部は、その表面又は裏面と前記リムの表面又は裏面との交線が前記静翼部の半径方向と平行となる方向に折曲げられ、かつ、その第２の折曲り部の根元付近外面が、前記第１の折曲り部の根元付近外面に当接すること
   を特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
9. 前記第２の折曲り部は、曲げ角度が９０度未満の鋭角になるように折曲げられ、少なくともその第２の折曲り部の前記根元付近外面が、前記第１の折曲り部の根元付近外面に当接すること
   を特徴とする請求項８に記載の真空ポンプ。
10. 前記第１の折曲り部の前記根元付近外面が、フラットな面に形成されていること
    を特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の真空ポンプ。
11. 前記第２の折曲り部の前記根元付近外面が、フラットな面に形成されていること
    を特徴とする請求項８または９に記載の真空ポンプ。
12. 前記第１の折曲り部の前記根元付近外面が、前記第２の前記分割静翼部の円周方向端部の少なくとも厚み範囲内にフラットな面を含んでいること
    を特徴とする請求項７に記載の真空ポンプ。
13. 前記第２の折曲り部の前記根元付近外面が、少なくとも前記第１の折曲り部の前記根元付近外面の範囲内にフラットな面を含んでいること
    を特徴とする請求項８または９または１１に記載の真空ポンプ。
14. 前記当接不良防止構造は、前記分割静翼部の円周方向端部に、他の前記分割静翼部とのズレや重なりを防止するズレ・重なり防止手段を備えていること
    を特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ。
15. 前記分割静翼部は、２つ以上の前記分割静翼部を当接させた状態において、前記リムの端部に空隙部を形成する為の切欠きが設けられていること
    を特徴とする請求項１ないし１４のいずれかに記載の真空ポンプ。
16. 請求項１ないし１５のいずれかに記載の真空ポンプで使用される前記分割静翼部。

Images