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JP2532914B2 - Superconducting ceramic laminate and its manufacturing method - Google Patents
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JP2532914B2 - Superconducting ceramic laminate and its manufacturing method - Google Patents

Superconducting ceramic laminate and its manufacturing method

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JP2532914B2
JP2532914B2 JP63080021A JP8002188A JP2532914B2 JP 2532914 B2 JP2532914 B2 JP 2532914B2 JP 63080021 A JP63080021 A JP 63080021A JP 8002188 A JP8002188 A JP 8002188A JP 2532914 B2 JP2532914 B2 JP 2532914B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、ビスマス(Bi)、ストロンチウム(S
r)、カルシウム(ca)および銅(Cu)より構成された
超電銅セラミックス積層体に関し、より詳細には、特定
の方向に配向した複合酸化物結晶の膜が形成されたBi−
Sr−Ca−Cu系超電導セラミックス積層体積層体およびそ
の製造法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to bismuth (Bi), strontium (S
r), a calcium (ca) and a copper (Cu) super-copper ceramics laminated body, more specifically, a Bi-oxide film on which a complex oxide crystal film oriented in a specific direction is formed.
The present invention relates to a Sr-Ca-Cu-based superconducting ceramics laminated body laminated body and a manufacturing method thereof.

[従来の技術] 超電導材料は、臨界温度Tc、臨界磁場Hc、臨界電流密
度Jcの臨界値以下の条件で、電気抵抗がゼロになる性質
(超電導状態)を示す材料である。
[Prior Art] A superconducting material is a material exhibiting a property (superconducting state) in which the electric resistance becomes zero under the conditions of critical temperature Tc, critical magnetic field Hc, and critical current density Jc or less.

90K程度の温度で超電導性を示す酸化物セラミックス
として、Y−Ba−Cu−O系の複合酸化物が知られてい
る。さらに、最近では、80〜100KのTcを示す複合酸化物
として、Bi−Sr−Ca−Cu系超電導セラミックスが発見さ
れている。このBi−Sr−Ca−Cu系は、Y−Ba−Cu−O系
に比べて安定性に優れ、水分などの外部環境に対しても
強い耐性を有する。
Y-Ba-Cu-O-based composite oxides are known as oxide ceramics that exhibit superconductivity at a temperature of about 90K. Furthermore, recently, a Bi-Sr-Ca-Cu superconducting ceramic has been discovered as a composite oxide showing a Tc of 80 to 100K. This Bi-Sr-Ca-Cu system is more stable than the Y-Ba-Cu-O system and has a strong resistance to the external environment such as moisture.

通常、この複合酸化物セラミックスは、セラミックス
原料粉末の成形物を、常圧焼結、加圧焼結、雰囲気焼結
などにより焼成して得られる。
Usually, this composite oxide ceramic is obtained by firing a shaped material of ceramic raw material powder by normal pressure sintering, pressure sintering, atmosphere sintering, or the like.

線材化、テープ化およびコイル化されて従来から実用
化されている超電導材料としては、Nb−Ti合金やNb3Sn
合金が知られているが、これらの材料では、液体ヘリウ
ム温度まで冷却する必要があり、冷却のために多額の費
用がかかる。
Wires of, as the superconducting material has been put into practical use conventionally been taped and coiling, Nb-Ti alloy and Nb 3 Sn
Although alloys are known, these materials require cooling to liquid helium temperatures, which is expensive to cool.

従って、臨界温度が高い複合酸化物からなる高温超電
導体を用いた線材、テープの実用化のための種々の提案
がなされている。
Therefore, various proposals have been made for practical use of wire rods and tapes using a high temperature superconductor made of a complex oxide having a high critical temperature.

[発明が解決しようとする課題] 超電導体を実用化するためは、超電導体を線材化、テ
ープ化およびコイル化すると共に、大きな臨界電流密度
Jcを有する導体でなくてはならない。Bi−Sr−Ca−Cu系
超電導セラミックスの結晶構造は、確立されていない
が、提案されているものの特徴は、結晶軸のうち著しく
c軸が長く、a軸やb軸の長さの5倍以上であり、各原
子がab面に層状に配列していることである。従って、超
電導状態では、理論的には、ab面(c軸に垂直方向)に
添って電子が移動し、c軸に方向移動し難い結晶構造に
なっていると考えられる。
[Problems to be Solved by the Invention] In order to put a superconductor into practical use, the superconductor is made into a wire rod, a tape, and a coil, and a large critical current density is obtained.
It must be a conductor with Jc. Although the crystal structure of Bi-Sr-Ca-Cu superconducting ceramics has not been established, the characteristic of the proposed one is that the c-axis is remarkably long among the crystal axes and is 5 times as long as the a-axis or the b-axis. The above is that the atoms are arranged in layers on the ab plane. Therefore, in the superconducting state, it is theoretically considered that the crystal structure is such that electrons move along the ab plane (direction perpendicular to the c-axis) and it is difficult for the electrons to move in the c-axis direction.

従来の高温超電導セラミックスを用いた線材、テープ
およびコイルでは、このような結晶構造を考慮したもの
が少なく、線材、テープの長手方向に大きな電流を流す
方策を講じていないものは、実用的に大きな電流密度が
得られない。
There are few conventional wire rods, tapes and coils using high temperature superconducting ceramics that take such a crystal structure into consideration, and those that do not take measures to pass a large current in the longitudinal direction of the wire rods and tapes are practically large. Current density cannot be obtained.

線材、テープの長手方向に大きな電流を流して実用的
に大きな臨界電流密度を得るために、上述のように結晶
を配向させる方法として、蒸着法、スパッタ法、CVD法
などの気相法が提案されている。しかしながら、これら
の方法は、膜の形成速度が小さく製造工程が複雑でかつ
製造コストが極めて高く、線材、テープなどへの長尺化
が困難である。
In order to obtain a practically large critical current density by applying a large current in the longitudinal direction of wires and tapes, vapor phase methods such as vapor deposition, sputtering, and CVD are proposed as methods for orienting crystals as described above. Has been done. However, in these methods, the film formation speed is small, the manufacturing process is complicated, and the manufacturing cost is extremely high, and it is difficult to increase the length of a wire or tape.

また、高温で熱処理する必要があり、基材として耐熱
合金などの耐熱材料を用いる必要があるが、耐熱合金の
基材へ直接セラミックス膜を形成するとセラミックスと
の間の格子定数の整合性が悪く、配向膜を得ることが難
しく、さらに、熱処理中にセラミックスと基材との間で
反応が起こり、セラミックスの超電導相が破壊された。
In addition, it is necessary to perform heat treatment at high temperature, and it is necessary to use a heat resistant material such as a heat resistant alloy as a base material, but if a ceramic film is directly formed on the base material of the heat resistant alloy, the lattice constant matching with the ceramic is poor. , It was difficult to obtain an alignment film, and further, a reaction occurred between the ceramic and the substrate during the heat treatment, and the superconducting phase of the ceramic was destroyed.

この発明は上述の背景に基づきなされたものであり、
その目的とするところは、線材、テープおよびコイルの
長手方向に大きな電流を流すことができ実用的に大きな
臨界電流密度を示し、かつ種々の耐熱材料を基材として
用いることができる超電導セラミックス積層体並びに、
良好な結晶配向性を有する超電導セラミックス積層体を
簡易にかつ廉価に製造する方法を提供することである。
The present invention has been made based on the above background,
The object is to provide a superconducting ceramics laminated body capable of passing a large current in the longitudinal direction of the wire, tape and coil, exhibiting a practically large critical current density, and using various heat resistant materials as a base material. And
An object of the present invention is to provide a method for easily and inexpensively manufacturing a superconducting ceramics laminate having good crystal orientation.

[課題を解決するための手段] 上記の課題は、この発明による超電導セラミックス積
層体およびその製造法により達成される。
[Means for Solving the Problems] The above objects are achieved by a superconducting ceramic laminate according to the present invention and a method for producing the same.

すなわち、この発明超電導セラミックス積層体の製造
法は、ビスマス、ストロンチウム、カルシウムおよび銅
より構成された複合酸化物の厚膜を、中間層を介して基
材面に形成し、形成膜を熱処理してセラミックス積層体
を形成する方法であって、熱処理により、複合酸化物結
晶はc結晶軸が中間層平面に実質的に垂直になるように
配向し、中間層は、前記配向を促進しかつ熱処理中にセ
ラミックスの超電導性を損なわないものであることを特
徴とするものである。
That is, the method for producing a superconducting ceramics laminated body of the present invention comprises forming a thick film of a complex oxide composed of bismuth, strontium, calcium and copper on the surface of a base material via an intermediate layer, and subjecting the formed film to heat treatment. A method of forming a ceramics laminate, wherein the composite oxide crystals are oriented by heat treatment such that the c crystal axis is substantially perpendicular to the plane of the intermediate layer, and the intermediate layer promotes the orientation and during the heat treatment. The feature is that it does not impair the superconductivity of ceramics.

この発明の好ましい態様において、基材を、テープ状
の耐熱材料または高強度材料とすることができる。
In a preferred embodiment of the present invention, the base material can be a tape-shaped heat-resistant material or high-strength material.

この発明において、中間層として、銀、銅、金、白金
から選ばれる貴金属、MgO、SrTiO3、イットリウム安定
化ジルコニア、超電導セラミックス構成元素の酸化物を
用いることが望ましい。
In the present invention, it is desirable to use, as the intermediate layer, a noble metal selected from silver, copper, gold and platinum, MgO, SrTiO 3 , yttrium-stabilized zirconia, and oxides of constituent elements of superconducting ceramics.

この発明において、好ましい膜の熱処理条件は、860
〜950℃の加熱温度で加熱して膜の一部または全部を溶
融し、その後に徐冷して行うことである。
In the present invention, the preferable heat treatment conditions for the film are 860
This is performed by heating at a heating temperature of 950 ° C. to melt a part or all of the film, and then gradually cooling.

この発明により超電導セラミックス積層体は、ビスマ
ス、ストロンチウム、カルシウムおよび銅より構成され
た超電導複合酸化物セラミックス膜が、銀、銅、金、白
金から選ばれる貴金属、MgO、SrTiO3、イットリウム安
定化ジルコニア、超電導セラミックス構成元素の酸化物
からなる中間層を介して基材平面に形成された積層体で
あって、膜内の複合酸化物結晶が配向してc結晶軸が中
間層平面に実質的に垂直になっていることを特徴とす
る。
The superconducting ceramics laminate according to the present invention is bismuth, strontium, a superconducting complex oxide ceramics film composed of calcium and copper, silver, copper, gold, a noble metal selected from platinum, MgO, SrTiO 3 , yttrium-stabilized zirconia, A laminated body formed on a substrate plane through an intermediate layer made of an oxide of a superconducting ceramics constituent element, wherein the complex oxide crystals in the film are oriented and the c crystal axis is substantially perpendicular to the intermediate plane. It is characterized by being.

この発明の積層体において、基材は、テープ状であ
り、耐熱金属、セラミックス、若しくは金属とセラミッ
クスとの複合材であることが望ましい。
In the laminate of the present invention, the base material is preferably tape-shaped, and is preferably a heat-resistant metal, ceramics, or a composite material of metal and ceramics.

以下、この発明をより詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

複合酸化物膜の形成 複合酸化物膜の中間層を介しての基材上への形成は、
種々の方法で実施することができ、例えば、スクリーン
印刷法、ドクターブレード法、溶液塗布法などがあり、
適宜選択できる。複合酸化物膜の膜厚は、目的に応じて
適宜変更できるが、例えば、数μmから数百μmであ
る。
Formation of complex oxide film The formation of the complex oxide film on the substrate through the intermediate layer is
It can be carried out by various methods, for example, screen printing method, doctor blade method, solution coating method,
It can be selected appropriately. The thickness of the composite oxide film can be appropriately changed depending on the purpose, and is, for example, several μm to several hundred μm.

セラミックス原料の化合物の種類などは、膜形成法な
どにより合目的的に選択することが望ましい。
It is desirable to appropriately select the kind of the compound of the ceramic raw material by a film forming method or the like.

通常、セラミックス原料粉末を得る方法には、例え
ば、セラミックスの構成成分の各化合物粉末を混合しこ
れをか焼する乾式法が、また、目的をするセラミックス
構成成分を含む混合液を調製し、これにシュウ酸や炭酸
カリウムなどの沈澱形成剤を一段階または多段階的に添
加させて共同沈澱物を得、これを乾燥・か焼する湿式法
がある。
Usually, as a method for obtaining a ceramic raw material powder, for example, a dry method in which each compound powder of the constituent components of the ceramic is mixed and calcined, and a mixed solution containing the intended ceramic constituent component is prepared, There is a wet method in which a precipitate forming agent such as oxalic acid or potassium carbonate is added in one step or in multiple steps to obtain a coprecipitate, which is dried and calcined.

この発明において、複合酸化物膜は、基材上の中間層
平面に形成される。基材の形状は、配向結晶化が可能な
実質的に平面を有するものであれば、いずれの形状でも
よいが、長尺物が好ましく、例えば、テープ状、角線状
であり、特にテープ状が好ましい。
In the present invention, the complex oxide film is formed on the plane of the intermediate layer on the base material. The shape of the base material may be any shape as long as it has a substantially flat surface that can be oriented and crystallized, but a long material is preferable, for example, a tape shape, a square wire shape, and particularly a tape shape. Is preferred.

この発明において用いられる基材には、各種の金属、
セラミックス、およびこれらの複合材があり、これらの
選択は、この発明の積層体の用途および種類などに応じ
て適宜実施することができる。好ましい基材として、耐
熱性を有する金属、セラミックスなど材料、機械的強度
を有する材料がある。基材表面は、必要に応じて適宜前
処理に付される。
The base material used in this invention includes various metals,
There are ceramics and composite materials thereof, and these can be appropriately selected depending on the use and type of the laminate of the present invention. As preferable base materials, there are materials having heat resistance such as metals and ceramics, and materials having mechanical strength. The surface of the base material is appropriately subjected to pretreatment if necessary.

この発明で基材上に形成させる中間層は、セラミック
スの配向を促進しかつ熱処理中にセラミックスの超電導
性を損なわないものであれば、その種類は限定されない
が、そのようなものとして、例えば、銀、銅、金、白金
から選ばれる貴金属、MgO、SrTiO3、イットリウム安定
化ジルコニア、超電導セラミックス構成元素の酸化物、
すなわち、Bi2O3、SrO、CaO、CuOなどがある。このう
ち、銀、銅、金、白金から選ばれる貴金属は、超電導相
との反応が小さくかつ超電導セラミックスの結晶の配向
を促進し、MgOおよびSrTiO3では、これらが超電導セラ
ミックスとの間での反応性が小さくかつ格子定数の整合
性が良くて超電導セラミックスの結晶の配向を促進する
からである。また、Bi2O3、SrO、CaO、CuOなどの超電導
セラミックス構成元素の酸化物では、この中間層の一部
が超電導相に拡散してその相と化合しても、超電導相を
破壊せず、膜との密着性を増し、かつ基材から拡散して
くる原子のバリヤーとしての役割を果たす。
The intermediate layer to be formed on the substrate in the present invention is not limited in kind as long as it promotes the orientation of the ceramics and does not impair the superconductivity of the ceramics during the heat treatment. Noble metals selected from silver, copper, gold, platinum, MgO, SrTiO 3 , yttrium-stabilized zirconia, oxides of superconducting ceramic constituent elements,
That is, there are Bi 2 O 3 , SrO, CaO, CuO and the like. Of these, a noble metal selected from silver, copper, gold, and platinum has a small reaction with the superconducting phase and promotes crystal orientation of the superconducting ceramics, and in MgO and SrTiO 3 , these react with the superconducting ceramics. This is because the properties are small and the lattice constants are well matched to promote the orientation of the crystals of the superconducting ceramics. Also, in oxides of superconducting ceramic constituent elements such as Bi 2 O 3 , SrO, CaO, and CuO, even if a part of this intermediate layer diffuses into the superconducting phase and combines with that phase, the superconducting phase is not destroyed. , Increases the adhesion to the film, and also acts as a barrier for atoms that diffuse from the substrate.

基材への中間層の形成は、中間層の種類に応じて適宜
選択することができる。例えば、貴金属では、メッキ
法、溶融メッキ法、蒸着法などの気相法があり、酸化物
の場合、例えば、スクリーン印刷法、ドクターブレード
法、溶液塗布法などがあり、適宜選択でき、必要に応じ
て乾燥・焼成する。
The formation of the intermediate layer on the base material can be appropriately selected depending on the type of the intermediate layer. For example, in the case of precious metals, there are vapor phase methods such as plating, hot dipping, vapor deposition, and in the case of oxides, there are, for example, screen printing, doctor blade method, solution coating method, etc. Dry and bake accordingly.

膜形成法のうち、スクリーン印刷法で行う場合、複合
酸化物のペーストを調製して中間層面に塗布する。
When the screen printing method is used among the film forming methods, a composite oxide paste is prepared and applied to the intermediate layer surface.

ここで、ペーストは、通常の手法で得た複合酸化物粉
末を、アクリル系樹脂などのバインダーと混練し、ペー
ストの粘度を調整するために更に溶剤、可塑剤などを添
加して調製することができる。
Here, the paste may be prepared by kneading the composite oxide powder obtained by a usual method with a binder such as an acrylic resin, and further adding a solvent, a plasticizer or the like in order to adjust the viscosity of the paste. it can.

この発明における超電導酸化物セラミックス中に、そ
の焼結性や超電導性を制御するために、微量の成分を添
加することができる。そのような成分元素として、Ti、
Sn、Mn、Al、Cs、Ce、V、Bi、Fe、Cr、Ni、Ir、Rh、Ga
があり、添加するそれらの化合物としては、その水酸化
物、オキシ塩化物、炭酸塩、炭酸水素塩、オキシ硝酸
塩、硫酸塩、亜硫酸塩、硝酸塩、酢酸塩、ギ酸塩、シュ
ウ酸塩、塩化物、およびフッ化物などがある。この微量
成分の添加は、原料中に含めて、または、か焼した複合
酸化物粉末中に含めて行うことができる。
To control the sinterability and superconductivity of the superconducting oxide ceramics according to the present invention, trace components can be added. As such component elements, Ti,
Sn, Mn, Al, Cs, Ce, V, Bi, Fe, Cr, Ni, Ir, Rh, Ga
These compounds include hydroxides, oxychlorides, carbonates, bicarbonates, oxynitrates, sulfates, sulfites, nitrates, acetates, formates, oxalates and chlorides. , And fluoride. The addition of the trace components can be carried out in the raw material or in the calcined complex oxide powder.

膜の熱処理 基材上の中間層平面へ形成された複合酸化物膜は、次
いで、熱処理される。この発明において熱処理により、
複合酸化物結晶のc結晶軸が中間層平面に実質的に垂直
に配向する。
Heat Treatment of Membrane The composite oxide film formed on the intermediate plane of the substrate is then heat treated. In this invention, by heat treatment,
The c-axis of the complex oxide crystal is oriented substantially perpendicular to the plane of the intermediate layer.

膜の熱処理条件について、上記のc軸配向膜が形成さ
れるように、前処理、加熱速度、加熱温度、加熱雰囲
気、加熱時間、冷却速度などが選択される。
Regarding the heat treatment conditions for the film, pretreatment, heating speed, heating temperature, heating atmosphere, heating time, cooling speed, and the like are selected so that the above-described c-axis oriented film is formed.

ペーストとして形成された複合酸化物膜では、100℃
前後で乾燥し、次いで樹脂などのバインダーを蒸発させ
るために、400℃前後に1時間焼鈍して前処理を施すこ
とが望ましい。
100 ° C for complex oxide film formed as paste
Before and after drying, it is desirable to perform a pretreatment by annealing at about 400 ° C. for one hour in order to evaporate a binder such as a resin.

加熱温度(焼成温度)は、複合酸化物の組成などに応
じて適宜変更することができる、例えば、860〜950℃、
好ましくは870〜910℃である。これは、860℃未満で
は、複合酸化物膜が溶融することもなく、結晶をc軸配
向させることもできず、また、膜中のセラミックス粒子
の一部も溶融せず、膜の緻密化が進行しないからであ
り、他方、950℃を超すと、複合酸化物が熱分解、また
は一部が蒸発する恐れがあるからである。
The heating temperature (baking temperature) can be appropriately changed according to the composition of the composite oxide, for example, 860 to 950 ° C,
It is preferably 870 to 910 ° C. If the temperature is lower than 860 ° C., the composite oxide film does not melt, the crystals cannot be oriented along the c-axis, and some of the ceramic particles in the film do not melt. On the other hand, if the temperature exceeds 950 ° C., the composite oxide may be thermally decomposed or partially evaporated.

加熱の際の昇温速度については、その速度がセラミッ
クスの微構造および超電導特性を大きく左右するので、
複合酸化物の構成成分の種類や含量に応じて適宜設定さ
れる。
The heating rate during heating greatly affects the microstructure and superconductivity of ceramics.
It is appropriately set according to the type and content of the constituent components of the composite oxide.

この発明において、加熱は、酸素雰囲気または非酸素
雰囲気で実施される。酸素以外に窒素ガス、ヘリウム、
アルゴンなどの不活性ガスを加えることもできる。
In the present invention, the heating is performed in an oxygen atmosphere or a non-oxygen atmosphere. In addition to oxygen, nitrogen gas, helium,
An inert gas such as argon can also be added.

加熱後、c軸配向結晶化するように、徐冷する。例え
ば、冷却速度として、500〜20℃/時間、好ましくは200
〜50℃/時間、より好ましくは、100℃/時間前後を採
用することができる。
After heating, it is gradually cooled so that c-axis oriented crystallization occurs. For example, the cooling rate is 500 to 20 ° C / hour, preferably 200
-50 ° C / hour, more preferably around 100 ° C / hour can be adopted.

複合酸化物セラミックス この発明により超電導セラミックス積層体は、ビスマ
ス、ストロンチウム、カルシウムおよび銅より構成され
た超電導複合酸化物セラミックス膜が、銀、銅、金、白
金から選ばれる貴金属、MgO、SrTiO3、イットリウム安
定化ジルコニア、超電導セラミックス構成元素の酸化物
からなる中間層を介して、例えばテープ状であり、耐熱
金属、セラミックス、若しくは金属とセラミックスとの
複合材である基材平面に形成された積層体であって、膜
内の複合酸化物結晶が配向してc結晶軸が中間層平面に
実質的に垂直になっていること特徴とする。
Complex Oxide Ceramics According to the present invention, the superconducting ceramics laminate is a superconducting complex oxide ceramic film composed of bismuth, strontium, calcium and copper, a noble metal selected from silver, copper, gold and platinum, MgO, SrTiO 3 , yttrium. Stabilized zirconia, a laminate formed on the flat surface of the base material, which is a heat-resistant metal, ceramics, or a composite material of metal and ceramics, for example, through an intermediate layer made of oxides of constituent elements of superconducting ceramics. The complex oxide crystals in the film are oriented so that the c crystal axis is substantially perpendicular to the plane of the intermediate layer.

この発明において膜内の複合酸化物結晶の形状や寸法
などは、c軸配向している限り、任意である。この発明
の積層体の概略部分断面図を第1図AおよびBに示す。
この態様では、テープ状金属基材1と、中間層3を介し
てその面に設けられた複合酸化物セラミックス膜2とか
らなり、その膜内の結晶は、c軸が中間層平面に実質的
に垂直になっている。この発明では、ab軸方向が一致し
ている態様(第1図A)、および一致していない態様
(第1図B)も含む。
In the present invention, the shape, size, and the like of the composite oxide crystal in the film are arbitrary as long as they are c-axis oriented. A schematic partial cross-sectional view of the laminate of the present invention is shown in FIGS. 1A and 1B.
In this aspect, the tape-shaped metal substrate 1 and the complex oxide ceramic film 2 provided on the surface of the tape-shaped metal substrate 1 with the intermediate layer 3 interposed therebetween, and the crystals in the film have the c-axis substantially in the plane of the intermediate layer. It is vertical to. The present invention also includes a mode in which the ab axis directions match (Fig. 1A) and a mode in which they do not match (Fig. 1B).

製造されたセラミックスは、超電導性を示すことがで
き、種々の超電導材料として利用することができる。
The produced ceramics can exhibit superconductivity and can be used as various superconducting materials.

[作 用] 上記のように構成されたこの発明のセラミックスの製
造法のメカニズムを、この発明のより良い理解のために
説明する。従って、以下は、この発明の範囲を限定する
ものではない。
[Operation] The mechanism of the method for producing the ceramics of the present invention configured as described above will be described for better understanding of the present invention. Therefore, the following does not limit the scope of the present invention.

この発明の方法においては、処理前の複合酸化物膜で
は、セラミックス粒子は、ランダムに配列し、また、非
晶質および晶質が混在し、熱処理により、膜の酸化物の
一部または全部が溶融し、この溶融物を徐々に冷却する
ことにより、c軸配向するように結晶化される。特に、
中間層は、セラミックスの配向を促進しかつ熱処理中に
セラミックスの超電導性を損なわないものであり、例え
ば、銀などの貴金属では、超電導相との反応が小さくか
つBi−Sr−Ca−Cu系セラミックスとの結晶格子の整合性
が良くて容易にBi系セラミックスのc軸配向を促進し、
MgOなどでも、超電導セラミックスとの間での反応性が
小さくかつ格子定数の整合性が良くて超電導セラミック
スの結晶の配向を促進し、超電導セラミックス構成元素
の酸化物では、中間層の一部が超電導相に拡散してその
相と化合しても、超電導相を破壊せず、膜との密着性を
増し、かつ基材から拡散してくる原子のバリヤーとして
の役割を果たす。
In the method of the present invention, in the composite oxide film before treatment, the ceramic particles are randomly arranged, and amorphous and crystalline substances are mixed, and a part or all of the oxide of the film is subjected to heat treatment. By melting and gradually cooling this melt, it is crystallized so as to be c-axis oriented. In particular,
The intermediate layer is one that promotes the orientation of the ceramics and does not impair the superconductivity of the ceramics during the heat treatment.For example, noble metals such as silver have a small reaction with the superconducting phase and the Bi-Sr-Ca-Cu-based ceramics. The crystal lattice matching with and facilitates the c-axis orientation of Bi-based ceramics,
Even in MgO, etc., the reactivity with superconducting ceramics is small and the lattice constant is well matched to promote crystal orientation of superconducting ceramics. Even if it diffuses into a phase and combines with the phase, it does not destroy the superconducting phase, increases the adhesion to the film, and plays a role as a barrier for atoms diffusing from the base material.

[発明の効果] この発明により次の効果を得ることができる。[Effects of the Invention] The following effects can be obtained by the present invention.

(イ) この本発明の製造法により、従来の複雑高価な
蒸着法、スパッタ法、CVD法などを用いずに、操作容易
かつコストが安い熱処理工程を利用するので、良好な結
晶配向性を有する超電導セラミックス積層体を、簡易に
かつ廉価に製造することができる。
(B) With this manufacturing method of the present invention, a heat treatment step that is easy to operate and inexpensive is used without using the conventional complicated and expensive vapor deposition method, sputtering method, CVD method, etc. The superconducting ceramics laminated body can be easily manufactured at low cost.

(ロ) この本発明の製造法では、基材や中間層として
フレキシブルな材料を用いることができ、加工性の悪い
セラミックスの弱点をカバーし、この発明の積層体をフ
レキシブルなものとすることができる (ハ) この本発明の製造法では、中間層としてAgなど
の良導電体を用いれば、使用中に超電導状態が破れて
も、すなわちクエンチ状態になっても、金属基材が電流
のバイパスとなって安定化材の役割をはたす。
(B) In this production method of the present invention, a flexible material can be used as the base material and the intermediate layer, and the weak point of the ceramics having poor workability can be covered to make the laminate of the present invention flexible. (C) In this production method of the present invention, if a good conductor such as Ag is used as the intermediate layer, even if the superconducting state is broken during use, that is, the quench state occurs, the metal base material bypasses the electric current. And plays the role of stabilizing material.

(ニ) 本発明の製造法では、加熱条件がより特定さ
れ、特定の中間層を用いることにより、c軸配向化をよ
り確実にして良好な超電導セラミックス積層体を得るこ
とができる。
(D) In the production method of the present invention, the heating conditions are more specified, and by using a specific intermediate layer, it is possible to more reliably achieve c-axis orientation and obtain a good superconducting ceramics laminate.

(ホ) 本発明の積層体では、超電導セラミックス膜が
配向されているので、角線材、テープの長手方向に大き
な電流を流すことができ実用的に大きな電流密度を示す
超電導セラミックス積層体を得ることができる。
(E) In the laminated body of the present invention, since the superconducting ceramic film is oriented, a large electric current can be passed in the longitudinal direction of the rectangular wire and tape, and a superconducting ceramic laminated body showing a practically large current density can be obtained. You can

(ヘ) 本発明の製造法では、加熱条件がより特定さ
れ、この条件で、加熱時に膜が半溶融状態になり、極め
て緻密な膜を形成することができる。
(F) In the production method of the present invention, the heating conditions are more specified, and under these conditions, the film becomes a semi-molten state during heating, and an extremely dense film can be formed.

(ト) 本発明の積層体では、超電導セラミックスが直
接に中間層と接触し、基材と接触していなので、セラミ
ックスとの反応性が高くまた超電導相を破壊する元素を
含む材料であっても、この積層体の基材として使用する
ことができ、耐熱合金や機械的強度の強い合金など金属
材料、その他、種々のセラミックス材料、複合材を用い
ることができる。
(G) In the laminate of the present invention, since the superconducting ceramic is in direct contact with the intermediate layer and in contact with the base material, even if the material has a high reactivity with the ceramic and contains an element that destroys the superconducting phase. It can be used as a base material of this laminated body, and metal materials such as heat-resistant alloys and alloys having high mechanical strength, and various ceramic materials and composite materials can be used.

[実施例] この発明を実施例により具体的に説明する。[Examples] The present invention will be specifically described with reference to examples.

実施例1 MgOを乳鉢で乾式混合し、800℃で10時間か焼した。こ
のか焼粉末を乳鉢で粉砕し280メシュ以下の粉末とし
た。次いで、アクリル系樹脂3重量部をか焼物10重量部
に添加し30分間混練機で混合した。粘度を調整するため
に、溶剤としてパラピノール、可塑剤としてジブチルフ
タレートを数滴添加してよく混合し、MgOペーストを得
た。
Example 1 MgO was dry mixed in a mortar and calcined at 800 ° C. for 10 hours. The calcined powder was pulverized in a mortar to obtain a powder of 280 mesh or less. Next, 3 parts by weight of an acrylic resin was added to 10 parts by weight of the calcined product, and mixed with a kneader for 30 minutes. In order to adjust the viscosity, a few drops of parapinol as a solvent and dibutyl phthalate as a plasticizer were added and mixed well to obtain an MgO paste.

MgOペーストを、ハステロイテープ(耐熱Ni合金)上
にスクリーン印刷法により厚膜形成した。このテープを
900℃で1時間焼成した。得られた膜厚は5〜10μmで
あった。
The MgO paste was formed into a thick film on Hastelloy tape (heat resistant Ni alloy) by screen printing. This tape
It was baked at 900 ° C. for 1 hour. The obtained film thickness was 5 to 10 μm.

他方、Bi2O30.5モル、SrCO31モル、CaCO31モルおよび
CuO2モルを乳鉢で乾式混合し、800℃で10時間か焼し
た。このか焼粉末を乳鉢で粉砕し280メシュ以下の粉末
とした。次いで、アクリル系樹脂3重量部をか焼物10重
量部に添加し30分間混練機で混合した。粘度を調整する
ために、溶剤としてパラピノール、可塑剤としてジブチ
ルフタレートを数滴添加してよく混合した。
On the other hand, Bi 2 O 3 0.5 mol, SrCO 3 1 mol, CaCO 3 1 mol and
Two moles of CuO were dry mixed in a mortar and calcined at 800 ° C for 10 hours. The calcined powder was pulverized in a mortar to obtain a powder of 280 mesh or less. Next, 3 parts by weight of an acrylic resin was added to 10 parts by weight of the calcined product, and mixed with a kneader for 30 minutes. To adjust the viscosity, parapinol as a solvent and a few drops of dibutyl phthalate as a plasticizer were added and mixed well.

得られた複合酸化物ペーストを、スクリーン印刷法に
より、前記の中間層を有するテープ上に厚膜形成した。
膜厚は焼成前で数十μmから数百μmであった。
The obtained composite oxide paste was formed into a thick film on the tape having the intermediate layer by a screen printing method.
The film thickness was several tens μm to several hundred μm before firing.

このテープを100℃前後で乾燥し、400℃で1時間バイ
ンダーを蒸発させて前処理し、860℃で5分間熱処理し
た。その後に、100℃/時間の割合で冷却し、超電導セ
ラミックス積層体テープを得た。得られた膜厚は5〜10
μmから数十μmであった。
The tape was dried at around 100 ° C, pretreated by evaporating the binder at 400 ° C for 1 hour, and heat-treated at 860 ° C for 5 minutes. Thereafter, cooling was performed at a rate of 100 ° C./hour to obtain a superconducting ceramic laminate tape. The resulting film thickness is 5-10
μm to several tens of μm.

得られた超電導セラミックス積層体テープの超電導特
性を試験するために、通常の4端子法で、温度と電気抵
抗率との関係を調べた。その結果を第2図に示す。この
図から明らかなように、電気抵抗の温度変化から、90K
で超電導への遷移が始まり、Tcが30Kであった。
In order to test the superconducting properties of the obtained superconducting ceramics laminated body tape, the relationship between temperature and electric resistivity was investigated by the usual 4-terminal method. The results are shown in FIG. As is clear from this figure, from the temperature change of the electrical resistance, 90K
The transition to superconductivity started at Tc of 30K.

結晶配向性を調べるために、粉末X線回折分析を行っ
た。その結果の第3図より、結晶構造は、(00n)面の
ピークが高くかつ強く、著しくc軸に配向し、ハステロ
イテープと超電導セラミックスとの反応がなく、MgOの
中間層が配向を促進し、拡散のバリヤーとして働いてい
るが分かる。
In order to examine the crystal orientation, powder X-ray diffraction analysis was performed. As a result, as shown in FIG. 3, the crystal structure has a high and strong (00n) plane peak, is significantly oriented in the c-axis, there is no reaction between the Hastelloy tape and the superconducting ceramics, and the MgO intermediate layer promotes orientation. You can see that it works as a diffusion barrier.

比較例 中間層を介さず、ハステロイテープに直接にセラミッ
クス膜を形成したこと以外、実施例1と同様にセラミッ
クス積層体を調整し、超電導特性を調べた。
Comparative Example A ceramic laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the ceramic film was directly formed on the Hastelloy tape without using the intermediate layer, and the superconducting property was examined.

その結果、熱処理でハステロイテープの成分と反応し
て超電導相が破壊されて、セラミックス膜は電気絶縁体
となった。
As a result, the heat treatment reacted with the components of the Hastelloy tape to destroy the superconducting phase, and the ceramic film became an electrical insulator.

実施例2 中間層の材質がCuOであり、基材の材質が、Agであ
り、膜の焼成温度を900℃としたこと以外、実施例1と
同様にセラミックス積層体を調整し、超電導特性を調べ
た。
Example 2 A ceramic laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the material of the intermediate layer was CuO, the material of the base material was Ag, and the firing temperature of the film was 900 ° C. Examined.

得られた超電導セラミックス積層体テープの超電導特
性を試験するために、テープから一部を剥がし、通常の
4端子法で、温度と電気抵抗率との関係を調べた。その
結果を第4図に示す。この図から明らかなように、Tcが
77Kであった。
In order to test the superconducting properties of the obtained superconducting ceramics laminate tape, a part of the tape was peeled off, and the relationship between temperature and electric resistivity was investigated by a usual four-terminal method. The results are shown in FIG. As is clear from this figure, Tc
It was 77K.

結晶配向性を調べるために、粉末X線回折分析を行っ
た。その結果の第5図より、結晶構造は、(00n)面の
ピークが高くかつ強く、著しくc軸に配向しているが分
かる。
In order to examine the crystal orientation, powder X-ray diffraction analysis was performed. As a result, it can be seen from FIG. 5 that the crystal structure has a high and strong peak in the (00n) plane and is significantly oriented in the c-axis.

実施例3 メッキで設けられた中間層の材質がAgであり、焼成温
度を880℃としたこと以外、実施例1と同様にセラミッ
クス積層体を調整し、超電導特性を調べた。
Example 3 A ceramic laminate was prepared in the same manner as in Example 1 except that the material of the intermediate layer formed by plating was Ag and the firing temperature was 880 ° C., and the superconducting property was examined.

得られた超電導セラミックス積層体テープの超電導特
性を試験するために、テープから一部を剥がし、通常の
4端子法で、温度と電気抵抗率との関係を調べた。その
結果を第6図に示す。この図から明らかなように、Tcが
78Kであった。
In order to test the superconducting properties of the obtained superconducting ceramics laminate tape, a part of the tape was peeled off, and the relationship between temperature and electric resistivity was investigated by a usual four-terminal method. The result is shown in FIG. As is clear from this figure, Tc
It was 78K.

結晶配向性を調べるために、粉末X線回折分析を行っ
た。その結果の第7図より、結晶構造は、(00n)面の
ピークが高くかつ強く、著しくc軸に配向しているが分
かる。
In order to examine the crystal orientation, powder X-ray diffraction analysis was performed. As a result, it can be seen from FIG. 7 that the crystal structure has a high and strong peak in the (00n) plane and is significantly oriented in the c-axis.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は、この発明の積層体の概略部分図、第2図は、
実施例1で得られた複合酸化物セラミックスの温度と電
気抵抗率との関係を示すグラフ、第3図は、実施例1で
得られた複合酸化物セラミックスのX線分析を示すグラ
フである、第4図は、実施例2で得られた複合酸化物セ
ラミックスの温度と電気抵抗率との関係を示すグラフ、
第5図は、実施例2で得られた複合酸化物セラミックス
のX線分析を示すグラフ、第6図は、実施例3で得られ
た複合酸化物セラミックスの温度と電気抵抗率との関係
を示すグラフ、第7図は、実施例3で得られた複合酸化
物セラミックスのX線分析を示すグラフである。
FIG. 1 is a schematic partial view of a laminated body of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a graph showing the relationship between temperature and electric resistivity of the composite oxide ceramics obtained in Example 1, and FIG. 3 is a graph showing X-ray analysis of the composite oxide ceramics obtained in Example 1. FIG. 4 is a graph showing the relationship between temperature and electrical resistivity of the composite oxide ceramics obtained in Example 2.
FIG. 5 is a graph showing the X-ray analysis of the composite oxide ceramics obtained in Example 2, and FIG. 6 shows the relationship between the temperature and the electrical resistivity of the composite oxide ceramics obtained in Example 3. The graph shown in FIG. 7 is a graph showing the X-ray analysis of the composite oxide ceramics obtained in Example 3.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01B 12/02 ZAA H01B 12/02 ZAA 13/00 HCU 7244−5L 13/00 HCUZ H01L 39/24 ZAA H01L 39/24 ZAAZ (56)参考文献 特開 平1−208327(JP,A)─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location H01B 12/02 ZAA H01B 12/02 ZAA 13/00 HCU 7244-5L 13/00 HCUZ H01L 39/24 ZAA H01L 39/24 ZAAZ (56) Reference JP-A-1-208327 (JP, A)

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ビスマス、ストロンチウム、カルシウムお
よび銅より構成された複合酸化物の厚膜を、中間層を介
して基材面に形成し、形成された膜を熱処理してセラミ
ックス積層体を形成する方法であって、860〜950℃の温
度に加熱して膜の一部または全部を溶融し、その後に徐
冷して行う熱処理により、複合酸化物結晶はc結晶軸が
中間層平面に実質的に垂直になるように配向結晶化し、
中間層は銀、銅、金、白金から選ばれる貴金属からな
り、前記配向を促進しかつ熱処理中にセラミックスの超
電導性を損なわないものであることを特徴とする超電導
セラミックス積層体の製造法。
1. A thick film of a complex oxide composed of bismuth, strontium, calcium and copper is formed on a substrate surface via an intermediate layer, and the formed film is heat treated to form a ceramics laminate. In the method, the c-axis of the complex oxide crystal is substantially in the plane of the intermediate layer by heat treatment in which a part or the whole of the film is melted by heating to a temperature of 860 to 950 ° C. and then slowly cooled. Orientation crystallized so that it is perpendicular to
A method for producing a superconducting ceramics laminate, wherein the intermediate layer is made of a noble metal selected from silver, copper, gold and platinum, and promotes the orientation and does not impair the superconductivity of the ceramics during heat treatment.
【請求項2】基材がテープ状の耐熱金属または高強度合
金である、請求項1記載の製造法。
2. The method according to claim 1, wherein the base material is a tape-shaped heat-resistant metal or high-strength alloy.
【請求項3】ビスマス、ストロンチウム、カルシウムお
よび銅より構成された超電導複合酸化物セラミックス膜
が、銀、銅、金、白金から選ばれる貴金属からなる中間
層を介して基材平面に形成された積層体であって、膜内
の複合酸化物結晶が配向してc結晶軸が中間層平面に実
質的に垂直になっていること特徴する超電導セラミック
ス積層体。
3. A laminate in which a superconducting composite oxide ceramics film composed of bismuth, strontium, calcium and copper is formed on a flat surface of a substrate through an intermediate layer made of a noble metal selected from silver, copper, gold and platinum. A superconducting ceramics laminate, wherein the composite oxide crystal in the film is oriented and the c crystal axis is substantially perpendicular to the plane of the intermediate layer.
【請求項4】基材がテープ状である、請求項3記載の超
電導セラミックス積層体。
4. The superconducting ceramics laminate according to claim 3, wherein the base material is tape-shaped.
【請求項5】基材が、耐熱金属、セラミックス、若しく
は金属とセラミックスとの複合体である、請求項4記載
の超電導セラミックス積層体。
5. The superconducting ceramics laminate according to claim 4, wherein the substrate is a refractory metal, ceramics, or a composite of metal and ceramics.
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