JP2582252B2 - Probe device - Google Patents
Probe deviceInfo
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- JP2582252B2 JP2582252B2 JP62022221A JP2222187A JP2582252B2 JP 2582252 B2 JP2582252 B2 JP 2582252B2 JP 62022221 A JP62022221 A JP 62022221A JP 2222187 A JP2222187 A JP 2222187A JP 2582252 B2 JP2582252 B2 JP 2582252B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head plate
- pawl
- ratchet wheel
- claw
- probe device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明はプローブ装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Object of the Invention] (Industrial application field) The present invention relates to a probe device.
（従来の技術） プローブ装置は当業者において周知である。即ちロー
ダ部から被測定体を測定部に搬送し、ヘッドプレートに
保持されているプローブカードとこの被測定体とを電気
的に接続し、ここで被測定体の電気的特性を測定するよ
うに構成されている。このヘッドプレートは、プローバ
筐体の上方向にダイアルネジで３点支持されていて、こ
のダイアルネジの調整によりヘッドプレートの水平度を
調整するようになっている。(Prior Art) Probe devices are well known to those skilled in the art. That is, the object to be measured is transported from the loader unit to the measuring unit, and the probe card held on the head plate is electrically connected to the object to be measured. Here, the electrical characteristics of the object to be measured are measured. It is configured. The head plate is supported at three points by dial screws in the upward direction of the prober housing, and the level of the head plate is adjusted by adjusting the dial screws.
（発明が解決しようとする問題点） ところで、プローブ装置のプローブカードの交換及び
洗浄や、チャックトップのクリーニングならびにX/Yス
テージのメンテナンス等の時に、ヘッドプレートを取外
す必要があり、従来は、オペレータが前記したダイアル
ネジを調整して取外すようにしていた。(Problems to be Solved by the Invention) By the way, it is necessary to remove the head plate when replacing and cleaning the probe card of the probe device, cleaning the chuck top, and maintaining the X / Y stage. However, the dial screw was adjusted and removed.
しかしながらこのようにオペレータが前記ダイアルネ
ジをいちいち調整してヘッドプレートを取外していたの
では、時間的にもかなりの時間が必要であり、しかも作
業自体がたいへんであった。また取外したヘッドプレー
トをプローブ装置に取付けるときには、ヘッドプレート
を正確な水平度に保つ必要があり、この調節にもかなり
の時間が必要であった。However, if the operator adjusts the dial screw and removes the head plate as described above, a considerable time is required in terms of time, and the operation itself is difficult. Also, when attaching the detached head plate to the probe device, it is necessary to keep the head plate at an accurate level, and this adjustment requires a considerable amount of time.
この発明はそのような点に鑑みてなされたものであ
り、プローブカードを保持しているヘッドプレートの一
辺を支点としてこのヘッドプレートを回転自在に構成す
ることで、ヘッドプレートの開閉を容易とし、またそれ
に要する時間の短縮も可能で、さらにメンテナンス等が
終了してヘッドプレートを再びセットする際の作業が安
全かつ容易なプローブ装置を提供することを目的とす
る。The present invention has been made in view of such a point, and facilitates opening and closing of the head plate by rotatably configuring the head plate around one side of the head plate holding the probe card, It is another object of the present invention to provide a probe device capable of shortening the time required for the operation and further ensuring safe and easy operation when the head plate is set again after maintenance or the like is completed.
（問題点を解決するための手段） 上記目的を達成するため、この発明は、プローブ装置
におけるヘッドプレートに保持されたプローブカード
と、プローブ装置内にある被測定体とを電気的に接続し
てこの被測定体の電気的測定を行うプローブ装置におい
て、上記ヘッドプレートの一辺を支点としてこのヘッド
プレートは装置本体に対して回転自在であって、さらに
前記ヘッドプレートの回転に伴って一体に回転する爪車
を有し、前記爪車に形成された爪受と係合自在な爪を持
った爪体が、装置本体に対して回転自在に設けられると
共に、この爪体は爪車側へと付勢され、さらに前記爪体
には、爪体を前記付勢方向とは逆の方向に回転させてこ
の爪体を爪車から離隔させるためのワイヤの一端が取り
付けられ、ヘッドプレートの前記一辺を支点としてこの
ヘッドプレートを持ち上げたときに、前記付勢により爪
体の爪が爪車の爪受と係合し、その状態でこのヘッドプ
レートが爪体を介して支持されるように構成されたこと
を特徴とするものである。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides an electrical connection between a probe card held on a head plate of a probe device and an object to be measured in the probe device. In the probe device for electrically measuring the object to be measured, the head plate is rotatable with respect to the device body with one side of the head plate as a fulcrum, and further rotates integrally with the rotation of the head plate. A pawl having a ratchet and having pawls engageable with a pawl receiver formed on the pawl is provided rotatably with respect to the apparatus body, and the pawl is attached to the ratchet wheel side. One end of a wire is attached to the claw body for rotating the claw body in a direction opposite to the urging direction to separate the claw body from the ratchet wheel, and the one side of the head plate is attached to the claw body. fulcrum When the head plate is lifted, the pawl of the pawl body is engaged with the pawl catch of the ratchet wheel by the urging, and in this state, the head plate is supported via the pawl body. It is characterized by the following.
（作用効果） この発明によれば、まずプローブカードを保持してい
るヘッドプレートがその一辺を支点として回転自在であ
るから、ヘッドプレートの開閉が容易である。しかも、
爪体の爪が爪車の爪受と係合し、その状態でこのヘッド
プレートが爪体を介して支持されるので、簡易な部材構
成でヘッドプレートの姿勢維持が容易になっている。そ
のうえワイヤを引っ張ることによって爪体を爪車から離
隔させることができ、それによって前記爪と爪受との係
合状態を解除させられるので、遠隔からヘッドプレート
を閉じるための作業がなしえる。従って、安全でしかも
作業性がよい。(Effects) According to the present invention, first, the head plate holding the probe card is rotatable about one side thereof, so that opening and closing of the head plate is easy. Moreover,
The pawl of the pawl body engages with the pawl receiver of the ratchet wheel, and in this state, the head plate is supported via the pawl body, so that the posture of the head plate can be easily maintained with a simple member configuration. Moreover, by pulling the wire, the pawl body can be separated from the ratchet wheel, whereby the engagement between the pawl and the pawl receiver can be released, so that the work for remotely closing the head plate can be performed. Therefore, safety and workability are good.
（実施例） 次に本発明にかかるプローブ装置を、例えば被測定体
として半導体ウエハの電気的測定を実行する半導体ウエ
ハプローバに適用した一実施例を説明する。(Embodiment) Next, an embodiment in which the probe device according to the present invention is applied to a semiconductor wafer prober that executes electrical measurement of a semiconductor wafer as an object to be measured will be described.
このウエハプローバ（１）においては、ウエハ（２）
を収納した状態のカセット（３）をカセット収納部
（４）に搬入し、この収納部（４）からのウエハ（２）
を一枚づつ取出し、オリフラ合わせをした後、測定ステ
ージ（５）上に搬送するように構成されている。そして
この搬送されたウエハ（２）に対してオリフラなどを基
準に微細位置合わせした後、下方からプローブカード
（６）に向けて測定ステージ（５）が上昇し、その結果
相対的にウエハ（２）上に、プローブカード（６）がソ
フトランディングし、自動的にウエハ（２）の電気的特
性が測定されるようになっている。In this wafer prober (1), the wafer (2)
The cassette (3) in which is stored the cassette (3) is loaded into the cassette storage section (4), and the wafer (2) from the storage section (4) is loaded.
Are taken out one by one, aligned with an orientation flat, and then transported onto a measurement stage (5). Then, after finely positioning the transferred wafer (2) with reference to an orientation flat or the like, the measurement stage (5) ascends from below toward the probe card (6), and as a result, the wafer (2) relatively moves. ), The probe card (6) makes a soft landing, and the electrical characteristics of the wafer (2) are automatically measured.
上記プローブカード（６）は板状体、例えばヘッドプ
レート（７）に保持されている。The probe card (6) is held on a plate, for example, a head plate (7).
このヘッドプレート（７）は四角状に形成されてお
り、この一辺には回転シャフト（８）が軸受（９）を介
して取付けられている。この軸受（９）は回転シャフト
（８）の両端でヘッドプレート（７）にボルト（10）で
とめられている。さらに上記回転シャフト（８）には爪
受（11）をそなえた爪車（12）が取付けられている。ま
たこの爪車（12）に当接する爪（13）を持った爪体（1
4）がストッパー板（15）に取付けられており、他方こ
のストッパー板（15）と爪（13）はバネ（16）で接続さ
れている。The head plate (7) is formed in a square shape, and a rotating shaft (8) is mounted on one side of the head plate (7) via a bearing (9). This bearing (9) is fastened to the head plate (7) by bolts (10) at both ends of the rotating shaft (8). Further, a pawl (12) provided with a pawl receiver (11) is attached to the rotary shaft (8). In addition, a nail body (1) having a nail (13) abutting on this nail wheel (12)
4) is attached to the stopper plate (15), while the stopper plate (15) and the claw (13) are connected by a spring (16).
上記爪体（14）は１点を支点（17）としてバネ（16）
の許容範囲内で回転可能である。さらに爪体（14）には
ワイヤ（18）が取付られていて、このワイヤ（18）の他
端にはワイヤレバー（19）が設置されている。このレバ
ー（19）はウエハプローバ（１）の筐体全面に設置する
のが望ましい。The claw body (14) is a spring (16) with one point as a fulcrum (17).
Can be rotated within the allowable range. Further, a wire (18) is attached to the claw body (14), and a wire lever (19) is installed at the other end of the wire (18). This lever (19) is desirably installed on the entire surface of the housing of the wafer prober (1).
次にヘッドプレート（７）の開閉方法について説明す
る。まずヘッドプレート（７）を保持している軸受
（９）の他辺を持ち上げると、矢印（20）の如くシャフ
ト（８）が回転する。このシャフト（８）の回転により
爪車（12）も回転する。そして爪車（12）の回転により
爪体（14）の爪（13）は設定位置から、図中の矢印で示
されるバネ（16）の伸張方向（21）に回転する。Next, a method for opening and closing the head plate (7) will be described. First, when the other side of the bearing (9) holding the head plate (7) is lifted, the shaft (8) rotates as shown by the arrow (20). The rotation of the shaft (8) also causes the ratchet (12) to rotate. The rotation of the ratchet wheel (12) causes the pawl (13) of the pawl body (14) to rotate from the set position in the extension direction (21) of the spring (16) indicated by the arrow in the figure.
ここでヘッドプレート（７）が所定の角度まで持ち上
げられた時、爪車（12）の爪受（11）と爪体（14）の爪
（13）が系合し、バネ（16）は縮まり爪体（14）はもと
の設定位置に固定される。このことによりヘッドプレー
ト（７）は所定の角度の状態で保持されるのである。Here, when the head plate (7) is lifted to a predetermined angle, the pawl catch (11) of the ratchet wheel (12) and the pawl (13) of the pawl body (14) are engaged, and the spring (16) contracts. The claw body (14) is fixed at the original set position. As a result, the head plate (7) is held at a predetermined angle.
この所定の角度は爪車（12）の爪受（11）を調整する
ことにより、あらゆる角度に設定可能であり、また爪受
（11）の数を増やすことにより、何段階もの設定角度が
可能である。例えば、爪受を３個設けて、角度を30°、
60°、90°と設定することも可能である。This predetermined angle can be set to any angle by adjusting the pawl catch (11) of the ratchet wheel (12), and can be set in many steps by increasing the number of pawl catches (11). It is. For example, three claw supports are provided, the angle is 30 °,
It is also possible to set 60 ° and 90 °.
このようにして開けられたヘッドプレート（７）の閉
制は、ワイヤーレバー（19）を引くことにより行われ
る。すなわちワイヤーレバー（19）を引くことによって
ワイヤ（18）に接続している爪体（14）が引っぱられ、
この爪体（14）はバネ（16）の伸張方向（21）に回転
し、爪（13）と爪受（11）の係合が解かれる。このこと
によりヘッドプレート（７）の固定能力は失われ、ヘッ
ドプレート（７）は元の位置に閉制される。この閉制時
には、ヘッドプレート（７）とウエハプローバ（１）の
筐体とをガススプリング（22）で接続しておくと、ヘッ
ドプレート（７）の閉制は静かに行われ、ウエハプロー
バ（１）に悪影響を及ぼすことがなくなる。The head plate (7) thus opened is closed by pulling the wire lever (19). That is, by pulling the wire lever (19), the claw body (14) connected to the wire (18) is pulled,
The claw body (14) rotates in the extension direction (21) of the spring (16), and the engagement between the claw (13) and the claw receiver (11) is released. As a result, the fixing ability of the head plate (7) is lost, and the head plate (7) is closed at the original position. At the time of closing, if the head plate (7) and the housing of the wafer prober (1) are connected by a gas spring (22), the closing of the head plate (7) is performed quietly, and the wafer prober (1) is closed. There is no adverse effect on 1).
なおこの発明は上記実施例に限定されるものではな
く、ヘッドプレートの開閉についてもヘッドプレートの
一辺を支点として回転可能な構造のものなら、上記実施
例に限られない。The present invention is not limited to the above embodiment, and the opening and closing of the head plate is not limited to the above embodiment as long as the head plate can be rotated about one side of the head plate as a fulcrum.
以上述べたように、本発明によれば、メンテナンス等
の際にヘッドプレートを開けるときの作業が容易であ
り、また開けた状態の姿勢維持もでき、それを実現する
ための部材構成も容易である。しかもメンテナンスが終
了してヘッドプレートを再び閉じてセットするときの作
業を遠隔からおこなうことができ、安全でしかも作業性
が良好である。そしてヘッドプレートの水平度を一度定
めておけば、いつまでも当該水平度を保つことができ
る。As described above, according to the present invention, the work of opening the head plate during maintenance or the like is easy, the posture in the opened state can be maintained, and the member configuration for realizing it is also easy. is there. In addition, the work of closing and setting the head plate again after the maintenance is completed can be remotely performed, and the work is safe and the workability is good. Then, once the level of the head plate is determined, the level can be maintained forever.
第１図は本発明の一実施例にかかるウエハプローバにお
けるヘッドプレートの設置状態を示す説明図、第２図は
実施例にかかるウエハプローバの全体の説明図である。 １……ウエハプローバ ２……ウエハ ７……ヘッドプレート ８……シャフト ９……軸受 11……爪受 12……爪車 13……爪 14……爪体 16……バネFIG. 1 is an explanatory view showing an installation state of a head plate in a wafer prober according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an explanatory view of the entire wafer prober according to the embodiment. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Wafer prober 2 ... Wafer 7 ... Head plate 8 ... Shaft 9 ... Bearing 11 ... Claw receiver 12 ... Claw wheel 13 ... Claw 14 ... Claw body 16 ... Spring
Claims (2)
持されたプローブカードと、プローブ装置内にある被測
定体とを電気的に接続してこの被測定体の電気的測定を
行うプローブ装置において、 上記ヘッドプレートの一辺を支点としてこのヘッドプレ
ートは装置本体に対して回転自在であって、 さらに前記ヘッドプレートの回転に伴って一体に回転す
る爪車を有し、 前記爪車に形成された爪受と係合自在な爪を持った爪体
が、装置本体に対して回転自在に設けられると共に、こ
の爪体は爪車側へと付勢され、 さらに前記爪体には、爪体を前記付勢方向とは逆の方向
に回転させてこの爪体を爪車から離隔させるためのワイ
ヤの一端が取り付けられ、 ヘッドプレートの前記一辺を支点としてこのヘッドプレ
ートを持ち上げたときに、前記付勢により爪体の爪が爪
車の爪受と係合し、その状態でこのヘッドプレートが爪
体を介して支持されるように構成されたことを特徴とす
る、プローブ装置。1. A probe device for electrically connecting a probe card held on a head plate of a probe device and a device to be measured in the probe device to electrically measure the device to be measured, This head plate is rotatable with respect to the apparatus main body with one side of the plate as a fulcrum, and further has a ratchet wheel that rotates integrally with the rotation of the head plate, and a pawl catch formed on the ratchet wheel. A claw body having an engageable claw is rotatably provided with respect to the apparatus main body, and this claw body is urged toward the ratchet wheel side. One end of a wire for rotating the claw body away from the ratchet wheel by rotating in the opposite direction to the direction is attached, and when the head plate is lifted around the one side of the head plate as a fulcrum, the attachment is performed. Pawl of the pawl member engages the pawl receiving of the ratchet wheel, characterized in that the head plate in this state is configured to be supported through the pawl member by a probe device.
られたことを特徴とする、特許請求の範囲第（１）項に
記載のプローブ装置。2. The probe device according to claim 1, wherein a plurality of claw receivers are provided along a rotation direction of the ratchet wheel.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62022221A JP2582252B2 (en) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | Probe device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62022221A JP2582252B2 (en) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | Probe device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63190350A JPS63190350A (en) | 1988-08-05 |
| JP2582252B2 true JP2582252B2 (en) | 1997-02-19 |
Family
ID=12076743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62022221A Expired - Lifetime JP2582252B2 (en) | 1987-02-02 | 1987-02-02 | Probe device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2582252B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2647162B2 (en) * | 1988-09-09 | 1997-08-27 | 東京エレクトロン株式会社 | Inspection device |
| JPH02106944A (en) * | 1988-10-17 | 1990-04-19 | Tokyo Electron Ltd | Probing device |
| JP5554581B2 (en) * | 2010-02-05 | 2014-07-23 | 東京エレクトロン株式会社 | Head plate opening / closing reduction mechanism and opening / closing locking mechanism |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60163743U (en) * | 1984-01-31 | 1985-10-30 | 東京エレクトロン株式会社 | rotating device |
| JPS60192441U (en) * | 1984-05-31 | 1985-12-20 | 富士通株式会社 | Integrated circuit testing equipment |
| JPS6214728U (en) * | 1985-07-10 | 1987-01-29 |
-
1987
- 1987-02-02 JP JP62022221A patent/JP2582252B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63190350A (en) | 1988-08-05 |
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Legal Events
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