JP2584066B2 - ペリクルカバーの透明有機薄膜除去器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、フォトリソグラフィ工程の転写パターン欠
陥発生を防止する目的で、パーティクルからマスク保護
をするペリクルカバーの透明有機薄膜除去器に関するも
のである。

従来の技術 近年、半導体製造の歩留まり安定化の一手段として、
フォトリソグラフィ工程での転写パターン欠陥発生を防
止するため、マスクにパーティクルが付着することを防
止するペリクルカバーをマスクに装着する方法が用いら
れている。

以下にペリクルカバーのマスクへの装着について説明
する。第２図はペリクルカバーフレームのマスクへの装
着例の一つを示すものである。第２図において、３は透
明有機薄膜、４はペリクルカバーのフレーム、５はマス
クである。

以上ように構成されたペリクルカバーを装着したマス
クを露光に用いると、紫外線により透明有機薄膜が劣化
しペリクルカバーの交換が必要になる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記構成のペリクルカバー装着マスクの
従来の交換方法では、ペリクルカバーフレームから透明
有機薄膜を取り除くとき、透明有機薄膜を破って取り除
いていたので、透明有機薄膜がマスク面に付着し洗浄を
困難にしたり、マスクパターン面に付着した透明有機薄
膜を取り除く際に発生した静電気でマスクパターンが破
壊されるという課題を有していた。

本発明は上記従来の課題を解決するもので、透明有機
薄膜をマスクパターン面に付着させることなく、ペリク
ルカバーフレームから除去する優れたペリクルカバー透
明有機薄膜除去器を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 この目的を達成するために本発明のペリクルカバー透
明有機薄膜除去器は、円筒状をなし側面に粘着剤を塗布
したものであって、円筒の周の長さが、除去しようとす
る透明有機薄膜の長さよりも長く、幅は除去しようとす
る透明有機薄膜の幅よりも広いという構成を有してい
る。

作用 この構成によって、透明有機薄膜をペリクルカバーフ
レームより取り除く際に、円筒状の除去器をペリクルカ
バーフレーム上で転がせば、円筒側面に塗ってある粘着
剤に透明有機薄膜を粘着させて除去できる。また、除去
器の幅，円周はそれぞれ除去する透明有機薄膜の幅，長
さよりも大きいのでペリクルカバーフレーム上での除去
器の一回転でペリクルカバーフレームの透明有機薄膜は
除去される。従って、破れた有機薄膜がマスクパターン
面に付着することが防止できる。

実施例 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら
説明する。

第１図は本発明の一実施例におけるペリクルカバーの
透明有機薄膜の除去例を示すものである。同図におい
て、１は除去器、２は除去器の粘着面、３は透明有機薄
膜、４はペリクルカバーフレーム、５はマスクである。

以上のように構成された除去器に用いて、ペリクルカ
バーの有機薄膜を除去する動作について説明する。

まず、除去器１をペリクルカバーフレーム４上にの
せ、除去器１をペリクルカバーフレーム４上で回転させ
る。すると、ペリクルカバーの透明有機薄膜は除去器の
粘着面にはぎ取られ、従来法のように透明有機薄膜を破
ってマスク面に付着させることなくペリクルカバーから
除去できる。

発明の効果 以上のように本発明は、円筒状をなし側面に粘着剤を
塗布したものを、ペリクルカバーフレーム上を転がすこ
とにより、透明有機薄膜を破ってマスクパターン面に付
着させることなく、透明有機薄膜をペリクルカバーフレ
ームより除去できる優れた除去器を実現できるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例におけるペリクルカバーの透
明有機薄膜除去器を用いている図、第２図は従来のペリ
クルカバーの透明有機薄膜除去を示す図である。 １……除去器、２……粘着面、３……透明有機薄膜、４
……ペリクルカバーフレーム、５……マスク。

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】円筒状をなし側面に粘着剤を塗布したもの
   であって、円筒の周の長さが、除去しようとする透明有
   機薄膜の長さよりも長く、幅は除去しようとする透明有
   機薄膜の幅よりも広いペリクルカバーの透明有機薄膜除
   去器。