JP2598697B2

JP2598697B2 - 磁気ヘッドテスター

Info

Publication number: JP2598697B2
Application number: JP11312889A
Authority: JP
Inventors: 浩水澤; 文雄肥田
Original assignee: 日立電子エンジニアリング株式会社
Priority date: 1989-05-02
Filing date: 1989-05-02
Publication date: 1997-04-09
Anticipated expiration: 2012-04-09
Also published as: JPH02292709A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、磁気ヘッドテスターに関し、詳しくは、
ハード磁気ディスク等い使用される磁気ヘッドの検査が
短時間済むような磁気ヘッドテスターに関する。

［従来の技術］従来の磁気ヘッドテスターとしては、その物理的な特
性である磁気ヘッドの浮上量を測定する試験装置と、そ
の電気的な特性である電磁変換特性を測定する試験装置
との２種類がある。

通常、磁気ヘッドの特性は、これら２種類の測定装置
で検査が行われ、一般的には、まず、磁気ヘッドの浮上
特性が測定されてからそのうちの合格品について電磁変
換特性が測定される。

［解決しようとする課題］したがって、磁気ヘッドをテストするためには、２つ
の試験装置にそれぞれ磁気ヘッドを装着しなければなら
ず、その取付け、取り外し作業に手数がかかるのみか、
いずれか一方の測定結果についての磁気ヘッドの管理が
必要であって、１つの磁気ヘッドについてのテストに多
くの時間を要する。

一方、ハード磁気ディスク装置は、近年、従来より一
層高密度な記録が要求されて来ており、かつ、高い信頼
性を確保することが要求されているために、磁気ヘッド
の特性測定に要求される精度も高くなって来ている。そ
こで、磁気ヘッド検査全体のスループットが低下する傾
向にある。このようなことから前述のように２つの試験
装置で異なるテストを行う場合には、磁気ヘッドの取付
け、この場合の磁気ヘッドの取外し作業時間が問題とな
る上、取付状態がテスト結果に与える影響も大きく、そ
れが歩留りを低下させる要因にもなる。

この発明は、このような従来技術の問題点を解決する
ものであって、１台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁
変換特性を測定することができ、かつ、測定効率を向上
させることができる磁気ヘッドテスターを提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッ
ドテスターの構成は、磁気ヘッドの浮上特性を測定する
ための第１のディスクと磁気ヘッドの電気的な特性を測
定するための第２のディスクとが並設され、浮上特性を
測定するために第１のディスクに対向して磁気ヘッドを
搭載するキャリッジが配置される第１のキャリッジ位置
を電気的な特性を測定するために第２のディスクに対向
して磁気ヘッドを搭載するキャリッジが配置される第２
のキャリッジ位置とに選択的に位置決めされる、磁気ヘ
ッドを搭載するキャリッジを有するものである。

［作用］このように、浮上量を測定するためのディスクと電気
的な特性を測定するためのディスクとを隣接させて並設
し、１つのキャリッジを、例えば、その搬送ラインによ
り搬送することで共通に使用するようにしているので、
それぞれの測定に対して試験対象となる磁気ヘッドを着
脱する必要がなくなり、それぞれの測定におけるキャリ
ッジ等の機構に関係するモータの駆動やその停止、そし
て、各試験装置や関係回路の起動や制御をそれぞれ独立
に行う必要がなく、磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特
性のそれぞれのデータを試験をしている磁気ヘッドにつ
いて容易に得られる。

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮で
き、１台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を
短時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率
を向上させることができる。

［実施例］以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳
細に説明する。

第１図は、この発明の磁気ヘッドテスターを適用した
一実施例の概要図であり、第２図は、そのプラテン部分
の詳細図である。

第１図において、20は、磁気ヘッドテスターであっ
て、21はその測定機構部、22はその測定制御・データ処
理部であって、マイクロプロセッサとメモリ等を有して
いる。

１は、測定機構部21に設けられた定盤テーブルであっ
て、定盤テーブル１の上には、図面の右側に示すよう
に、浮上特性を測定するためのガラスディスク２がスピ
ンドル３に固定されていて、図面左側に見るように電磁
変換特性を測定するための磁気ディスク４（ハードディ
スク）がスピンドル５に固定されている。ここで、スピ
ンドル３とスピンドル５とはそれぞれ独立のモータに結
合されていて、それぞれの測定時に測定制御・データ処
理部22からの制御信号に応じて独立に駆動される。

なお、点線で示す23は、ガラスディスク２の上部側に
配置されている浮上量測定用の光学系であって、レーザ
光或は通常の光ビームを照射して反射光を受け、ガラス
ディスク２とロード状態にある磁気ヘッド９との距離を
測定し、測定結果を電気信号に変換して前記の測定制御
・データ処理部22へと送出する。

６は、これら２つのディスクに平行するように隣接し
て配設されたリニア搬送ラインであって、ボールねじ機
構，エアシリンダ等の搬送機構で構成され、キャリッジ
７がこのリニア搬送ライン６の移動部材に結合されてい
る。

キャリッジ７は、Ｘテーブル7xとその上に設けられた
Ｙテーブル7yとからなり、キャリッジ７がリニア搬送ラ
イン６により駆動されることで、Ｘテーブル7xがＹテー
ブル7yとともに２つのディスクの回転中心を通る線に平
行するＸ方向に移動する。そして、Ｘテーブル7xに載置
されたＹテーブル7yは、Ｘテーブル7xに対して直角方向
に駆動されることで、リニア搬送ライン６と直角となる
Ｙ方向の移動（２つのディスクに対して横切る、半径方
向の移動）がなされる。

８は、Ｙテーブル7y上に爪機構やねじ止め等により正
確な位置に位置決めされ、これに着脱可能に固定された
プラテンであって、第２図に示されるように、このプラ
テン８上にテスト対象となる磁気ヘッド９が装着されて
いる。その状態を示す第２図を参照すると分かるよう
に、磁気ヘッド９は、プラテン８の上のホルダー10に着
脱可能に固定されている。

ホルダー10は、ガイド兼ストッパーとなる直角方向に
２辺を持つ直角鈎型の固定部材11と、その内部に設けら
れた２つの位置決めピン12,12とで構成されていて、固
定部材11が斜め45度の方向で進退することでその直角の
各辺に磁気ヘッド９の基部の矩形部材9aが当接されるこ
とでXY方向の突当てが行われて２つの位置決めピン12,1
2との間で置決め固定がなされる。なお、位置決めピン1
2,12は、磁気ヘッド９の基部の矩形部材9aに設けられた
２つの位置決め孔にそれぞれ嵌合されることにより、プ
ラテン８上においてより正確な位置に磁気ヘッド９を位
置決めする。

13は、パドルであって、プローブが接触するコンタク
トストライプ13a,13bを有していて、磁気ヘッド９のリ
ード線9bがこのコンタクトストライプ13a,13bに接続さ
れる。これは、例えば、小さなセラミックス基板で構成
され、プラテン８に設けられた、一端が開放された函型
のパドルガイド14に装着されて、両側から回転爪15,15
の回転により着脱可能に固定される。

そこで、試験対象となる磁気ヘッド９がホルダー10に
装着されたときに、このパドル13に磁気ヘッド９のリー
ド線9bが接続されるので、パドル13に設けられたコンタ
クトストライプ13a,13bにプローブ16（第１図参照）が
接触して定盤テーブル１上に配置されたリード・ライト
アンプ（R/Wアンプ）19aに接続される。このことにより
磁気ヘッド９は、リード・ライトアンプ19aを介して定
盤テーブル１の下側に配置されている測定制御・データ
処理部22の電気回路に接続される。

17a,17b,17c,17dは、それぞれそれぞれ、例えば、ホ
トインタラプタ、ホトセンサ等の位置検出センサであっ
て、リニア搬送ライン６によりキャリッジ７が駆動され
て移動したときにキャリッジ７の位置をキャリッジ７に
設けられた検出片や孔等を検出することによりそれらが
位置決め基準位置にあることの検出を行うものであっ
て、これらの検出出力が測定制御・データ処理部22に送
出される。

そこで、これら位置検出センサ17a,17bの位置検出に
よりXYテーブル７のプラテン８に載置された磁気ヘッド
９のアクセス行程の軌跡がガラスディスク２の中心に対
応するようにキャリッジ７が対向して配置されてその移
動が停止される。なお、この位置に対応してストッパー
等が設けられていてもよい。この位置がガラスディスク
２に対応して一点鎖線で示すキャリッジ７の位置であっ
て、浮上特性測定におけるガラスディスク２に対するそ
のキャリッジの位置決め位置である。

また、位置検出センサ17c,17dの位置検出により磁気
ヘッド９のアクセス行程の軌跡が磁気ディスク４の中心
に対応するようにキャリッジ７が対向して配置されてそ
の移動が停止される。なお、この位置にも対応してスト
ッパー等が設けられていてもよい。この位置が磁気ディ
スク４に対応して一点鎖線で示すキャリッジ７の位置で
あって、電磁変換特性測定における磁気ディスク４に対
するそのキャリッジの位置決め位置である。

18,19は、それぞれガラスディスク2,磁気ディスク４
に対応して設けられた磁気ヘッド９に対するヘッドロー
ド機構であって、磁気ディスク９側には、前述したよう
に、磁気ヘッド９からの電気的な信号を増幅するリード
・ライトアンプ19aがヘッドロード機構19に隣接して配
設されている。

次に、その動作を説明すると、試験する磁気ヘッド９
は、通常、パレット等に配置されていて、磁気ヘッドテ
スター20とは別に置かれている。その１つが、まず、プ
ラテン８のホルダー10に装着されて実装される。磁気ヘ
ッド９が実装されたプラテン８をキャリッジ７のＹテー
ブル7y上に設定されている所定の位置に位置決めしてキ
ャリッジ７に実装する。なお、このようにプラテン８を
独立したユニットとして磁気ヘッド９を交換可能にすれ
ば、磁気ヘッド９の形状，形態が変わってもプラテン８
と磁気ヘッド９との装着関係を変更するだけで済み、装
置側の改造は不要となる。

プラテン８が搭載されたキャリッジ７は、測定前の初
期状態（初期位置）では、第１図の実線で示すように、
ガラスディスク２と磁気ディスク４との中間に位置して
いる。これは、リニア搬送ライン６の搬送路のほぼ中央
である。そこで、測定制御・データ処理部22は、まず、
リニア搬送ライン６を起動してキャリッジ７を浮上量測
定系に位置決めする。この場合のこの位置決めは、ま
ず、リニア搬送ライン６が測定制御・データ処理部22か
らの制御信号に応じて駆動されて、キャリッジ７がガラ
スディスク２側に移動し、位置検出センサ17aの位置検
出によりガラスディスク２の中心に一致するＸ方向位置
に位置決めされ、次いで、位置検出センサ17bの位置検
出によりＹ方向の基準位置に位置決めされる。そして、
この位置が浮上特性測定装置としてガラスディスク２に
対向してキャリッジが配置される正規の位置となる。な
お、各位置検出は、測定制御・データ処理部22が各位置
検出センサ17a,17b,17c,17dからの信号を受けて、例え
ば、これらの信号が“ON"状態となっているか否かによ
り判定することで行われる。

次に、キャリッジ７のＹテーブル7yが測定制御・デー
タ処理部22からの制御信号により駆動し、ガラスディス
ク２の中心であるスピンドル３の方向に向かって磁気ヘ
ッド９を移動させる。そこで、ヘッドロード機構18によ
り磁気ヘッド９がガラスディスク２上にロードされてガ
ラスディスク２が回転駆動される。ここで、磁気ヘッド
９が浮上する。なお、これは、コンタクトスタートスト
ップの例であり、ヘッドロード前にガラスディスク２が
回転されてもよい。

次に、測定制御・データ処理部22によりＹテーブル7y
が制御され、磁気ヘッド９は、浮上量測定の光学系23の
光照射ポイントである所定の測定ポイントまで移動す
る。そして、この位置で浮上量測定用の光学系23により
浮上量の測定が行われ、それが測定制御・データ処理部
22のメモリにその磁気ヘッドのデータ対応に記憶され
る。なお、浮上量測定の結果、不合格であれば、キャリ
ッジ７からプラテン８が取外されて、プラテンから磁気
ヘッド９が取外され、次の試験対象となる磁気ヘッド９
がプラテン８に実装されて前記と同様にして次の磁気ヘ
ッドの試験を行う。

浮上量の測定が終了するとキャリッジ７は元の基準位
置である初期位置に戻る。そして、電磁変換特性測定の
測定に移る。これは、まず、リニア搬送ライン６が測定
制御・データ処理部22からの制御信号に応じて駆動され
て、キャリッジ７が磁気ディスク４側に移動し、位置検
出センサ17cの位置検出により磁気ディスク４の中心に
一致するＸ方向位置にキャリッジ７が位置決めされ、さ
らに、位置検出センサ17dの位置検出によりＹ方向の基
準位置に位置決めされる。そして、この位置が電磁変換
特性測定装置として磁気ディスク４に対向してキャリッ
ジが配置される正規の位置となる。

次に、キャリッジ７のＹテーブル7yが測定制御・デー
タ処理部22からの制御信号により駆動れて、磁気ディス
４の中心であるスピンドル５の方向に向かって磁気ヘッ
ド９を移動させる。そこで、ヘッドロード機構19により
磁気ヘッド９が磁気ディスク４上にロードされて磁気デ
ィスク４が回転駆動される。なお、これもコンタクト・
スタート・ストップの場合である。ついで、前述と同様
に、測定制御・データ処理部22によりＹテーブル7yが制
御されて磁気ヘッド９は、電気的特性を測定する所定の
トラック位置まで移動させられ、そこで、リード・ライ
ト（R/W）試験が行われる。

R/W試験では、所定のトラック位置に磁気ヘッド９が
位置決めされた状態でパドルに設けられたコンタクトに
プローブ16が接触して、磁気ヘッド９の電気的な出力が
パドル13,プローブ16,リード・ライトアンプ19aを介し
て測定制御・データ処理部22に信号が送られ、それを測
定制御・データ処理部22が解析して、そのデータを前記
の浮上量の測定と同様にこの磁気ヘッドのデータに対応
させてメモリに記憶することで行われる。なお、浮上量
測定の場合と同様に、電磁変換特性測定の結果、不合格
であれば、キャリッジ７からプラテン８が取外されて、
プラテンから磁気ヘッド９が取外され、次の試験対象と
なる磁気ヘッド９がプラテン８に実装されて前記と同様
にして次の磁気ヘッドの試験を行う。

このようにして、浮上量の測定と電磁変換特性の測定
が終了すると、リニア搬送ライン６が駆動され、キャリ
ッジ７は、初期位置であるその中央位置に戻り、測定を
終了する。そこで、この位置でプラテン８が取外され
て、試験が終了したプラテン８の磁気ヘッド９が取外さ
れて、次に試験対象となる磁気ヘッドがプラテン８に取
付けられる。

以上説明してきたが、実施例では、ガラスディスクと
磁気ディスクとの間をリニアな搬送ラインで接続してい
るが、これは、必ずしもリニアな搬送ラインである必要
はない。要するに、試験対象となる磁気ヘッドを搭載し
た１つのキャリッジがガラスディスクの測定位置と磁気
ディスクとの測定位置とにそれぞれ位置決めできるよう
に搬送する機構ならばどのような搬送機構であってもよ
い。

また、浮上特性を測定するディスクとしてガラスディ
スクを使用しているが、これは、浮上量を測定するため
に使用されるディスクならばガラスディスクに限定され
るもではない。

実施例では、磁気ヘッド９のアクセス行程の軌跡が各
ディスクの中心と一致するようになっているが、このよ
うにすることなく、例えば、磁気ヘッドのアクセス方向
は直角方向に配置されてもよい。

さらに、実施例では、定盤テーブルの上に各機器を載
置するようにしているが、これは、必ずしも定盤テーブ
ル上である必要はない。

［発明の効果］以上の説明から理解できるように、この発明では、浮
上量を測定するためのディスクと電気的な特性を測定す
るためのディスクとを隣接させて並設し、１つのキャリ
ッジを共通に使用することにより、それぞれの測定に対
して試験対象となる磁気ヘッドを着脱する必要がなくな
り、それぞれの測定におけるキャリッジ等の機構に関係
するモータの駆動やその停止、そして、各試験装置や関
係回路の起動や制御をそれぞれ独立に行う必要がなく、
磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特性のそれぞれのデー
タを試験をしている磁気ヘッドについて容易に得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の磁気ヘッドテスターを適用した一
実施例の概要図、第２図は、そのプラテン部分の詳細図
である。１……定盤テーブル、２……ガラスディスク、 3,5……スピンドル、４……磁気ディスク、６……リニア搬送ライン、７……キャリッジ、 7x……Ｘテーブル、7y……テーブル、８……プラテン、９……磁気ヘッド、 10……ホルダー、11……固定部材、 12……位置決めピン、13……パドル。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】磁気ヘッドの浮上特性を測定するための第
１のディスクと前記磁気ヘッドの電気的な特性を測定す
るための第２のディスクとが並設され、浮上特性を測定
するために第１のディスクに対向して磁気ヘッドを搭載
するキャリッジが配置される第１のキャリッジ位置と電
気的な特性を測定するために第２のディスクに対向して
磁気ヘッドを搭載するキャリッジが配置される第２のキ
ャリッジ位置とに選択的に位置決めされる、前記磁気ヘ
ッドを搭載するキャリッジを有することを特徴とする磁
気ヘッドテスター。