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JP2598697B2 - Magnetic head tester - Google Patents
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JP2598697B2 - Magnetic head tester - Google Patents

Magnetic head tester

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JP2598697B2
JP2598697B2 JP11312889A JP11312889A JP2598697B2 JP 2598697 B2 JP2598697 B2 JP 2598697B2 JP 11312889 A JP11312889 A JP 11312889A JP 11312889 A JP11312889 A JP 11312889A JP 2598697 B2 JP2598697 B2 JP 2598697B2
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carriage
disk
measurement
platen
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浩 水澤
文雄 肥田
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日立電子エンジニアリング株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、磁気ヘッドテスターに関し、詳しくは、
ハード磁気ディスク等い使用される磁気ヘッドの検査が
短時間済むような磁気ヘッドテスターに関する。
The present invention relates to a magnetic head tester, and more particularly, to a magnetic head tester.
The present invention relates to a magnetic head tester that requires a short time to inspect a magnetic head used such as a hard magnetic disk.

[従来の技術] 従来の磁気ヘッドテスターとしては、その物理的な特
性である磁気ヘッドの浮上量を測定する試験装置と、そ
の電気的な特性である電磁変換特性を測定する試験装置
との2種類がある。
2. Description of the Related Art Conventional magnetic head testers include a test device for measuring a flying height of a magnetic head, which is a physical characteristic, and a test device for measuring an electromagnetic conversion characteristic, which is an electrical characteristic. There are types.

通常、磁気ヘッドの特性は、これら2種類の測定装置
で検査が行われ、一般的には、まず、磁気ヘッドの浮上
特性が測定されてからそのうちの合格品について電磁変
換特性が測定される。
Usually, the characteristics of the magnetic head are inspected by these two types of measuring devices. In general, first, the flying characteristics of the magnetic head are measured, and then the electromagnetic conversion characteristics of the acceptable products are measured.

[解決しようとする課題] したがって、磁気ヘッドをテストするためには、2つ
の試験装置にそれぞれ磁気ヘッドを装着しなければなら
ず、その取付け、取り外し作業に手数がかかるのみか、
いずれか一方の測定結果についての磁気ヘッドの管理が
必要であって、1つの磁気ヘッドについてのテストに多
くの時間を要する。
[Problem to be Solved] Therefore, in order to test the magnetic head, it is necessary to mount the magnetic head on each of two test devices, and it takes time and effort to mount and remove the magnetic head.
It is necessary to manage the magnetic head with respect to one of the measurement results, and it takes a lot of time to test one magnetic head.

一方、ハード磁気ディスク装置は、近年、従来より一
層高密度な記録が要求されて来ており、かつ、高い信頼
性を確保することが要求されているために、磁気ヘッド
の特性測定に要求される精度も高くなって来ている。そ
こで、磁気ヘッド検査全体のスループットが低下する傾
向にある。このようなことから前述のように2つの試験
装置で異なるテストを行う場合には、磁気ヘッドの取付
け、この場合の磁気ヘッドの取外し作業時間が問題とな
る上、取付状態がテスト結果に与える影響も大きく、そ
れが歩留りを低下させる要因にもなる。
On the other hand, in recent years, hard magnetic disk devices have been demanded for higher density recording than before, and are required to ensure high reliability. Accuracy is also getting higher. Therefore, the overall throughput of the magnetic head inspection tends to decrease. For this reason, when different tests are performed by the two test devices as described above, it takes time to mount the magnetic head and to remove the magnetic head in this case, and furthermore, the influence of the mounting state on the test results. Which is also a factor that reduces the yield.

この発明は、このような従来技術の問題点を解決する
ものであって、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁
変換特性を測定することができ、かつ、測定効率を向上
させることができる磁気ヘッドテスターを提供すること
を目的とする。
The present invention solves such problems of the prior art, and can measure head flying characteristics and electromagnetic conversion characteristics with a single test device, and can improve measurement efficiency. An object of the present invention is to provide a magnetic head tester.

[課題を解決するための手段] このような目的を達成するためのこの発明の磁気ヘッ
ドテスターの構成は、磁気ヘッドの浮上特性を測定する
ための第1のディスクと磁気ヘッドの電気的な特性を測
定するための第2のディスクとが並設され、浮上特性を
測定するために第1のディスクに対向して磁気ヘッドを
搭載するキャリッジが配置される第1のキャリッジ位置
を電気的な特性を測定するために第2のディスクに対向
して磁気ヘッドを搭載するキャリッジが配置される第2
のキャリッジ位置とに選択的に位置決めされる、磁気ヘ
ッドを搭載するキャリッジを有するものである。
[Means for Solving the Problems] The configuration of the magnetic head tester according to the present invention for achieving the above object includes a first disk for measuring the flying characteristics of the magnetic head and an electrical characteristic of the magnetic head. And a second disk for measuring a magnetic head is arranged in parallel with the first disk. A first carriage position on which a carriage on which a magnetic head is mounted is disposed opposite to the first disk for measuring a flying characteristic is determined by an electric characteristic. The carriage on which the magnetic head is mounted facing the second disk for measuring the
And a carriage on which a magnetic head is mounted, which is selectively positioned at the carriage position.

[作用] このように、浮上量を測定するためのディスクと電気
的な特性を測定するためのディスクとを隣接させて並設
し、1つのキャリッジを、例えば、その搬送ラインによ
り搬送することで共通に使用するようにしているので、
それぞれの測定に対して試験対象となる磁気ヘッドを着
脱する必要がなくなり、それぞれの測定におけるキャリ
ッジ等の機構に関係するモータの駆動やその停止、そし
て、各試験装置や関係回路の起動や制御をそれぞれ独立
に行う必要がなく、磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特
性のそれぞれのデータを試験をしている磁気ヘッドにつ
いて容易に得られる。
[Operation] As described above, the disk for measuring the flying height and the disk for measuring the electrical characteristics are juxtaposed and juxtaposed, and one carriage is conveyed by, for example, its conveyance line. Because they are commonly used,
It is no longer necessary to attach and detach the magnetic head to be tested for each measurement.Driving and stopping motors related to mechanisms such as the carriage in each measurement, and starting and controlling each test device and related circuits are eliminated. It is not necessary to carry out each of them independently, and the data of the flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head can be easily obtained for the magnetic head which is being tested.

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮で
き、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を
短時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率
を向上させることができる。
As a result, the time required to perform each measurement can be reduced, the head flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics can be measured in a short time with one test apparatus, and the measurement efficiency of the entire measurement process can be improved. .

[実施例] 以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳
細に説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、この発明の磁気ヘッドテスターを適用した
一実施例の概要図であり、第2図は、そのプラテン部分
の詳細図である。
FIG. 1 is a schematic view of an embodiment to which the magnetic head tester of the present invention is applied, and FIG. 2 is a detailed view of a platen portion thereof.

第1図において、20は、磁気ヘッドテスターであっ
て、21はその測定機構部、22はその測定制御・データ処
理部であって、マイクロプロセッサとメモリ等を有して
いる。
In FIG. 1, reference numeral 20 denotes a magnetic head tester, reference numeral 21 denotes a measurement mechanism unit, and reference numeral 22 denotes a measurement control / data processing unit, which includes a microprocessor, a memory, and the like.

1は、測定機構部21に設けられた定盤テーブルであっ
て、定盤テーブル1の上には、図面の右側に示すよう
に、浮上特性を測定するためのガラスディスク2がスピ
ンドル3に固定されていて、図面左側に見るように電磁
変換特性を測定するための磁気ディスク4(ハードディ
スク)がスピンドル5に固定されている。ここで、スピ
ンドル3とスピンドル5とはそれぞれ独立のモータに結
合されていて、それぞれの測定時に測定制御・データ処
理部22からの制御信号に応じて独立に駆動される。
Reference numeral 1 denotes a platen table provided in the measuring mechanism section 21. On the platen table 1, a glass disk 2 for measuring a floating characteristic is fixed to a spindle 3, as shown on the right side of the drawing. A magnetic disk 4 (hard disk) for measuring electromagnetic conversion characteristics is fixed to a spindle 5 as shown on the left side of the drawing. Here, the spindle 3 and the spindle 5 are connected to independent motors, respectively, and are independently driven at the time of each measurement in accordance with a control signal from the measurement control / data processing unit 22.

なお、点線で示す23は、ガラスディスク2の上部側に
配置されている浮上量測定用の光学系であって、レーザ
光或は通常の光ビームを照射して反射光を受け、ガラス
ディスク2とロード状態にある磁気ヘッド9との距離を
測定し、測定結果を電気信号に変換して前記の測定制御
・データ処理部22へと送出する。
Reference numeral 23 shown by a dotted line denotes an optical system for measuring the flying height arranged on the upper side of the glass disk 2, which irradiates a laser beam or a normal light beam to receive reflected light, and receives the reflected light. The distance between the magnetic head 9 and the loaded magnetic head 9 is measured, the measurement result is converted into an electric signal, and transmitted to the measurement control / data processing unit 22.

6は、これら2つのディスクに平行するように隣接し
て配設されたリニア搬送ラインであって、ボールねじ機
構,エアシリンダ等の搬送機構で構成され、キャリッジ
7がこのリニア搬送ライン6の移動部材に結合されてい
る。
Reference numeral 6 denotes a linear transport line disposed adjacent to the two disks so as to be parallel to each other, and is constituted by a transport mechanism such as a ball screw mechanism and an air cylinder. Connected to the member.

キャリッジ7は、Xテーブル7xとその上に設けられた
Yテーブル7yとからなり、キャリッジ7がリニア搬送ラ
イン6により駆動されることで、Xテーブル7xがYテー
ブル7yとともに2つのディスクの回転中心を通る線に平
行するX方向に移動する。そして、Xテーブル7xに載置
されたYテーブル7yは、Xテーブル7xに対して直角方向
に駆動されることで、リニア搬送ライン6と直角となる
Y方向の移動(2つのディスクに対して横切る、半径方
向の移動)がなされる。
The carriage 7 includes an X table 7x and a Y table 7y provided on the X table 7x. When the carriage 7 is driven by the linear transport line 6, the X table 7x and the Y table 7y serve as the rotation centers of the two disks. Move in the X direction parallel to the passing line. Then, the Y table 7y placed on the X table 7x is driven in a direction perpendicular to the X table 7x to move in the Y direction perpendicular to the linear transport line 6 (crossing the two disks). , Radial movement).

8は、Yテーブル7y上に爪機構やねじ止め等により正
確な位置に位置決めされ、これに着脱可能に固定された
プラテンであって、第2図に示されるように、このプラ
テン8上にテスト対象となる磁気ヘッド9が装着されて
いる。その状態を示す第2図を参照すると分かるよう
に、磁気ヘッド9は、プラテン8の上のホルダー10に着
脱可能に固定されている。
Reference numeral 8 denotes a platen which is positioned at a precise position on the Y table 7y by a claw mechanism, a screw, or the like, and is detachably fixed thereto. As shown in FIG. The target magnetic head 9 is mounted. As can be seen from FIG. 2 showing this state, the magnetic head 9 is detachably fixed to the holder 10 on the platen 8.

ホルダー10は、ガイド兼ストッパーとなる直角方向に
2辺を持つ直角鈎型の固定部材11と、その内部に設けら
れた2つの位置決めピン12,12とで構成されていて、固
定部材11が斜め45度の方向で進退することでその直角の
各辺に磁気ヘッド9の基部の矩形部材9aが当接されるこ
とでXY方向の突当てが行われて2つの位置決めピン12,1
2との間で置決め固定がなされる。なお、位置決めピン1
2,12は、磁気ヘッド9の基部の矩形部材9aに設けられた
2つの位置決め孔にそれぞれ嵌合されることにより、プ
ラテン8上においてより正確な位置に磁気ヘッド9を位
置決めする。
The holder 10 includes a right-angle hook-shaped fixing member 11 having two sides in a right angle direction serving as a guide and a stopper, and two positioning pins 12 and 12 provided therein. By moving back and forth in the direction of 45 degrees, the rectangular member 9a at the base of the magnetic head 9 is brought into contact with each side at a right angle, and abutting in the XY direction is performed, so that the two positioning pins 12, 1
Positioning is fixed between the two. Note that positioning pin 1
The magnetic heads 2 and 12 are positioned in a more accurate position on the platen 8 by being fitted into two positioning holes provided in the rectangular member 9a at the base of the magnetic head 9, respectively.

13は、パドルであって、プローブが接触するコンタク
トストライプ13a,13bを有していて、磁気ヘッド9のリ
ード線9bがこのコンタクトストライプ13a,13bに接続さ
れる。これは、例えば、小さなセラミックス基板で構成
され、プラテン8に設けられた、一端が開放された函型
のパドルガイド14に装着されて、両側から回転爪15,15
の回転により着脱可能に固定される。
Reference numeral 13 denotes a paddle, which has contact stripes 13a and 13b with which the probe contacts, and the lead wire 9b of the magnetic head 9 is connected to the contact stripes 13a and 13b. This is, for example, a small ceramic substrate, which is mounted on a box-shaped paddle guide 14 having an open end provided on the platen 8 and having rotating claws 15, 15 from both sides.
It is detachably fixed by the rotation of.

そこで、試験対象となる磁気ヘッド9がホルダー10に
装着されたときに、このパドル13に磁気ヘッド9のリー
ド線9bが接続されるので、パドル13に設けられたコンタ
クトストライプ13a,13bにプローブ16(第1図参照)が
接触して定盤テーブル1上に配置されたリード・ライト
アンプ(R/Wアンプ)19aに接続される。このことにより
磁気ヘッド9は、リード・ライトアンプ19aを介して定
盤テーブル1の下側に配置されている測定制御・データ
処理部22の電気回路に接続される。
Therefore, when the magnetic head 9 to be tested is mounted on the holder 10, the lead wire 9b of the magnetic head 9 is connected to the paddle 13, so that the probe 16 is connected to the contact stripes 13a, 13b provided on the paddle 13. 1 (see FIG. 1) is contacted and connected to a read / write amplifier (R / W amplifier) 19a arranged on the base table 1. As a result, the magnetic head 9 is connected to the electric circuit of the measurement control / data processing unit 22 disposed below the base table 1 via the read / write amplifier 19a.

17a,17b,17c,17dは、それぞれそれぞれ、例えば、ホ
トインタラプタ、ホトセンサ等の位置検出センサであっ
て、リニア搬送ライン6によりキャリッジ7が駆動され
て移動したときにキャリッジ7の位置をキャリッジ7に
設けられた検出片や孔等を検出することによりそれらが
位置決め基準位置にあることの検出を行うものであっ
て、これらの検出出力が測定制御・データ処理部22に送
出される。
17a, 17b, 17c, and 17d are position detection sensors such as a photo interrupter and a photo sensor, respectively. When the carriage 7 is driven and moved by the linear transport line 6, the position of the carriage 7 is transferred to the carriage 7. By detecting the provided detecting pieces, holes, and the like, it is detected that they are at the positioning reference position, and their detection outputs are sent to the measurement control / data processing unit 22.

そこで、これら位置検出センサ17a,17bの位置検出に
よりXYテーブル7のプラテン8に載置された磁気ヘッド
9のアクセス行程の軌跡がガラスディスク2の中心に対
応するようにキャリッジ7が対向して配置されてその移
動が停止される。なお、この位置に対応してストッパー
等が設けられていてもよい。この位置がガラスディスク
2に対応して一点鎖線で示すキャリッジ7の位置であっ
て、浮上特性測定におけるガラスディスク2に対するそ
のキャリッジの位置決め位置である。
Therefore, the carriage 7 is disposed so as to face the center of the glass disk 2 so that the locus of the access process of the magnetic head 9 mounted on the platen 8 of the XY table 7 corresponds to the center of the glass disk 2 by detecting the positions of the position detection sensors 17a and 17b. And the movement is stopped. Note that a stopper or the like may be provided corresponding to this position. This position is the position of the carriage 7 indicated by a dashed line corresponding to the glass disk 2, and is the positioning position of the carriage with respect to the glass disk 2 in the flying characteristic measurement.

また、位置検出センサ17c,17dの位置検出により磁気
ヘッド9のアクセス行程の軌跡が磁気ディスク4の中心
に対応するようにキャリッジ7が対向して配置されてそ
の移動が停止される。なお、この位置にも対応してスト
ッパー等が設けられていてもよい。この位置が磁気ディ
スク4に対応して一点鎖線で示すキャリッジ7の位置で
あって、電磁変換特性測定における磁気ディスク4に対
するそのキャリッジの位置決め位置である。
In addition, the carriage 7 is disposed so as to face the center of the magnetic disk 4 so that the locus of the access process of the magnetic head 9 corresponds to the center of the magnetic disk 4 by the position detection of the position detection sensors 17c and 17d, and the movement is stopped. Note that a stopper or the like may be provided corresponding to this position. This position is the position of the carriage 7 indicated by a dashed line corresponding to the magnetic disk 4, and is the position of the carriage relative to the magnetic disk 4 in the measurement of electromagnetic conversion characteristics.

18,19は、それぞれガラスディスク2,磁気ディスク4
に対応して設けられた磁気ヘッド9に対するヘッドロー
ド機構であって、磁気ディスク9側には、前述したよう
に、磁気ヘッド9からの電気的な信号を増幅するリード
・ライトアンプ19aがヘッドロード機構19に隣接して配
設されている。
18 and 19 are glass disk 2 and magnetic disk 4 respectively
The head loading mechanism for the magnetic head 9 provided in correspondence with the above. The read / write amplifier 19a for amplifying the electric signal from the magnetic head 9 is provided on the magnetic disk 9 side as described above. It is arranged adjacent to the mechanism 19.

次に、その動作を説明すると、試験する磁気ヘッド9
は、通常、パレット等に配置されていて、磁気ヘッドテ
スター20とは別に置かれている。その1つが、まず、プ
ラテン8のホルダー10に装着されて実装される。磁気ヘ
ッド9が実装されたプラテン8をキャリッジ7のYテー
ブル7y上に設定されている所定の位置に位置決めしてキ
ャリッジ7に実装する。なお、このようにプラテン8を
独立したユニットとして磁気ヘッド9を交換可能にすれ
ば、磁気ヘッド9の形状,形態が変わってもプラテン8
と磁気ヘッド9との装着関係を変更するだけで済み、装
置側の改造は不要となる。
Next, the operation will be described.
Are usually arranged on a pallet or the like and are placed separately from the magnetic head tester 20. One of them is first mounted on the holder 10 of the platen 8 and mounted. The platen 8 on which the magnetic head 9 is mounted is positioned at a predetermined position set on the Y table 7y of the carriage 7 and mounted on the carriage 7. If the magnetic head 9 can be replaced by making the platen 8 an independent unit as described above, even if the shape and form of the magnetic head 9 are changed, the platen 8 can be replaced.
It is only necessary to change the mounting relationship between the device and the magnetic head 9, and no modification on the device side is required.

プラテン8が搭載されたキャリッジ7は、測定前の初
期状態(初期位置)では、第1図の実線で示すように、
ガラスディスク2と磁気ディスク4との中間に位置して
いる。これは、リニア搬送ライン6の搬送路のほぼ中央
である。そこで、測定制御・データ処理部22は、まず、
リニア搬送ライン6を起動してキャリッジ7を浮上量測
定系に位置決めする。この場合のこの位置決めは、ま
ず、リニア搬送ライン6が測定制御・データ処理部22か
らの制御信号に応じて駆動されて、キャリッジ7がガラ
スディスク2側に移動し、位置検出センサ17aの位置検
出によりガラスディスク2の中心に一致するX方向位置
に位置決めされ、次いで、位置検出センサ17bの位置検
出によりY方向の基準位置に位置決めされる。そして、
この位置が浮上特性測定装置としてガラスディスク2に
対向してキャリッジが配置される正規の位置となる。な
お、各位置検出は、測定制御・データ処理部22が各位置
検出センサ17a,17b,17c,17dからの信号を受けて、例え
ば、これらの信号が“ON"状態となっているか否かによ
り判定することで行われる。
The carriage 7 on which the platen 8 is mounted is in an initial state (initial position) before measurement, as shown by a solid line in FIG.
It is located between the glass disk 2 and the magnetic disk 4. This is almost at the center of the transport path of the linear transport line 6. Therefore, the measurement control / data processing unit 22 first
The linear transport line 6 is activated to position the carriage 7 in the flying height measurement system. In this positioning in this case, first, the linear transport line 6 is driven according to a control signal from the measurement control / data processing unit 22, the carriage 7 moves to the glass disk 2 side, and the position detection sensor 17a detects the position. Is positioned at the X direction position which coincides with the center of the glass disk 2, and is then positioned at the reference position in the Y direction by the position detection of the position detection sensor 17b. And
This position is a regular position where the carriage is arranged facing the glass disk 2 as a flying characteristic measuring device. The position detection is performed by the measurement control / data processing unit 22 receiving signals from the position detection sensors 17a, 17b, 17c, and 17d, for example, by determining whether these signals are in the “ON” state. This is done by making a determination.

次に、キャリッジ7のYテーブル7yが測定制御・デー
タ処理部22からの制御信号により駆動し、ガラスディス
ク2の中心であるスピンドル3の方向に向かって磁気ヘ
ッド9を移動させる。そこで、ヘッドロード機構18によ
り磁気ヘッド9がガラスディスク2上にロードされてガ
ラスディスク2が回転駆動される。ここで、磁気ヘッド
9が浮上する。なお、これは、コンタクトスタートスト
ップの例であり、ヘッドロード前にガラスディスク2が
回転されてもよい。
Next, the Y table 7y of the carriage 7 is driven by a control signal from the measurement control / data processing unit 22 to move the magnetic head 9 toward the spindle 3, which is the center of the glass disk 2. Then, the magnetic head 9 is loaded on the glass disk 2 by the head loading mechanism 18, and the glass disk 2 is driven to rotate. Here, the magnetic head 9 flies. Note that this is an example of a contact start / stop, and the glass disk 2 may be rotated before head loading.

次に、測定制御・データ処理部22によりYテーブル7y
が制御され、磁気ヘッド9は、浮上量測定の光学系23の
光照射ポイントである所定の測定ポイントまで移動す
る。そして、この位置で浮上量測定用の光学系23により
浮上量の測定が行われ、それが測定制御・データ処理部
22のメモリにその磁気ヘッドのデータ対応に記憶され
る。なお、浮上量測定の結果、不合格であれば、キャリ
ッジ7からプラテン8が取外されて、プラテンから磁気
ヘッド9が取外され、次の試験対象となる磁気ヘッド9
がプラテン8に実装されて前記と同様にして次の磁気ヘ
ッドの試験を行う。
Next, the Y table 7y is measured by the measurement control / data processing unit 22.
Is controlled, and the magnetic head 9 moves to a predetermined measurement point which is a light irradiation point of the optical system 23 for measuring the flying height. At this position, the flying height is measured by the flying height measuring optical system 23, and the measurement is performed by the measurement control / data processing unit.
22 are stored in the memory corresponding to the data of the magnetic head. If the flying height measurement results in a failure, the platen 8 is removed from the carriage 7, the magnetic head 9 is removed from the platen, and the magnetic head 9 to be tested next is removed.
Is mounted on the platen 8, and the next magnetic head test is performed in the same manner as described above.

浮上量の測定が終了するとキャリッジ7は元の基準位
置である初期位置に戻る。そして、電磁変換特性測定の
測定に移る。これは、まず、リニア搬送ライン6が測定
制御・データ処理部22からの制御信号に応じて駆動され
て、キャリッジ7が磁気ディスク4側に移動し、位置検
出センサ17cの位置検出により磁気ディスク4の中心に
一致するX方向位置にキャリッジ7が位置決めされ、さ
らに、位置検出センサ17dの位置検出によりY方向の基
準位置に位置決めされる。そして、この位置が電磁変換
特性測定装置として磁気ディスク4に対向してキャリッ
ジが配置される正規の位置となる。
When the measurement of the flying height is completed, the carriage 7 returns to the initial position, which is the original reference position. Then, the process proceeds to the measurement of the electromagnetic conversion characteristics. First, the linear transport line 6 is driven according to a control signal from the measurement control / data processing unit 22, the carriage 7 moves to the magnetic disk 4 side, and the position of the magnetic disk 4 is detected by the position detection sensor 17c. The carriage 7 is positioned at a position in the X direction that coincides with the center of the position, and is further positioned at a reference position in the Y direction by detecting the position of the position detection sensor 17d. Then, this position is a regular position where the carriage is arranged so as to face the magnetic disk 4 as the electromagnetic conversion characteristic measuring device.

次に、キャリッジ7のYテーブル7yが測定制御・デー
タ処理部22からの制御信号により駆動れて、磁気ディス
4の中心であるスピンドル5の方向に向かって磁気ヘッ
ド9を移動させる。そこで、ヘッドロード機構19により
磁気ヘッド9が磁気ディスク4上にロードされて磁気デ
ィスク4が回転駆動される。なお、これもコンタクト・
スタート・ストップの場合である。ついで、前述と同様
に、測定制御・データ処理部22によりYテーブル7yが制
御されて磁気ヘッド9は、電気的特性を測定する所定の
トラック位置まで移動させられ、そこで、リード・ライ
ト(R/W)試験が行われる。
Next, the Y table 7y of the carriage 7 is driven by a control signal from the measurement control / data processing unit 22 to move the magnetic head 9 toward the spindle 5, which is the center of the magnetic disk 4. Then, the magnetic head 9 is loaded on the magnetic disk 4 by the head loading mechanism 19, and the magnetic disk 4 is driven to rotate. This is also a contact
This is a start / stop case. Next, similarly to the above, the Y table 7y is controlled by the measurement control / data processing section 22, and the magnetic head 9 is moved to a predetermined track position for measuring the electrical characteristics. W) The test is performed.

R/W試験では、所定のトラック位置に磁気ヘッド9が
位置決めされた状態でパドルに設けられたコンタクトに
プローブ16が接触して、磁気ヘッド9の電気的な出力が
パドル13,プローブ16,リード・ライトアンプ19aを介し
て測定制御・データ処理部22に信号が送られ、それを測
定制御・データ処理部22が解析して、そのデータを前記
の浮上量の測定と同様にこの磁気ヘッドのデータに対応
させてメモリに記憶することで行われる。なお、浮上量
測定の場合と同様に、電磁変換特性測定の結果、不合格
であれば、キャリッジ7からプラテン8が取外されて、
プラテンから磁気ヘッド9が取外され、次の試験対象と
なる磁気ヘッド9がプラテン8に実装されて前記と同様
にして次の磁気ヘッドの試験を行う。
In the R / W test, the probe 16 comes into contact with the contact provided on the paddle with the magnetic head 9 positioned at a predetermined track position, and the electrical output of the magnetic head 9 is changed to the paddle 13, the probe 16, and the lead. A signal is sent to the measurement control / data processing unit 22 via the write amplifier 19a, and the signal is sent to the measurement control / data processing unit 22 for analysis.The data is analyzed by the data processing unit 22 in the same manner as the measurement of the flying height. This is performed by storing the data in a memory corresponding to the data. As in the case of the flying height measurement, if the result of the measurement of the electromagnetic conversion characteristics is unacceptable, the platen 8 is removed from the carriage 7 and
The magnetic head 9 is removed from the platen, the magnetic head 9 to be tested next is mounted on the platen 8, and the next magnetic head test is performed in the same manner as described above.

このようにして、浮上量の測定と電磁変換特性の測定
が終了すると、リニア搬送ライン6が駆動され、キャリ
ッジ7は、初期位置であるその中央位置に戻り、測定を
終了する。そこで、この位置でプラテン8が取外され
て、試験が終了したプラテン8の磁気ヘッド9が取外さ
れて、次に試験対象となる磁気ヘッドがプラテン8に取
付けられる。
When the measurement of the flying height and the measurement of the electromagnetic conversion characteristics are completed in this way, the linear transport line 6 is driven, and the carriage 7 returns to its initial position, that is, the center position, and ends the measurement. Then, the platen 8 is removed at this position, the magnetic head 9 of the platen 8 for which the test has been completed is removed, and the magnetic head to be tested next is attached to the platen 8.

以上説明してきたが、実施例では、ガラスディスクと
磁気ディスクとの間をリニアな搬送ラインで接続してい
るが、これは、必ずしもリニアな搬送ラインである必要
はない。要するに、試験対象となる磁気ヘッドを搭載し
た1つのキャリッジがガラスディスクの測定位置と磁気
ディスクとの測定位置とにそれぞれ位置決めできるよう
に搬送する機構ならばどのような搬送機構であってもよ
い。
As described above, in the embodiment, the glass disk and the magnetic disk are connected by a linear transport line. However, this is not necessarily a linear transport line. In short, any transport mechanism may be used as long as it is a mechanism for transporting one carriage on which the magnetic head to be tested is mounted so that it can be positioned at the measurement position of the glass disk and the measurement position of the magnetic disk.

また、浮上特性を測定するディスクとしてガラスディ
スクを使用しているが、これは、浮上量を測定するため
に使用されるディスクならばガラスディスクに限定され
るもではない。
Although a glass disk is used as a disk for measuring the flying characteristics, the disk is not limited to the glass disk as long as it is a disk used for measuring the flying height.

実施例では、磁気ヘッド9のアクセス行程の軌跡が各
ディスクの中心と一致するようになっているが、このよ
うにすることなく、例えば、磁気ヘッドのアクセス方向
は直角方向に配置されてもよい。
In the embodiment, the trajectory of the access process of the magnetic head 9 coincides with the center of each disk. However, without doing so, for example, the access direction of the magnetic head may be arranged at right angles. .

さらに、実施例では、定盤テーブルの上に各機器を載
置するようにしているが、これは、必ずしも定盤テーブ
ル上である必要はない。
Further, in the embodiment, each device is placed on the surface plate table, but this need not necessarily be on the surface plate table.

[発明の効果] 以上の説明から理解できるように、この発明では、浮
上量を測定するためのディスクと電気的な特性を測定す
るためのディスクとを隣接させて並設し、1つのキャリ
ッジを共通に使用することにより、それぞれの測定に対
して試験対象となる磁気ヘッドを着脱する必要がなくな
り、それぞれの測定におけるキャリッジ等の機構に関係
するモータの駆動やその停止、そして、各試験装置や関
係回路の起動や制御をそれぞれ独立に行う必要がなく、
磁気ヘッドの浮上特性と電磁変換特性のそれぞれのデー
タを試験をしている磁気ヘッドについて容易に得られ
る。
[Effects of the Invention] As can be understood from the above description, in the present invention, a disk for measuring the flying height and a disk for measuring the electrical characteristics are juxtaposed and juxtaposed, and one carriage is mounted. The common use eliminates the need to attach and detach the magnetic head to be tested for each measurement, and drives and stops the motors related to the carriage and other mechanisms in each measurement, as well as each test device and There is no need to independently start and control the related circuits,
The respective data of the flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head can be easily obtained for the magnetic head which is being tested.

その結果、それぞれの測定を行うまでの時間が短縮で
き、1台の試験装置でヘッド浮上特性と電磁変換特性を
短時間で測定することができ、測定処理全体の測定効率
を向上させることができる。
As a result, the time required to perform each measurement can be reduced, the head flying characteristics and the electromagnetic conversion characteristics can be measured in a short time with one test apparatus, and the measurement efficiency of the entire measurement process can be improved. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、この発明の磁気ヘッドテスターを適用した一
実施例の概要図、第2図は、そのプラテン部分の詳細図
である。 1……定盤テーブル、2……ガラスディスク、 3,5……スピンドル、4……磁気ディスク、 6……リニア搬送ライン、7……キャリッジ、 7x……Xテーブル、7y……テーブル、 8……プラテン、9……磁気ヘッド、 10……ホルダー、11……固定部材、 12……位置決めピン、13……パドル。
FIG. 1 is a schematic view of an embodiment to which a magnetic head tester of the present invention is applied, and FIG. 2 is a detailed view of a platen portion thereof. Reference Signs List 1 ... Stable table, 2 ... Glass disk, 3,5 ... Spindle, 4 ... Magnetic disk, 6 ... Linear transfer line, 7 ... Carriage, 7x ... X table, 7y ... Table, 8 ... platen, 9 ... magnetic head, 10 ... holder, 11 ... fixing member, 12 ... positioning pin, 13 ... paddle.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】磁気ヘッドの浮上特性を測定するための第
1のディスクと前記磁気ヘッドの電気的な特性を測定す
るための第2のディスクとが並設され、浮上特性を測定
するために第1のディスクに対向して磁気ヘッドを搭載
するキャリッジが配置される第1のキャリッジ位置と電
気的な特性を測定するために第2のディスクに対向して
磁気ヘッドを搭載するキャリッジが配置される第2のキ
ャリッジ位置とに選択的に位置決めされる、前記磁気ヘ
ッドを搭載するキャリッジを有することを特徴とする磁
気ヘッドテスター。
A first disk for measuring the flying characteristics of a magnetic head and a second disk for measuring the electrical characteristics of the magnetic head are juxtaposed to measure the flying characteristics. A carriage on which a magnetic head is mounted facing the first disk is arranged, and a carriage on which a magnetic head is mounted is arranged facing the second disk in order to measure a first carriage position and electrical characteristics. A magnetic head tester, comprising: a carriage on which the magnetic head is mounted, the carriage being selectively positioned at a second carriage position.
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